5.5.1 Tabanca Modunun Seçilmesi
Mikroskop farklı tabanca modlarında çalıştırılabilir:
§ Normal
§ Imaging
§ Analytic Normal Tabanca
Modu
Normal tabanca modunda Schottky emitörün (tabancanın/filamanın) sıcaklığı ve elektron çekme gerilimi, emitörün kullanım ömrünü artıracak şekilde optimize edilmiştir. Normal tabanca modu birçok uygulama için uygundur.
Görüntüleme Tabanca Modu
Görüntüleme tabanca modunda, Schottky emitörün sıcaklığı ve elektron çekme gerilimi Normal tabanca moduna kıyasla daha düşüktür. Bu da birincil elektronların enerji yayılımının azalmasına neden olur. Görüntüleme tabanca modundaki prob akımı, genellikle Normal tabanca modundaki prob akımının yaklaşık yarısı kadardır.
Görüntüleme tabanca modu, renk sapmalarını azaltmak ve daha iyi bir çözünürlük elde etmek için özellikle düşük kV'de veya yüksek büyütme oranlarında daha kullanışlıdır. Herhangi bir ışın ayarına gerek duymadan prob akımını azaltmak için, Normal tabanca modundan görüntüleme tabanca moduna geçilebilir.
Analiz Tabanca Modu
Analiz tabanca modunda Schottky emitörün sıcaklığı ve elektron çekme gerilimi nispeten daha fazladır. Bu da prob akımını yükseltir. Analiz tabanca modundaki prob akımı genellikle Normal tabanca modundaki prob akımının yaklaşık iki katı kadardır.
Analiz tabanca modu özellikle yüksek yoğunluklar gerektiren uygulamalar (WDX gibi) için
ZEISS 5 İşletime Alma ve İlk Çalıştırma İşlemleri | 5.5 Tabanca Parametrelerinin Değiştirilmesi
Bilgi
Tabanca modunu değiştirdikten hemen sonra seçtiğiniz tabanca modu ile çalışabilirsiniz.
Yüksek bir prob akımı kararlılığı gerektiren uygulamalarda, %0,2/sa'lik bir kararlılık düzeyine ulaşıncaya kadar 24 saat bekleyin. Sayısal numune analizleri esnasında tabanca modunu değiştirmemeniz önerilir.
Prosedür 1. Menu Bar öğesinden Tools > User Preferences öğesini seçin.
à User Preferences iletişim kutusu görüntülenir.
2. User > Expert Gun Mode öğesini seçin.
3. Value alanına tıklayın ve Yes öğesini seçin.
4. User Preferences iletişim kutusunu kapatın.
5. Panel Configuration Bar öğesindeki GeminiSEM Controline çift tıklayın.
6. GeminiSEM Controlnden Control sekmesini seçin.
7. Beam bölümünde aşağıdaki butonlardan birine tıklayın:
Görüntüleme tabanca moduna geçmek için Imaging öğesine tıklayın.
Normal tabanca moduna geçmek için Normal öğesine tıklayın.
Analiz tabanca moduna geçmek için Analytic öğesine tıklayın.
BİLGİ: En yüksek prob akımına ulaşmak için tabanca hizalamasını da kontrol edin.
BİLGİ: Tabancayı analiz modunda kullanırsanız emitörün kullanım ömrü kısalır.
5.5.2 Prob Akımının Ayarlanması
Gemini 2 kolonunda, yüzey ayrıntılarını yüksek çözünürlükte analiz etmek için daha düşük bir prob akımı veya analitik amaçlar için, örneğin numunelerin malzemesini analiz etmek için daha yüksek prob akımları da ayarlayabilirsiniz.
Optimum prob akımı ile, çapraz geçiş olmadan kondansör ayarı yapılır ve en yüksek çözünürlük elde edilir. Bu ayar yüksek büyütme oranlarında etkilidir.
Daha düşük prob akımları ise ışına duyarlı numuneler için uygundur.
Bilgi
En düşük prob akımı Imaging tabanca modunda elde edilebilir.
Çözünürlüğü iyileştirilmek için Optimum prob akımı ile Imaging tabanca modu birlikte kullanılabilir.
Bilgi
Ulaşılabilecek en yüksek prob akımı, o anda seçilen EHT değerine ve takılan diyaframın yapılandırmasına/konfigürasyonuna bağlıdır.
Prosedür 1. GeminiSEM Controlnde Control öğesini seçin.
2. I Probe değerine çift tıklayın.
à I Probe penceresi görüntülenir.
3. Metin giriş alanına istenilen değeri girin.
5.5.3 Prob akımını sürekli değiştirme (lisans: OPTIPROBE) Bilgi
OptiProb, prob akımını kesintisiz olarak ayarlamanızı sağlar. Bu işlev otomatik olarak uygun bir diyafram ve akım modu seçerken, aynı zamanda kullanıcının seçtiği prob akımına göre
ekstraktör gerilimini de ayarlar.
Bilgi
Katot değiştirildikten sonra veya elektron optik kolonu tekrar hizalandıktan sonra OptiProb kalibre edilmelidir.
Ön koşul ü OPTIPROBE ve HIGH VOLTAGE lisansları gereklidir.
ü Özel donanım ve numune akımı yükselteci takılmış olmalıdır.
Prosedür 1. GeminiSEM Controlnden Gun sekmesini seçin.
2. OptiProbe onay kutusunu işaretleyin.
3. İstediğiniz prob akımını ayarlamak için I Probe sürgüsünü kullanın.
