Kullanım Kılavuzu
ZEISS GeminiSEM
Alan Emisyonlu Taramalı Elektron Mikroskobu
Orijinal kullanım kılavuzu’nun çevirisi Carl Zeiss Microscopy GmbH Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena
Almanya
info.microscopy.de@zeiss.com www.zeiss.com/microscopy
Carl Zeiss Microscopy GmbH Carl-Zeiss-Straße 22 73447 Oberkochen Almanya
Doküman adı: Kullanım Kılavuzu ZEISS GeminiSEM Sipariş numarası: 349500-8138-130
Revizyon: 2 Dil: tr
Geçerlilik başlangıcı: 11.2020
© 2020 ZEISS ın önceden yazılı izni olmaksızın bu belge ya da herhangi bir bölümü fotokopi çekme, kaydetme gibi elektronik ya da mekanik yöntemlerle veya herhangi bir bilgi ya da elde etme sistemi ile çevrilmemeli, çoğaltılmamalı ya da aktarılmamalıdır Arşivleme amaçlı yedek kopyalar yapma hakkı bundan etkilenmeyecektir. Herhangi bir ihlal, telif hakkı ihlali olarak yargılanabilir.
Bu belge içindeki genel açıklayıcı adların, kayıtlı adların, ticari markaların vb. kullanımı, ilgili fikri mülkiyet kanun ve yönetmeliklerin kapsamı dışında olduğu ve bu nedenle genel kullanıma açık oldukları anlamına gelmez. Bu, özellikle belirtilmemişse dahi geçerli olacaktır. Yazılım programları tamamen ZEISS mülkiyeti altındadır. ZEISS’ın önceden yazılı izni olmaksızın herhangi bir program ya da sonraki güncelleme, herhangi bir üçüncü tarafa ifşa edilemez, başka herhangi bir biçimde kopyalanamaz ya da çoğaltılamaz; bu kopyalar veya çoğaltmalar müşterinin sadece iç kullanımında olsa bile tek istisna, arşivleme amaçlı tek bir yedek kopyadır.
ZEISS haber vermeksizin bu belge üzerinde değişiklik yapma hakkını saklı tutar.
ZEISS İçindekiler
İçindekiler
1 Genel Bilgiler ... 7
1.1 Metinlerin Düzeni ve Bağlantı/Link Türleri... 7
1.2 Uyarılarla ilgili Açıklamalar ve Ek Bilgiler ... 8
1.3 Geçerli Diğer Dokümanlar ... 9
1.4 İletişim ... 9
2 Güvenlik... 11
2.1 Kullanım Amacı ... 11
2.2 Genel Güvenlik Bilgileri... 12
2.2.1 Güvenli Kullanım Koşulları ... 12
2.2.2 Personelin yapması gerekenler ... 12
2.2.3 Önleyici bakım ... 13
2.2.4 Yedek Parçaların Güvenli Kullanımı... 13
2.3 Tehlikelerin Önlenmesi ... 13
2.3.1 Biyolojik Tehlikeler... 13
2.3.2 Yanma Tehlikeleri... 14
2.3.3 Kimyasal Tehlikeler... 14
2.3.4 Elektriksel Tehlikeler ... 15
2.3.5 Yüksek Basınç Tehlikeleri ... 15
2.3.6 Manyetik Alan Tehlikeleri ... 16
2.3.7 Mekanik Tehlikeler ... 16
2.3.8 Radyasyon Tehlikeleri ... 17
2.3.9 Boğulma Tehlikeleri... 17
2.4 Uyarı Etiketleri ve Işıkları... 18
2.4.1 Uyarı Etiketleri... 18
2.5 Güvenlik Donanımları ve Kilitleri ... 21
2.5.1 Koruyucu Kapak Panelleri... 22
2.5.2 Ana Şalter ... 22
2.5.3 Devre Kesici ... 23
2.5.4 Acil Durdurma (EMO) Seçeneği Harici... 23
2.5.5 Acil Durdurma (EMO) Seçeneği Dâhilî ... 24
2.5.6 Kilitleme Tertibatları ... 25
2.5.7 Kilitleme/Etiketleme Ekipmanı... 25
3 Ürünün ve İşlevlerin Tanıtımı ... 27
3.1 Sisteme Genel Bakış ... 27
3.2 Ana Bileşenler ... 29
3.2.1 Vakum Sistemi ... 29
3.2.2 Vakum Sistemi Basınç Modları... 30
3.2.3 Elektron Optik Kolonu | Gemini 1 ... 35
3.2.4 Elektron Optik Kolonu | Gemini 2 ... 37
3.2.5 Elektron Optik Kolonu | Gemini 3 ... 39
3.2.6 Tabanca modları ... 40
3.2.7 Dedektörler... 41
3.2.8 Numune Tablası ... 46
3.2.9 Çift Kumanda Kolu... 47
3.3 İsteğe Bağlı Bileşenler ve Aksesuarlar... 47
3.3.1 İsteğe Bağlı Dedektörler ... 47
3.3.2 Kontrol paneli ... 61
3.4 Yazılımın Tanıtımı ... 63
3.4.1 SmartSEM ... 63
4 Kurulum ... 68
5 İşletime Alma ve İlk Çalıştırma İşlemleri ... 69
5.1 İşletime Alma ve Çalıştırma ile İlgili Ön Koşullar ... 70
5.2 Mikroskop Sisteminin Açılması ... 70
5.2.1 Mikroskoba Güç Verilmesi ... 70
5.2.2 Mikroskobun başlatılması ... 72
5.3 Yazılımın Başlatılması ... 73
5.3.1 Yardım Çağırma ... 73
5.3.2 Klavye Kısayolları... 73
5.4 Görüntü Alınması ... 75
5.4.1 Numune Tutucunun Hazırlanması... 75
5.4.2 Numune Haznesinin Hazırlanması... 77
5.4.3 Numunenin Yerleştirilmesi... 79
5.4.4 Tabancanın Açılması... 81
5.4.5 EHT'nin Açılması ... 81
5.4.6 Görüntü Alınması ... 82
5.4.7 Görüntünün İyileştirilmesi... 84
5.4.8 Görüntünün Kaydedilmesi ... 86
5.5 Tabanca Parametrelerinin Değiştirilmesi ... 86
5.5.1 Tabanca Modunun Seçilmesi ... 86
5.5.2 Prob Akımının Ayarlanması... 87
5.5.3 Prob akımını sürekli değiştirme (lisans: OPTIPROBE) ... 87
5.5.4 Prob akımının ölçülmesi... 88
5.5.5 Ekstraktör Geriliminin Değiştirilmesi... 89
5.6 Farklı Diyafram Konfigürasyonları ve Işın Modları ile Çalışma ... 90
5.6.1 Takılı Diyafram Konfigürasyonunun Belirlenmesi | Gemini 1 Kolonu ve Gemini 3 kolonu ... 90
5.6.2 Takılı Diyafram Konfigürasyonunun Belirlenmesi | Gemini 2 Kolonu ... 90
5.6.3 Diyaframın Seçilmesi ... 91
5.6.4 Kolon Modunun Seçilmesi... 91
5.7 Uygun Dedektör Ayarlarının Bulunması ... 92
5.7.1 Dedektörün Seçilmesi... 92
5.7.2 Lens içi SE dedektörünü kurma... 93
5.7.3 SE Dedektörünün Kurulumu ... 93
5.7.4 VPSE dedektörünü kurma... 94
5.7.5 C2D Dedektörünün Kurulumu ... 95
5.7.6 AsB dedektörünü kurma... 96
5.7.7 AsB4 dedektörünü kurma... 97
5.7.8 aBSD/aBSD-LH/VP-BSD Dedektörünün Kurulumu... 99
5.7.9 YAG BSD Dedektörünün Kurulumu... 100
5.7.10 EsB dedektörünü kurma ... 101
5.7.11 SCD Dedektörünün Kurulumu ... 102
5.7.12 aSTEM Dedektörünün Kurulumu ... 102
