Finansal yönetimin finansal performans değerlemesinde göz önüne aldığı kriterler

Suite aux échantillons recuits à 700°C, des échantillons de silicium implantés et recuits à 500°C on été analysés afin de caractériser des bulles formées dans des conditions différentes, possédant donc des caractéristiques différentes. La figure IV.10 présente un exemple type de la microstructure que présentent ces échantillons. On constate ici aussi la présence de deux populations de bulles, distinctes par leur taille et leur morphologie. La bande est constituée principalement de petites bulles de diamètre de l’ordre de 5 nm. En arrière de cette bande, des bulles plus grosses sont présentes, de diamètre de l’ordre de 10 nm.

Comparée à la figure II.2 du deuxième chapitre, qui était issue d’un échantillon aux carac- téristiques identiques, la superposition des bulles est ici moins importante sur les grosses bulles et les petites bulles sont moins nombreuses, ce qui tend à indiquer une lame plus fine à l’endroit de l’acquisition.

La figureIV.11 présente des images filtrées et corrigées acquises sur un tel échantillon.

Ici, le plasmon de cavité sur les grosses bulles est bien visible, et la variation d’intensité le long de chaque contour fait apparaître les intersections dues aux superpositions. En revanche, ce contour n’est pas distinguable sur les petites bulles. Il est probable que cette différence avec les échantillons recuits à 700°C soit due principalement à la résolution des images et un rap- port signal/bruit trop faible. Ces points diffus semblent plus présents sur la partie gauche de

Figure IV.10 – Micrographie d’un échantillon silicium implanté hélium recuit 30’ à 500°C, défocalisée pour faire apparaître les contours de bulles. L’image est filtrée autour du pic élastique avec une fente d’1 eV.

Figure IV.11–Images filtrées issues d’un datacube corrigé acquis sur un échantillon de silicium implanté

hélium et recuit 30’ à 500°C. Filtrage avec une fente de 1 eV sur a) le plasmon de cavité (12 eV), b) le plasmon du silicium (17 eV) et c) le seuil K de l’hélium. d) Carte de densité d’hélium correspondante.

l’image, alors que la figureIV.10ne montre pas d’augmentation particulière du nombre de bulles dans cette direction. Le plasmon de cavité étant proche de celui du silicium, cette variation est partiellement attribuable à celle de l’épaisseur dans cette direction, comme le montre l’image b).

La cartographie chimique de l’hélium permet clairement de voir quelles bulles sont pleines ou vides parmi les plus grosses. Le contraste des plus petites est plus diffus, sans altération des images. De manière générale, cependant, le fait que les grosses bulles soient pleines implique probablement qu’une partie au moins des petites bulles les plus proches de l’arrière de la bande le soient aussi, puisque l’échantillon mesure à cet endroit plusieurs fois leur propre diamètre.

La figureIV.11d) montre la carte de densité d’hélium correspondant au datacube dont sont extraites les autres images, après traitement des spectres et extraction du seuil K de l’hélium. Clairement, la procédure de détermination de la densité ne donne pas un résultat utilisable pour les petites bulles puisqu’il est difficile de distinguer les bulles du bruit. Une résolution spatiale et un rapport signal/bruit plus élevés sont nécessaires pour en extraire des données. Dans les grosses bulles, en revanche, on retrouve les mêmes bulles pleines que sur l’image de cartographie chimique c). Visuellement, le bruit est limité dans les bulles elles-mêmes, ce qui permet d’obtenir des valeurs de densité moyennes ayant une déviation standard faible au centre des bulles.

La figure IV.12 reprend l’image de densité précédente, et montre les profils extraits dans plusieurs bulles. Les profils extraits présentent ici aussi une courbure évidente, avec la densité maximale toujours au centre des bulles. Comme le montrent les profils 3 et 3b, cette der- nière ne dépend pas de la direction utilisée. Comme précédemment, les mesures de densité sont faites au centre des bulles, et moyennées sur plusieurs pixels (min. 4×4 sur les grosses bulles ici).

On peut constater sur la carte que les bulles ont souvent une densité proche, à environ 190 at.nm−3, malgré leurs différences apparentes en terme de diamètre. Cependant, il existe

des exceptions, ici la bulle 1, qui malgré un diamètre proche de la bulle 3, a une densité signi- ficativement inférieure, à 120 ±13 at.nm−3.

La figure IV.13 est similaire à la figure IV.9. Les données présentées sur la figure IV.13

sont issues de deux échantillons, observés sur une zone chacun soit deux datacubes. Vingt bulles ont pu être analysées ici, ce chiffre étant principalement limité sur chaque datacube par la difficulté d’extraire un signal exploitable pour les plus petites bulles dans les conditions

Figure IV.12 – Carte de densité d’hélium dans les bulles pour un échantillon recuit ex situ à 500°C et profils extraits des bulles indiquées.

Figure IV.13 – Données obtenues à partir de bulles présentes dans deux échantillons recuits à 500°C. Position du seuil K de l’hélium et densité correspondante en fonction du diamètre en a), et en fonction du rapport d’aspect en b). En c) rapport d’aspect en fonction du diamètre.

utilisées. Les cartes de densité d’hélium analysées sont visibles sur les figuresIV.11etIV.14a-b.

Sur la figureIV.13a), on peut voir que les bulles observées ont des diamètres compris entre 7 et 16 nm. Les densités sont quant à elles comprises entre 110 et 190 at.nm−3, et on observe

que la densité semble augmenter ici aussi avec le diamètre, à quelques exceptions près. Ce comportement est présent sur les deux échantillons distincts utilisés. Il n’y a pas ici de limite maximum apparente, ce qui est peut-être lié au nombre plus faible de bulles observées, que pour les échantillons recuits à 700°C. De même, les trois bulles de plus faible densité ne suivant pas l’augmentation avec le diamètre peuvent être des exceptions, comme elle peuvent être des cas limites d’une dispersion plus prononcée.

La figureIV.13b) suggère que les bulles voient leur densité d’hélium augmenter en fonction du diamètre équivalent, notamment pour l’échantillon noté "3.1". Cependant, le faible nombre de bulles ne permet pas de confirmer cette relation de manière fiable. Les trois bulles précé- dentes, de plus faible densité, font ici encore exception. Il est intéressant de remarquer que les rapports d’aspects sont plus prononcés que dans le cas des échantillons recuits à 700°C, puisque plusieurs bulles présentent des valeurs supérieures à 1,3, dont une à 1,9. Combinant diamètre et rapport d’aspect (figureIV.13c), on observe une variation quasi linéaire assez nette, confirmant l’impression visuelle que les bulles les plus grosses sont globalement moins sphériques.