à Prob akımı ayarı yapıldığında, OptiProbe Status göstergesi hemen Busy değerinden Ready değerine dönüşür.
à I Probe göstergesinde gösterilen prob akımı, gerçek prob akımına (± %15 dâhilinde) eşittir.
4. İşlevi devre dışı bırakmak için OptiProbe onay kutusunun işaretini kaldırın.
BİLGİ: OptiProbe devre dışı bırakıldığında, I Probe göstergesi gerçek prob akımını (± %15 doğrulukta) göstermeye devam eder.
5.5.4 Prob akımının ölçülmesi
Faraday kabı ile prob akımı ölçülerek, yazılımda görüntülenen akımın gelen prob akımına eşit olduğu doğrulanır. Yoğun soğurma özellikli bir malzemeden yapılan Faraday kabının küçük bir diyaframla örtülmüş bir boşluğu vardır. Işın bu boşluğa odaklandığında, hiçbir ikincil elektron ve geri saçılan elektron Faraday kabından çıkamaz.
Bilgi
Numune akımı (soğurulan akım), gelen prob akımının (ışın akımının) çok küçük bir parçasıdır ve bu akım numuneye çarpar ancak ikincil elektronlar, geri saçılan elektronlar veya aktarılan elektronlar hâlinde yayılmaz. Numuneden gelen başka bir sinyal yayılımı olmadığında, numune akımının değeri, numuneye gelen ve ona çarpan prob akımı değerine eşit olur.
Parçalar ve Aletler Adı Parça No.
Faraday kabı 348342-8055-000
Ön koşul ü Görüntü Alınması [} 75] başlığında açıklanan adımları başarıyla uygulamış olmalısınız.
Prosedür 1. Faraday kabını numune haznesinin içine yerleştirin. Bkz. Numune Haznesinin Hazırlanması [} 77].
2. Numune haznesini vakumlayın.
3. Tabancayı açın. Bkz. Tabancanın Açılması [} 81].
4. EHT’yi açın. Bkz. EHT'nin Açılması [} 81].
5. Panel Configuration Bar öğesinden Specimen Current Monitor öğesini seçin.
à Specimen Current Monitor penceresi görüntülenir.
6. Stage Bias onay kutusunu işaretleyin.
BİLGİ: Onay kutusundan Stage Bias onaylandığında, numune tablasına küçük bir negatif ön gerilim uygulanır. Bu özellikle iletkenliği az numunelerde dokunmatik alarma olan duyarlılığı artırır. Bazı özel durumlarda (örneğin çok düşük EHT değerlerinde), Stage Bias/
Tabla ön gerilimi seçeneğini devre dışı bırakmak ve tablanın potansiyelini sıfıra yakın ayarlamak gerekebilir.
ZEISS 5 İşletime Alma ve İlk Çalıştırma İşlemleri | 5.5 Tabanca Parametrelerinin Değiştirilmesi
7. Touch Alarm Disable onay kutusunun işaretini kaldırın.
BİLGİ: Touch Alarm Disable seçeneğinde tabla gerilimi düşük dirençli toprağa bağlanır.
Böyle bir bağlantının mikromanipülatörler kullanılarak yapılması gerekebilir. Bu onay kutusu onaylandığında hem dokunmatik alarm hem de numune akımının ölçümü devre dışı kalır.
à Böylece tablanın çarpmasını önleyen dokunmatik alarm etkin/çalışır duruma getirilir.
8. Tablayı Faraday kabının konumuna getirin.
9. Faraday kabının görüntüsünü alın.
10. Spot onay kutusunu işaretleyin.
à Görüntü üzerinde yeşil artı imleç görüntülenir. Bu artı imleç ışın noktasını gösterir.
11. Artı imleci kavrayın ve Faraday kabındaki deliğin içine sürükleyin.
à Prob akımı sürekli olarak ölçülür.
à Ölçülen prob akımı Specimen I göstergesinde gösterilir.
5.5.5 Ekstraktör Geriliminin Değiştirilmesi
Ekstraktör gerilimi önceden fabrikada veya ZEISS servis temsilcisi tarafından ayarlanmıştır.
Operatör ekstraktör gerilimini belirli uygulamalarda, prob akımını optimize etmek için belli sınırlar dâhilinde dikkatli bir şekilde artırabilir.
Bilgi
Ekstraktör gerilimini değiştirirken prob akımını ölçmek için Faraday kabını kullanın.
Bilgi
Yeni ayarlanan ekstraktör değeri sadece o andaki çalışma oturumu için geçerlidir. SmartSEM yazılımı tekrar başlatıldıktan sonra mikroskop nominal ekstraktör gerilimini geri yükler.
Bilgi
Ekstraktör geriliminin düşürülmesi mikroskobun performansını ve çözünürlüğü olumsuz etkileyebilir.
4 Ekstraktör gerilimini düşürmekten kaçının.
4 Ekstraktör gerilimini düşürecekseniz de sadece kısa bir süre (1-2 saat) ve en çok 500 V düşürün.
Ön koşul ü Ekstaktör geriliminin değiştirilmesi için Extractor kullanıcı ayrıcalığı gerekir.
Prosedür 1. Menu Bar öğesinden Beam > Gun Setup öğesini seçin.
à Gun Service iletişim kutusu görüntülenir.
2. Ekstraktör gerilimini artırmak için Extractor V Target göstergesine çift tıklayın.
à Extractor V Target penceresi görüntülenir.
3. Daha yüksek bir değer girin.
4. OK düğmesine tıklayın.