5.7.13 CL Dedektörünün Kurulumu... 104
5.8 Değişken Basınçla Çalışma...104
5.8.1 Standart VP Moduna Geçiş... 105
5.8.2 Nano VP/XVP Modunun Kullanılması... 106
5.8.3 HV Moduna Dönme ... 112
ZEISS İçindekiler
5.9 Sistemin Kapatılması ...113
5.9.1 Çalışma Oturumunun Bitirilmesi... 113
5.9.2 Mikroskop Gücünün Kesilmesi... 113
5.9.3 Kilitleme/Etiketlemenin Uygulanması ... 114
5.10 Acil Kapatmanın Uygulanması ...114
6 Servis ve Bakım...115
6.1 Temizlik ve Bakım Sırasında Güvenlik...115
6.2 Bakım Planı ...115
6.3 Bakım İşlemleri...115
6.3.1 Sarf Malzemelerin ve Kimyasalların Değiştirilmesi ... 115
6.4 Bakım ve Temizlik İşlemleri ...116
6.4.1 Mikroskobun Temizlenmesi ... 117
7 Arızaların Giderilmesi...118
7.1 Genel Sistem ...120
7.1.1 CAN İletişiminin Kontrolü ... 120
7.2 Hazne ...120
7.2.1 Tablanın Başlatılması ... 120
7.2.2 İlk Konumuna Getirildikten Sonraki Tabla Konumunu Tanımlama ... 120
7.2.3 Kumanda Kolu TV Açısını Değiştirme... 121
7.2.4 Hazne Kapağı Contasının Değiştirilmesi ... 122
7.2.5 Dokunmatik alarmın sıfırlanması... 123
7.2.6 Su akışı ve sıcaklık kontrolü ... 123
7.3 Kolon...123
7.3.1 Tabanca Kafası Gazının Giderilmesi ... 123
7.3.2 Prob Akımının Kalibresi ... 125
7.3.3 Stigmatörün Kalibresi ... 125
7.4 Güç Devresi...126
7.4.1 Devre Kesici Konumlarının Kontrolü ... 126
7.5 Dedektörler...126
7.5.1 Çubuğu yağlama ... 126
7.6 Diyaframlar ...127
7.6.1 Beamsleeve açıklıklarının temizlenmesi ... 127
7.7 PC...129
7.7.1 Bilgisayarın Temizlenmesi ... 129
8 İşletimden Alma ve Bertaraf Etme İşlemleri ...130
8.1 İşletimden alma...130
8.2 Nakliye ve Depolama...131
8.3 Bertaraf Etme...134
8.4 Arındırma...134
9 Teknik Veriler ve Uygunluk Beyanı...135
9.1 Sistem Düzeni ...135
9.2 Performans Verileri ve Teknik Özellikler | GeminiSEM 360...135
9.3 Performans Verileri ve Teknik Özellikler | GeminiSEM 460...141
9.4 Performans Verileri ve Teknik Özellikler | GeminiSEM 560...148
9.5 Kurulum Gereklilikleri ...153
9.5.1 Yerleşim Düzeni ve Bağlantılar... 155
9.6 Geçerli Standartlar ve Yönetmelikler...157
10 Parçalar ve Aletler...158
10.1 Aletler ve aksesuarlar ...158
Terim sözlüğü ...160
Dizin ...164
ZEISS 1 Genel Bilgiler | 1.1 Metinlerin Düzeni ve Bağlantı/Link Türleri
1 Genel Bilgiler
Bu Kullanım Kılavuzu, SEM iş istasyonunun bir parçası sayılır. İş istasyonu tüm içerikte Mikroskop Sistemi tipi cihaz olarak anılacaktır.
Bu Kullanım Kılavuzu cihazın çalıştırılması ve bakımı esnasında uyulması gereken temel adımları ve güvenlik bilgilerini içerir. Bu nedenle, cihaz işletime alınmadan önce kullanıcı/operatör tarafından dikkatlice okunmalı ve daima Mikroskop Sistemi tipi cihazın kullanıldığı yerde bulundurulmalıdır.
Bu Kullanım Kılavuzu Mikroskop Sistemi tipi cihazın kalıcı bir parçası olup, Mikroskop Sistemi tipi cihaz tekrar satıldığında ondan ayrılmamalı veya cihazın yeni sahibine elden verilmelidir.
Bu kılavuz aşağıdaki bölümleri içerir:
Bölüm İçerik
Genel Bilgiler Bu kullanım kılavuzunun işlevi ve yapısı açıklanmıştır.
Güvenlik Cihazın güvenliği ile ilgili önemli ayrıntılar özetlenmiştir.
Ürünün ve İşlevlerin Tanıtımı
Bu bölümde mikroskop ve onun ana donanım bileşenleri tanıtılmış ve kullanıcı arayüzünün genel özellikleri açıklanmıştır.
Kurulum Buradaki bilgiler ZEISS servis temsilcilerine aittir.
İşletime Alma ve İlk Çalıştırma İşlemleri
Mikroskobun ve yazılımın başlatılması, ilk görüntünün alınması, önemli parametrelerin ayarlanması ve acil durumlarda mikroskobun
durdurulması ile ilgili bilgiler verilmiştir.
Servis ve Bakım Önleyici bakım işlemleri, bakım aralıkları ve sarf malzemelerin değiştirilmesi ile ilgili bilgiler verilmiştir.
Arızaların Giderilmesi Bu bölümde sıkça karşılaşılan arızalar/aksaklıklar ve bunların nasıl giderileceği açıklanmıştır.
İşletimden Alma ve Bertaraf Etme İşlemleri
Ürünün hizmetten alınması ve bertaraf edilmesi açıklanmıştır.
Teknik Veriler ve Uygunluk Beyanı
Bu bölümde donanımın teknik özelliklerinin yanı sıra, ilgili ekipmanın yürürlükteki tüm Avrupa yönergelerine uygunluğuna dair üretici beyanları sıralanmıştır.
Parçalar ve Aletler Bu bölümde sarf malzemeler, yedek parçalar, aletler ve aksesuarlar sıralanmıştır.
Terim sözlüğü Bu sözlükte önemli teknik terimler sıralanmıştır.
Dizin Bu dizinde, aradığınız bilgileri hızlıca bulmanıza yardımcı olacak anahtar sözcükler sıralanmıştır.
1.1 Metinlerin Düzeni ve Bağlantı/Link Türleri
Kılavuzun içeriğinde şu metin düzenleri ve bağlantı/link türleri kullanılmıştır:
Metin düzeni Anlamı
Start öğesine tıklayın.
STANDBY butonuna basın.
Klavyedeki [Enter] tuşuna basın.
Komut sözcükleri ve önemli bilgiler koyu harflerle gösterilmiştir.
<Ctrl+Alt+Del> tuşlarına basın. Klavyedeki birkaç tuşa aynı anda basın.
Metin düzeni Anlamı Tools > Goto Control Panel > Airlock
öğelerini seçin.
Yazılımdaki adımları izleyin.
Metin girişi Bunlar kullanıcının gireceği metinlerdir
Programlama ve Makrolar Bunlar makro kodları, anahtar sözcükler, veri türleri, değişkenler, yöntem/sınıf/arayüz adları vb. de dâhil, programlama esnasında girilecek her tür metinlerdir.
Tab. 1: Metin düzeni
Bağlantı türü Anlamı
Bakınız: Metinlerin Düzeni ve Bağlantı/Link Türleri [} 7].
Bu konuda daha fazla bilgi edinmek için bakınız:
https://www.zeiss.com/corporate/int/
home.html
İlgili İnternet sitesine bakınız.
Tab. 2: Bağlantı türleri
1.2 Uyarılarla ilgili Açıklamalar ve Ek Bilgiler
Bu kılavuzda, kişisel yaralanma ve maddi hasarlarla ilgili tehlike ve riskleri belirtmek amacıyla TEHLİKE, UYARI, DİKKAT ve DUYURU gibi standart uyarma sözcükleri kullanılmıştır. Sadece Safety bölümünde geçen güvenlik talimat ve uyarıları değil, aynı zamanda diğer bölümlerdeki güvenlik talimat ve uyarıları da dikkate alınmalıdır. Bu talimat ve uyarılara uyulmaması, hem kişisel yaralanmalara ve maddi hasarlara hem de kullanıcının tazminat talep etme hakkını kaybetmesine neden olabilir.
Bu kullanım kılavuzunda, tehlikeli durumlara ve risklere işaret eden aşağıdaki semboller ve uyarılar kullanılmıştır.
TEHLİKE
Tehlikenin türü ve kaynağı
TEHLİKE, önlenmediği takdirde hemen ölüm veya ciddi yaralanmayla sonuçlanacak tehlikeli bir durumu belirtir.
UYARI
Tehlikenin türü ve kaynağı
UYARI, önlenmediği takdirde ölüm veya ciddi yaralanmayla sonuçlanabilecek olası bir tehlikeli durumu belirtir.
DİKKAT
Tehlikenin türü ve kaynağı
DİKKAT, önlenmediği takdirde küçük veya orta seviyede yaralanmayla sonuçlanabilecek olası bir tehlikeli durumu belirtir.
ZEISS 1 Genel Bilgiler | 1.3 Geçerli Diğer Dokümanlar
DUYURU
Tehlikenin türü ve kaynağı
DUYURU, önlenmediği takdirde maddi hasarla sonuçlanabilecek olası bir zararlı durumu belirtir.
Bilgi
BİLGİ ile, kullanıcıların Kullanım Kılavuzu içeriğini daha iyi anlamalarını sağlayacak ek bilgiler verilmiş veya açıklamalar yapılmıştır.
1.3 Geçerli Diğer Dokümanlar
Lütfen aşağıdaki dokümanları da dikkate alınız:
Broşürler ve Sertifikalar
İlgili broşürler, ISO sertifikaları, CSA sertifikaları ve AB uygunluk beyanları için ZEISS Satış ve Servis Ortağınıza başvurunuz.
Kurulum Gereklilikleri
Teknik verilerle ilgili daha fazla bilgi için ilgili Kurulum Gereklilikleri’ne bakınız.
Yerel ve ulusal sağlık/güvenlik yönetmelikleri
Mikroskop Sistemi tipi cihazın kurulum yeri ve kullanımı ile ilgili tüm yerel ve ulusal sağlık/ güvenlik yönetmeliklerine uyulmalıdır. Bu yönetmeliklerin Mikroskop Sistemi tipi cihazın kurulum
gereklilikleriyle çatışması durumunda lütfen ZEISS Satış ve Servis Ortağınıza danışınız.
Güvenlik bilgi formları
Ekteki güvenlik bilgi formları dikkate alınmalıdır. İlgili güvenlik bilgi formlarında verilen talimatlara ve yönetmeliklere uyulmalıdır.
Yazılım SmartSEM yazılımının kullanımı ile ilgili daha ayrıntılı bilgi almak için lütfen yazılımın Çevrimiçi Yardım bölümüne bakınız. Yazılıma ve cihaz yazılımına ait güncellemeleri https://www.zeiss.com/
microscopy/int/downloads.html adresinden veya ZEISS Satış ve Servis Ortağınızdan edinebilirsiniz.
Sistem ve 3. Taraf Bileşenleri, Aksesuarlar
Mikroskop Sistemi tipi cihaz, birçok farklı konfigürasyonda yapılandırılabilir. Her bir bileşen, bunlardaki gelişmeler ve aksesuarlar hakkında ZEISS Satış ve Servis Ortağınızdan bilgi alabilirsiniz.
Ayrıca üreticinin 3. taraflarla ilgili dokümanlarına da bakınız.
1.4 İletişim
Herhangi bir sorunuz veya sorununuz olduğunda lütfen yerel ZEISS Satış ve Servis Ortağınıza veya aşağıdaki adreslerden birine başvurunuz:
Genel Merkez
Telefon: +49 1803 33 63 34
Faks: +49 3641 64 3439
E-posta: info.microscopy.de@zeiss.com
Almanya Servisi
Telefon: +49 7364 20 3800
Faks: +49 7364 20 3226
E-posta: service.microscopy.de@zeiss.com
Kurslar ve eğitim
E-posta: courses.microscopy.de@zeiss.com
ZEISS Satış ve Servis Ortağı
Bölgenizdeki size en yakın ZEISS Satış ve Servis Ortağını https://www.zeiss.de/mikroskopie/
website/forms/sales-and-service-contacts.html adresinden bulabilirsiniz.
ZEISS 2 Güvenlik | 2.1 Kullanım Amacı
2 Güvenlik
Bu bölümde, güvenli çalışma uygulamaları ile ilgili genel gereklilikler yer almaktadır. Mikroskop Sistemi tipi cihazın kurulumunu veya bakımını üstlenecek herkes bu genel güvenlik talimatlarını okumalı ve bunlara uymalıdır. Temel güvenlik talimatlarını ve gerekliliklerini bilmek, cihazın güvenli ve hatasız işletimi için bir ön koşuldur. Temin edilen Mikroskop Sistemi tipi cihazın işletim
güvenliği, ancak kullanım amacına uygun olarak işletilmesi koşuluyla sağlanır.
Artık riskler eşliğinde yapılan her bir iş/işlem, bu kılavuzun ilgili bölümlerinde özel bir uyarı ile belirtilmiştir. Özel bir dikkatle kullanılması gereken bileşenler de birer uyarı etiketi ile
işaretlenmiştir. Bu uyarılara daima dikkat edilmelidir.
2.1 Kullanım Amacı
Bu mikroskop, odaklanan bir elektron ışınıyla numune yüzeylerini boydan boya tarayarak görüntü elde etmek (SEM görüntüleme) veya uygun numuneleri analiz etmek için tasarlanmıştır.
Mikroskobik incelemeye ilave olarak, bu mikroskopla aynı zamanda uygun numunelerin modifikasyonu da yapılabilir. Bu uygulamalar için numune içi vakumlanmış numune haznesinin içine yerleştirilir.
Mikroskop aşağıdaki uygulamalar için tasarlanmıştır:
§ Görüntüleme
Görüntü elde etme ve numune analizi, numune yüzeyini boydan boya tarayan odaklanmış bir elektron ışını aracılığıyla gerçekleştirilebilir.
Bu uygulama sayesinde uygun numunelerin üst yüzey yapıları ve üst yüzeye yakın yapıları analiz edilebilir.
§ Analiz
İsteğe bağlı EDS spektroskopi ile element analizi yapılabilir.
İsteğe bağlı olarak temin edilen EBSD dedektörleri ile de kristal yapı analizi ve oryantasyon yapılabilir.
Mikroskop, gaz enjeksiyon sistemi seçeneği ile birlikte aşağıdaki uygulamalarda kullanılmak üzere tasarlanmıştır:
§ Gaz destekli çökeltme
Numune yüzeyine istenilen türde bir malzemeyi çökeltmek için, odaklanmış elektron ışını ile birlikte bir proses gazı da kullanılabilir.
§ Gaz destekli dağlama
Bu uygulama sayesinde, odaklanmış elektron ışını proses gazı ile birlikte kullanılarak yüzeylerden hızla malzeme kaldırılabilir.
Bilgi
Bu uygulama terapi, tedavi veya tıbbi teşhis kanıtlama amaçlı değildir.
Bilgi
Ürünlerin tamamı her ülkede mevcut değildir. Daha fazla bilgi için yerel ZEISS temsilcinize başvurunuz.
SmartSEM Yazılımı SmartSEM yazılımı, taramalı elektron mikroskoplarının (SEM'ler) işletimi için tasarlanmıştır.
SmartSEM yazılımı, özellikle ZEISS tarafından temin edilen bir kişisel bilgisayarda çalıştırılmalıdır.
Başka tarzda bir uygulamaya izin verilmez.
Mikroskobun çalıştırılması/kullanımı ile ilgili şu kurallara uyulmalıdır:
§ Mikroskobu ancak bir ZEISS servis temsilcisi tarafından doğru şekilde kurulduktan sonra ve işletim koşullarına uygun olarak çalıştırınız.
§ Mikroskobu sadece bir ZEISS servis temsilcisi tarafından eğitilmiş operatörler kullanmalıdır.
Temel operatör eğitimi ve güvenlik talimatları, ZEISS tarafından yapılan ilk kurulum ve çalıştırma kapsamında verilecektir. Mikroskopla çalışan herkesin sadece eğitimini aldığı görevleri yapması sağlanmalıdır.
§ Mikroskop operatörleri bu kılavuzda verilen talimatların dışına çıkmamalıdır.
§ Sadece bu kılavuzda belirtilen önleyici bakım işlemlerini uygulayınız. Bu kılavuzda belirtilmeyen diğer tüm bakım, servis ve onarım işlemleri sadece yetkili bir ZEISS servis temsilcisi tarafından yapılmalıdır.
§ Mikroskop bir laboratuvar ortamında, sadece ticari ve bilimsel amaçlar için kullanılmalıdır.
Mikroskobun başka amaçlarla kullanımına izin verilmez ve amaç dışı kullanımlar tehlikeli olabilir.
Hatalı kullanım, Mikroskop Sistemi tipi cihazda kolaylıkla işlevsel aksaklıklara ve hatta hasarlara neden olabilir. Özellikle cihaz parçalarının sökülmesi, değiştirilmesi veya parçalara tadilat uygulanması sonucunda cihazın hatalı çalışmasından ve özensizlik veya yetkisiz müdahalelerden kaynaklanan hasarlardan cihaz üreticisi sorumlu tutulamaz. ZEISS tarafından açıkça onaylanmamış üçüncü taraf cihazları veya bileşenleri kullanılamaz.
2.2 Genel Güvenlik Bilgileri
Ürünün güvenli ve kesintisiz olarak çalıştırılabilmesi için, işletime alınmadan önce bu Kullanım Kılavuzu dikkatlice okunmalıdır. Verilen tüm güvenlik bilgilerini mutlaka dikkate alınız. Şu hususlardan emin olunmalıdır:
§ Cihazı işleten personel bu Kullanım Kılavuzu’nu, ilgili dokümanları ve özellikle de tüm güvenlik yönetmeliklerini ve talimatlarını okuyup anlamalı ve bunları aynen uygulamalıdır.
§ Yerel/ulusal güvenlik ve kaza önleme yönetmeliklerinin yanı sıra ülkenizin yürürlükteki ilgili diğer yasa ve yönetmeliklerine de uymalısınız.
§ Bu Kullanım Kılavuzu daima Mikroskop Sistemi tipi cihaz ile birlikte/cihazın yanında bulundurulmalıdır.
§ Mikroskop Sistemi tipi cihaz daima mükemmel bir durumda olmalıdır.
§ Mikroskop Sistemi tipi cihaz yetkisiz kişilerin erişimine karşı korunmalıdır.
§ Mikroskop Sistemi tipi cihazın bu Kullanım Kılavuzu'nda belirtilmeyen bakım ve onarım işlemleri, yeniden yapılandırma/model değişimi, bileşenlerin sökümü veya değişimi ile diğer tüm müdahaleler sadece cihaz üreticisi ZEISS ya da ZEISS’in açıkça yetkilendirdiği kişiler tarafından yapılabilir.
2.2.1 Güvenli Kullanım Koşulları
Ürün güvenlik etiketleri aşınmışsa veya üstleri kapanmışsa ya da güvenlik cihazlarının herhangi biri, doğru çalışma durumunda değilse, mikroskobun kullanılması tehlikeli olabilir.
§ Güvenlik ekipmanının çalıştığını ve tüm koruyucu kapak panellerinin takılı olduğunu periyodik olarak kontrol edin.
§ Her zaman, güvenlik etiketlerinde verilen talimatlara uyun.
§ İyi okunurluk sağlamak için, ürün güvenlik etiketlerini inceleyin ve temizleyin.
2.2.2 Personelin yapması gerekenler
Bu kılavuzda ve güvenlik etiketlerinde verilen talimatlara uyulmaması, tehlikeli olabilir veya mülk hasarına yol açabilir.
§ Mikroskop ile birlikte verilen tüm kullanıcı dokümanlarını tamamen okuyup anlamadan mikroskobu çalıştırmayın.
§ Mikroskop üzerindeki ve bu kılavuzdaki tüm güvenlik etiketlerine uyun.
ZEISS 2 Güvenlik | 2.3 Tehlikelerin Önlenmesi
§ Mikroskobu yalnızca bir ZEISS servis temsilcisi tarafından doğru şekilde kurulduktan sonra, çalışma koşullarına uygun şekilde kullanın.
§ Mikroskop üzerinde yalnızca radyasyondan korunmayla ilgili özel bilgilere sahip ZEISS temsilcilerinin servis işlemi yapmasına izin verilir.
Operatör eğitimi
İlk çalıştırma kapsamı dahilinde, ZEISS servis temsilcisi temel operatör eğitimini verecektir. Temel operatör eğitimi güvenlik talimatları dahil temel çalıştırma prosedürlerinden oluşur. Bunun
yanında, temel bakım görevlerine giriş eğitimi, elektrik konusunda uzman, ileri düzey bir operatöre verilmelidir. Verilen eğitim uygun şekilde belgelenmelidir.
Özel uygulama eğitimi talep üzerine verilir.
2.2.3 Önleyici bakım
Bu kılavuzda tanımlanan bakım ve onarım görevlerine uyulmaması tehlikeli olabilir veya mülk hasarına yol açabilir.
§ Yalnızca bu kılavuzda tanımlanan önleyici bakım ve onarım görevlerini gerçekleştirin.
§ Bu kılavuzda açıklanmayan diğer tüm bakım, servis ve onarım işleri yalnızca yetkili bir ZEISS servis temsilcisi tarafından yapılmalıdır.
§ En iyi mikroskop performansını elde etmek için düzenli aralıklarla önleyici bakımın yapılması önemlidir. Bunun yanında, yerel ZEISS servis temsilciniz ya da şirketi ile servis sözleşmesi imzalamanız tavsiye edilir.
2.2.4 Yedek Parçaların Güvenli Kullanımı
ZEISS tarafından temin edilmeyen yedek parçaların kullanılması mülk hasarına yol açabilir:
§ Mikroskoba servis verilirken yalnızca ZEISS tarafından temin edilen orijinal parçalar kullanılmalıdır.
§ Yedek parça siparişinin nasıl verileceğiyle ilgili bilgi için ZEISS servis temsilciniz ile irtibat kurun.
§ ZEISS tarafından yetki verilmediği sürece, tüm yedek parçalar bir ZEISS servis temsilcisi tarafından kurulmalıdır.
2.3 Tehlikelerin Önlenmesi
Bu bölümde olası tehlikeler ve bunlar için önerilen güvenlik önlemleri açıklanmıştır. Güvenlik talimatlarına ve diğer uyarılara uyulmadığında, personel yaralanabilir ve maddi hasarlar meydana gelebilir.
2.3.1 Biyolojik Tehlikeler UYARI
Biyolojik tehlikeler
Biyolojik maddeler insan sağlığına ve diğer yaşayan canlılara bir tehdit oluşturabilir.
4 Mikroskoba yüklenen biyolojik maddelerin bir günlüğünü tutun ve mikroskop üzerinde herhangi bir çalışma yapmadan önce ZEISS servis temsilcisine bunu gösterin.
2.3.2 Yanma Tehlikeleri DUYURU
Cihazın gazı giderilirken yüzeyleri sıcaktır
Cihazın gazı giderilirken, özellikle de gaz giderme işlemi uzun sürdüğünde kolonun üst kısmındaki muhafaza parçaları ısınabilir.
4 Cihazın gazı giderilirken elektron optik kolonunun ızgaraları üzerine hiçbir yanıcı madde koymayın.
4 Gaz giderme işleminden sonra, kolonun çevresinde çalışmaya başlamadan önce yüzeylerin soğumasını bekleyin.
4 Gaz giderme işlemini sadece deneyimli operatörler uygulayabilir.
2.3.3 Kimyasal Tehlikeler UYARI
Agresif veya zehirli kimyasallar
Agresif veya zehirli kimyasallar, kimyasal yanıklara neden olabilir.
4 Agresif veya zehirli kimyasallar ile çalışırken uygun koruyucu giysi, eldiven giyin ve koruyucu gözlük/yüz maskesi takın.
4 Zehirli kimyasallar ile çalışırken hiçbir şey yemeyin, içmeyin ve sigara kullanmayın.
4 Yerel güvenlik talimatlarına bakın.
4 İlgili kimyasal maddenin malzeme güvenlik bilgi formundaki talimatları okuyun ve bunlara uyun. Malzeme güvenlik bilgi formlarını, ilgili kimyasalların tedarikçilerinden temin edebilirsiniz.
UYARI
Reaksiyon ürünleri
İşlem sırasında veya sonrasında, numune haznesinin içinde tehlikeli reaksiyon ürünleri bulunabilir/kalabilir.
4 Ön vakum pompasındaki atık gazın pompadan alınıp dışarıya atılmasını sağlayacak uygun bir egzoz gazı hattı bulunduğundan emin olun.
4 Numune haznesinin içindeki parçalara veya numuneye dokunurken tüy/lif bırakmayan eldiven giyin.
DİKKAT
Tahriş edici gazlar
Gaz enjeksiyon sistemi (GIS) kullanıldığında, öncü bileşikler ortama tahriş edici gazlar salabilir.
Bu gazlar gözlerde, ciltte ve solunum sisteminde tahrişlere neden olabilir.
4 Gaz enjeksiyon sistemindeki rezervuarı çıkarmayın.
4 Boş rezervuarın değiştirilmesi için ZEISS servis temsilciniz ile iletişim kurun.
4 Asla bir rezervuarı açmaya çalışmayın.
4 Daha fazla bilgi için GIS Kullanım Kılavuzu’na bakınız.
ZEISS 2 Güvenlik | 2.3 Tehlikelerin Önlenmesi
DUYURU
Agresif veya zehirli kimyasalların bertaraf edilmesine bağlı çevresel risk Agresif veya zehirli kimyasalları bertaraf ederken bunların çevreye zarar verme riski vardır.
4 Herhangi bir servis işlemi sırasında oluşan atıkları (ör. santrifüj pompanın atık yağını) bertaraf ederken tüm ulusal ve yerel güvenlik ve çevre koruma yönetmeliklerine uyun.
2.3.4 Elektriksel Tehlikeler UYARI
Mikroskobun içinde tehlikeli gerilim vardır
Mikroskobun içinde yüksek gerilimler vardır. İç parçalara temas yanıklara veya elektrik çarpmasına neden olabilir.
4 Hiçbir parçayı sökmeyin.
4 Mikroskobun servis işlemlerini sadece yetkili ZEISS servis temsilcileri yapabilir.
4 Mikroskobun servis işlemlerini kendiniz yapmaya çalışmayın.
4 Cihazın içini açmadan önce gücü kesin.
UYARI
Yüksek kaçak akım
Mikroskobun içinde yüksek kaçak akımlar vardır. İç parçalara temas yanıklara veya elektrik çarpmasına neden olabilir.
4 Topraklamanın doğru yapıldığından emin olun. Daha fazla bilgi için Kurulum Gereklilikleri dokümanına bakın.
4 Özel bir toprak bağlantısı olmadan mikroskobu çalıştırmayın.
2.3.5 Yüksek Basınç Tehlikeleri UYARI
Gaz silindirlerinde yüksek basınç vardır
İçinde azot veya basınçlı hava vb. olan gaz silindirlerinde, yaklaşık 200 bar’lık yüksek bir iç basınç vardır. Gaz silindirleri gerektiği gibi kullanılmadığı takdirde, içlerindeki gaz aniden dışarı püskürebilir. Bu da gaz silindirlerinin kontrolsüz şekilde savrulmasına neden olur.
4 Gaz silindirlerinin üstündeki tüm güvenlik etiketlerine ve gaz silindiri üreticisinin verdiği tüm güvenlik talimatlarına dikkat edin.
4 Gaz silindirlerini daima dik konumda kullanın ve devrilmeyecek şekilde yerlerine sabitleyin.
4 Gaz silindirlerini taşımaya başlamadan önce silindirlerin koruyucu kapaklarını takın.
2.3.6 Manyetik Alan Tehlikeleri
UYARI
İyon alıcı pompaların yakınındaki tıbbi cihazlar arızalanabilir
İyon alıcı pompalardaki manyetik alanlar o çevredeki tıbbi cihazların işleyişini aksatabilir.
Mikroskop kapatılsa bile üzerinde yine manyetik alanlar bulunur.
Vücudunuzda manyetik alana duyarlı tıbbi implantlar (ör. kalp pilleri vb.) varsa şunları yapın:
4 İyon alıcı pompalar ile aranızda en az 30 cm’lik mesafeyi koruyun.
4 Pompa üreticisinin verdiği güvenlik talimatlarına uyun.
2.3.7 Mekanik Tehlikeler DİKKAT
Numune tablası hareketlidir
Numune tablası hareket ederken parmaklarınızı sıkıştırabilir.
4 Numune tablasını hareket ettirmeden önce daima hazne kapağını kapatın.
4 Tablanın içine ya da yakınına düşen parçaları parmaklarınızla değil, bir alet (ör. cımbız) ile alın.
DİKKAT
Hazne kapağını dikkatli kapatın
Hazne kapağını kapatırken parmaklarınız sıkışabilir.
4 Hazne kapağını kulpundan tutarak kapatın.
4 Bu esnada parmaklarınızın hazne kapağının aralığına sıkışmamasına dikkat edin.
DUYURU
Kısa çalışma mesafesi
Numune tablası kısa bir çalışma mesafesinde ise hazne kapağı açılırken mikroskop veya numune hasar görebilir. Hazneye BSD dedektörü takılmışsa o da zarar görebilir.
4 Hazne kapağını açmadan önce geri çekilebilen dedektörleri daima geri çekin.
4 Ancak NanoVP ve XVP modunda ışın kovanı yerinde takılı kalmalıdır.
4 Hazne kapağını açmadan önce numune tablasını daima uzun bir çalışma mesafesine getirin.
ZEISS 2 Güvenlik | 2.3 Tehlikelerin Önlenmesi
2.3.8 Radyasyon Tehlikeleri
UYARI
X ışını kaynaklı radyasyon tehlikesi
Mikroskop çalışırken içinde X ışını üretir. Elektronlar 30 kV’ye kadar ulaşan gerilimlerle hızlandırıldığından, bu kaçınılmaz bir durumdur.
4 Kolonu ve hazneyi çevreleyen ve radyasyondan korunma için önemli olan hiçbir parçayı sökmeyin.
4 Sadece orijinal ZEISS parçalarını kullanın.
4 Tüm yerel güvenlik ve X ışınından korunma yönetmeliklerine uyulduğundan emin olun.
4 Mikroskobun servis işlemlerini sadece yetkili ZEISS servis temsilcileri yapabilir.
Mikroskop çeşitli radyasyondan koruyucu cihazlarla donatılmış olup, bu cihazlar normal çalışma koşullarında mikroskobun Alman X Işınından Korunma Yönetmeliği (RöV), Alman Radyasyondan Korunma Yönetmeliği (StrSchV) ve de 2013/59/EURATOM sayılı AT Yönetmeliği şartlarına uygun olarak çalışmasını sağlar.
AB ülkelerinde aşağıdaki gereklilikler karşılandığından, mikroskobun işletimi için izin almak gerekmez:
§ Hızlandırma gerilimi 30 kV ile sınırlıdır.
§ Mikroskobun erişilebilen yüzeyinden 0,1 m’lik bir mesafedeki lokal doz seviyesi 1 µSv/saat’i geçmez.
§ Mikroskobun üzerine gerekli etiketler yapıştırılır.
AB dışı ülkelerde ise mikroskop kullanıcısı, mikroskobun işletileceği ülkenin yerel yönetmelik ve talimatlarına uymalıdır.
Radyasyondan Korunma Konusunda İletişim
Radyasyondan korunmayla ilgili sorularınızı, ZEISS Radyasyon Güvenliği Yetkilisi, Carl Zeiss AG, 73447 Oberkochen, Almanya adresine iletebilirsiniz.
Telefon: +49 (0) 7364 20 0
2.3.9 Boğulma Tehlikeleri UYARI
Oksijen yetersizliğine bağlı boğulma tehlikesi
Numune değişimi sırasında, numune haznesinin ventilasyonu için gaz hâlinde kuru azot kullanılır. Azotun solunması bilinç kaybına neden olabilir.
4 Numune değiştirilirken hazne kapağı olabildiğince kısa bir süre açık kalmalıdır.
4 Numune haznesinin içinden çıkan havayı solumayın.
4 Mikroskobun çevresindeki alanın yeterince havalandırıldığından emin olun.
4 Kendinizde asfiksi belirtileri (örneğin: hızlı soluma, zihinsel uyanıklık kaybı ve/veya kaslarda koordinasyon kaybı, duyuların azalması, duygusal dengesizlik, yorgunluk) hissetmeye başlarsanız derhal odayı terk edin ve durumu tesisin güvenlik görevlisine bildirin.
Azot tesisatlarındaki tehlikeler ve bunlarla ilgili güvenlik önlemleri için, IGC Doc 44/18 sayılı şu kılavuzun güncel versiyonuna bakın: Oksijeni Yetersiz Ortamların Tehlikeleri, Yayınlayan: EIGA (Avrupa Endüstriyel Gazlar Birliği).
Dokümanı indirmek için:
1. EIGA ana sayfasına (www.eiga.eu) girin.
2. Publications > EIGA Documents öğesini seçin.
3. Listeden Doc. 44/18 öğesini seçin.
4. Download öğesine tıklayın.
2.4 Uyarı Etiketleri ve Işıkları
Özellikle tehlike arz edebilecek tüm konumlar, Mikroskop Sistemi tipi cihaz üzerinde ekstra uyarı etiketleri (piktogramlar) ile işaretlenmiştir. Bu uyarı etiketleri, muhtemel tehlikeleri gösterir ve bu Kullanım Kılavuzu'un bir parçası sayılır. Bunlar daima temiz ve kolay okunabilir durumda
tutulmalıdır. Hasarlı veya okunaksız uyarı etiketleri hemen değiştirilmelidir. Mikroskop Sistemi tipi cihaz üzerindeki tüm uyarı etiketlerine daima uyun.
2.4.1 Uyarı Etiketleri
Mikroskop üzerindeki uygun güvenlik etiketleri operatörleri tehlikelere karşı uyarır. Her bir güvenlik etiketi, belirli bir tehlikenin olduğu yerin en yakınına yapıştırılır. Bazı etiketler aynı zamanda yasal bilgiler de içerir.
Mikroskobun ön tarafı
1 2 3
ZEISS 2 Güvenlik | 2.4 Uyarı Etiketleri ve Işıkları
Mikroskobun arka tarafı
Contact may cause burn or electric shock. Only authorised service Staff is allowed to service the equipment.
Disconnect power before opening.
Hazardous voltage inside WARNING
Burn hazard CAUTION
347800-0033-000-05en Hot surfaces inside during bakeout procedure.
Do not place any combustible objects on the grids of the electron optical column. Only authorised service staff is allowed to service the equipment.
Disconnect power and let surfaces cool before opening.
347800-0033-000-06en X-rays are generated inside the electron microscope during operation.
Do not remove any parts.
Use genuine ZEISS parts exclusively.
Observe local safety and X -ray protection regulations.
Radiation hazard CAUTION Suffocation hazard
CAUTION The specimen chamber is ventilated with gaseous nitrogen.
Ensure that the area around the electron microscope is sufficiently ventilated.
High leakage current CAUTION Ensure proper grounding.
Do not operate the electron microscope without a separate ground connection.
347800-0033-000-10en In Germany, the operation of the FESEM is permissionfree as the following requirements are fulfilled:
is limited to 30 kV.
The acceleration voltage of this electron microscope
accessible surface of theelectron microscope does not The local dose rate at a distance of 0.1 m from the exceed 1 µS/h.
4 5
6 7 8
9
Güvenlik etiketlerinin mikroskop üzerinde daima doğru yerlere yapıştırılması gerekir. Kaybolan veya okunamayan güvenlik etiketleri aşağıdaki sipariş numaraları ile tekrar sipariş verilmelidir:
Güvenlik etiketinin konumu ve şekli Açıklama 1 Hazne kapağının ön yüzünde.
Risk of injury
WARNING
347800-0033-000-02en
Fingers could be trapped.
Always close the chamber door before you move the stage.
Yaralanma riski
Parmaklarınız sıkışabilir. Tablayı hareket
ettirmeden önce daima hazne kapağını kapatın.
Sipariş No. 347800-0033-000-02en
2 Hazne kapağının ön yüzünde.
Risk of damage
CAUTION
347800-0033-000-04en
The FESEM or specimen could be damaged if specimen stage is at a short working distance.
Move the specimen stage to a long working distance before opening the chamber door.
Zarar görme riski
Numune tablası kısa bir çalışma mesafesinde ise FESEM ya da numune hasar görebilir.
Hazne kapağını açmadan önce numune tablasını uzun bir çalışma mesafesine getirin.
Sipariş No. 347800-0033-000-04en 3 Kaidenin ön tarafında
Avoid injury CAUTION
347800-0033-000-01en
Make sure you have read and understood the instruction manual before operating this product.
Yaralanmayı önleyin
Bu ürünü çalıştırmadan önce kullanım kılavuzunu okuyup anladığınızdan emin olun.
Sipariş No. 347800-0033-000-01en
Güvenlik etiketinin konumu ve şekli Açıklama 4 Elektron optik kolonunun arka
tarafında
Contact may cause burn or electric shock. Only authorised service Staff is allowed to service the equipment.
Disconnect power before opening.
Hazardous voltage inside
WARNING
347800-0033-000-03en
İç parçalarda tehlikeli gerilim
İç parçalara temas etmek, yanıklara veya elektrik çarpmasına neden olabilir. Ekipmanın servis işlemlerini sadece yetkili servis personeli yapabilir.
Cihazın içini açmadan önce gücü kesin.
Sipariş No. 347800-0033-000-03en
5 Elektron optik kolonunun arka tarafında
Burn hazard
CAUTION
347800-0033-000-05en
Hot surfaces inside during bakeout procedure.
Do not place any combustible objects on the grids of the electron optical column. Only authorised service staff is allowed to service the equipment.
Disconnect power and let surfaces cool before opening.
Yanma tehlikesi
Gaz giderme işlemi esnasında iç yüzeyler sıcaktır.
Elektron optik kolonunun ızgaraları üzerine hiçbir yanıcı madde koymayın. Ekipmanın servis
işlemlerini sadece yetkili servis personeli yapabilir.
Gücü kesin ve açmadan önce yüzeylerin soğumasını bekleyin.
Sipariş No. 347800-0033-000-05en 6 Kaidenin arka tarafında
Suffocation hazard
CAUTION
347800-0033-000-08en
The specimen chamber is ventilated with gaseous nitrogen.
Ensure that the area around the electron microscope is sufficiently ventilated.
Boğulma tehlikesi
Numune haznesinin ventilasyonu azot gazı ile yapılır.
Elektron mikroskobunun çevresindeki alanın yeterince havalandırıldığından emin olun.
Sipariş No. 347800-0033-000-08en 7 Kaidenin arka tarafında
High leakage current
CAUTION
347800-0033-000-07en
Ensure proper grounding.
Do not operate the electron microscope without a separate ground connection.
Yüksek kaçak akım
Topraklamanın doğru yapıldığından emin olun.
Özel bir toprak bağlantısı olmadan elektron mikroskobunu çalıştırmayın.
Sipariş No. 347800-0033-000-07en
8 Kaidenin arka tarafında
347800-0033-000-10en
In Germany, the operation of the FESEM is permissionfree as the following requirements are fulfilled:
is limited to 30 kV.
The acceleration voltage of this electron microscope
accessible surface of theelectron microscope does not The local dose rate at a distance of 0.1 m from the exceed 1 µS/h.
Almanya'da aşağıdaki gereklilikler
karşılandığından FESEM'in işletimi için izin almak gerekmez:
Bu elektron mikroskobunun elektron hızlandırma gerilimi 30 kV ile sınırlıdır.
Mikroskobun erişilebilen yüzeyinden 0,1 m’lik bir mesafedeki lokal doz seviyesi 1 µSv/saat’i geçmez.
9 Kaidenin arka tarafında
347800-0033-000-06en
X-rays are generated inside the electron microscope during operation.
Do not remove any parts.
Use genuine ZEISS parts exclusively.
Observe local safety and X-ray protection regulations.
Radiation hazard
CAUTION
Radyasyon tehlikesi
Elektron mikroskobu çalışırken içinde X ışını üretir.
Hiçbir parçayı sökmeyin.
Sadece orijinal ZEISS parçalarını kullanın.
Yerel güvenlik ve radyasyondan korunma yönetmeliklerine uyun.
Sipariş No. 347800-0033-000-06en
ZEISS 2 Güvenlik | 2.5 Güvenlik Donanımları ve Kilitleri
Güvenlik etiketinin konumu ve şekli Açıklama
Liquid nitrogen
CAUTION
347800-0033-000-09en
Contact with liquid or cold vapors can cause freeze burns or severe frostbite.
Wear face, eye and skin protection.
İlgili seçecekler için:
Sıvı azot
Sıvı ile veya soğuk buharı ile temas, donma yanıklarına veya şiddetli soğuk vurmasına neden olabilir.
Yüz, göz ve cilt koruma ekipmanı kullanın.
Sipariş No. 347800-0033-000-09en
Mikroskop kapak panellerinin altında yetkili ZEISS servis temsilcilerini ilgilendiren başka güvenlik etiketleri de vardır. Bu güvenlik etiketleri, ZEISS servis temsilcilerine ait ilgili dokümanlarda açıklanmıştır.
Tanıtım plakasının konumu ve şekli Açıklama Mikroskobun arka tarafında Tanıtım plakası
Sipariş no. 349599-9100-010 (GeminiSEM 360) Sipariş no. 349599-9100-020 (GeminiSEM 460) Sipariş no. 349599-9100-030 (GeminiSEM 560)
2.5 Güvenlik Donanımları ve Kilitleri
Yaralanmaların ve/veya maddi hasarların önlenmesi için Mikroskop Sistemi tipi cihaz çeşitli güvenlik donanımları ve kilit tertibatları ile donatılmıştır. Arızalar ve diğer hasarlı güvenlik
donanımları/kilit tertibatları, yaralanmalara ve maddi hasarlara neden olabilir. Bir arıza veya hasar olduğunda, Mikroskop Sistemi tipi cihazın arızalı/hasarlı parçaları derhal kullanım dışı bırakılmalı ve yanlışlıkla kullanıma karşı emniyeti sağlanmalıdır.
Mikroskop Sistemi tipi cihazın güvenliğini doğrulaması için lütfen ZEISS servis temsilcisi ile iletişim kurun. Lütfen cihazınızın servis kayıtlarını ve bakım sicillerini saklayın.
2.5.1 Koruyucu Kapak Panelleri
Mikroskobun içinde yüksek/tehlikeli gerilimler ve X ışınları olduğundan, mikroskop özel koruyucu kapak panelleri ile donatılmıştır.
1
2
3
Şk. 1: Koruyucu kapak panelleri
1 Elektron optik kolonunun koruyucu kapak panelleri
2 Numune haznesinin koruyucu kapak panelleri
3 Kaidenin koruyucu kapak panelleri
Mikroskobun çalıştırılmasına sadece koruyucu kapak panelleri takılmış durumdayken izin verilir.
2.5.2 Ana Şalter
Ana şalter, elektrik şebekesinin her iki faz bağlantısını da mikroskoptan ayırır.
Ana şalterin en az 1.500 A rms’lik bir akım kesme kapasitesi (AIC) ile çalışma garantisi vardır.
Ana şalter kaidenin arka tarafında bulunur.
ZEISS 2 Güvenlik | 2.5 Güvenlik Donanımları ve Kilitleri
2.5.3 Devre Kesici
Cihazda bir aşırı akım olduğunda, kaidenin arka tarafındaki devre kesici (F10), kaidenin içindeki elektronik aksamın (birinci ön vakum pompası ve PC de dâhil) şebeke ile bağlantısını keser. Diğer devre kesici (F11) ise ısıtıcıların ve ikinci ön vakum pompasının şebeke ile bağlantısını keser.
Ancak diğer bazı bileşenler, elektrik şebekesine bağlı hâlde kalır.
Şk. 3: Devre kesici
Devre kesici, kaideyi şebeke gücünden tamamen ayırmaz. Bu sadece Ana Bağlantı Kesme Cihazı kullanılarak yapılabilir.
2.5.4 Acil Durdurma (EMO) Seçeneği Harici
SEMI standardına uyum sağlayabilmek için, elektrik tesisatında Ana Şalterli Acil Durdurma Devresi olması şarttır.
Acil Durdurma Devresi, ana güç kaynağına yakın bir duvara monte edilir ve ana güç kaynağını mikroskoba ve mikroskobun tüm aksesuarlarına bağlar.
Şk. 4: Acil Durdurma (EMO) Devresi
İsteğe bağlı Acil Durdurma Devresi ile birlikte, mikroskop aşağıdaki ilave güvenlik ekipmanları ile de donatılır.
2.5.5 Acil Durdurma (EMO) Seçeneği Dâhilî
Acil durdurma (EMO) seçeneğiyle mikroskop aşağıdaki ilave güvenlik ekipmanları ile donatılır.
SEMI uyumluluğunu sağlayabilmek için, mikroskop Harici Acil Durdurma (EMO) seçeneği ile donatılmış olmalıdır.
EMO Butonu EMO butonu kaidenin üzerine, numune haznesinin yanına yerleştirilir.
EMO butonuna acil bir durumda, mikroskobun ve AC ünitesine bağlı tüm cihazların ana şebeke bağlantısını kesmek için basılmalıdır.
EMO butonu her zaman kolayca erişilebilir ve çalışır durumda olmalıdır.
İki adede kadar EMO butonu bağlanabilir.
Şk. 5: EMO butonu
S2 Butonu Yeşil S2 (Başlat) butonu, duvara monte edilen EMO kutusu üzerindeki MAIN şalterin altına takılmıştır.
MAIN şalter ayarının S2 (Başlat) butonundan onaylanması gerekir. Ana şalter, ana güç kaynağından EMO kutusuna bağlı olan tüm cihazların gücünü keser.
Şu durumlarda S2 (Başlat) butonuna basılmalıdır:
§ MAIN şalterin ON konumu ayarlandıktan sonra veya
§ EMO butonu çekilerek yukarı kaldırıldıktan sonra.
Şk. 6: MAIN şalterin altındaki S2 (Başlat) butonu
ZEISS 2 Güvenlik | 2.5 Güvenlik Donanımları ve Kilitleri
2.5.6 Kilitleme Tertibatları
Mikroskop çeşitli kilitleme tertibatları ile donatılmıştır.
2.5.6.1 Hazne Kapağını Kilitleme Tertibatı
Hazne kapağını kilitleme tertibatı, numune haznesi kapağının düzgün şekilde kapatılmasını sağlar.
Bu tertibat, numune haznesinin iç alt kısmının ön tarafında bulunur.
Bu kilitleme tertibatı etkinleştirildiğinde (yani elektrik bağlantısını kestiğinde) SmartSEM kullanıcı arayüzünde EHT Vac ready = no bilgisi görüntülenir. EHT ve SE dedektörlerinin gerilimi kesilir.
2.5.6.2 Vakum Kilitleme Tertibatı
Vakum kilitleme tertibatı, tabanca vakumunun ve sistem vakumunun gerekli limit değerin üstünde olmasını sağlar.
2.5.6.3 İsteğe Bağlı Hava Kilidinin Ara Kilit Sistemi
Ara kilit işlevi sayesinde, geçit valfi ancak hazne kapağı ve hava kilidi kapağı düzgün şekilde kapatıldıktan sonra çalıştırılabilir.
Şk. 7: Hava Kilidi Hata LED'i
İlave güvenlik işlevleri, numune aktarımının sadece şu koşullar oluştuğu zaman yapılabilmesini sağlar:
§ Hava kilidi çubuğu geri çekilmiş olmalıdır.
§ Numune tablası aktarma konumunda olmalıdır.
§ EHT (Ekstra yüksek gerilim) kapalı olmalıdır.
§ Kolon hazne valfi kapalı olmalıdır.
Bu işlev, hava kilidi çubuğunun veya geçit valfinin zarar görme riskini önlenmeyi amaçlar.
2.5.7 Kilitleme/Etiketleme Ekipmanı
Kilitleme/Etiketleme (LOTO) ekipmanı, beklenmeyen ve tehlikeli enerji salımlarına karşı iş istasyonunun muhtemel tehlikelerden korunmasını sağlar.
Kilitleme/Etiketlemenin Uygulanması [} 114] işleminin şu durumlarda yapılması gerekebilir:
§ bakım görevleri
§ servis işlemleri veya
§ planlanmamış onarımlar esnasında.
Kurulum yerindeki elektrik şebekesi bağlantıları ve akışkan bağlantıları, uygun enerji kesme donanımları/tesisatları ile donatılmış olmalıdır.
Bu enerji kesme donanımlarına (ana şebeke kesme donanımlarına)
§ kolayca erişilebilmelidir
§ bunlar mikroskobun yakınına ve ilgili enerji kesme donanımını işleten veya denetleyen kişi ciddi risklere maruz kalmayacak şekilde takılmalıdır
§ gerekli durumlarda ilgili tesisatların bağlantılarını kesmelidir
§ yanlışlıkla yeniden açılmalarını önlemek için kapalı konumda kilitlenebilmelidir Müşteri şunlardan sorumludur:
§ LOTO Şartnamesinin çalışma bilgisine sahip olmak
§ uygun LOTO ekipmanlarını satın almak, dağıtmak ve yerlerine taktırmak
§ tüm yetkili personelin LOTO prosedürlerine uyumunu sağlamak ve bunu denetlemek
§ enerji kesme donanım ve tesisatlarının doğru işletimi ile ilgili talimatları temin etmek Enerji Kesme
Donanımları
Aşağıda sıralanan enerji kesme donanımları kullanılmalıdır:
§ Branşman devreli, yekpare devre kesici kutusu
§ Ana kapatma valfleri – Azot gazı tesisatı – Basınçlı hava tesisatı – Soğutma suyu tesisatı
ZEISS 3 Ürünün ve İşlevlerin Tanıtımı | 3.1 Sisteme Genel Bakış
3 Ürünün ve İşlevlerin Tanıtımı
Bilgi
Konuya ilişkin ek bilgileri ve ayrıntılı açıklamaları ilgili diğer dokümanlarda bulabilir veya ZEISS Satış ve Servis Ortağınızdan temin edebilirsiniz.
Bilgi
Bu bölümde sadece ürün ve ürünün işlevleri genel olarak açıklanmıştır. Bu Kullanım Kılavuzu tamamen okunup anlaşılmadan mikroskop çalıştırılmamalıdır. Ayrıca varsa ilgili aksesuar dokümanlarına da bakınız. Özellikle "Kurulum" ve "İşletime Alma ve İlk Çalıştırma İşlemleri"
bölümleri önemlidir.
3.1 Sisteme Genel Bakış Ana Bileşenler
4
7 5 6 1
2
3
Şk. 8: İş istasyonunun ana bileşenleri 1 Gemini elektron optik kolonu
Bakınız: Elektron Optik Kolonu | Gemini 1 [} 35], Elektron Optik Kolonu | Gemini 2 [} 37] veya Elektron Optik Kolonu | Gemini 3 [} 39]
2 Numune haznesi ve kulplu kapağı
3 Kaide, ON/STANDBY/OFF butonlu 4 Monitörler
5 Çalışma masası 6 Çift kumanda kolu
Bkz. Çift Kumanda Kolu [} 47]
7 Kişisel Bilgisayar (PC)
İsteğe Bağlı Bileşenler ve Aksesuarlar
1
2
4 3
6
7 8
9 10
11 5
Şk. 9: İsteğe bağlı bileşenler ve aksesuarlar 1 WDS, yüksek hassasiyette kimyasal
analizler için kullanılır
2 Lokal enerji yükü dengeleyici, iletken olmayan numunelerin SEM görüntüleme ve analizi için kullanılır
Enerji yükü dengeleyicinin kullanım kılavuzuna bakınız
3 EDS, kimyasal analiz spektroskopisi için kullanılır
4 Dairesel STEM dedektörü (aSTEM), görüntü aktarımı ve kalite kontrol için kullanır
Bkz. aSTEM dedektörü [} 59]
5 C2D Dedektörü
Bkz. C2D Dedektörü [} 47]
6 Tek iğneli GIS, numunelere geniş açılı erişim için kullanılır
Tek iğneli GIS kullanım kılavuzuna bakınız
7 Manipülatörler, numune tadilatı ve sondalama işlemleri için kullanılır
8 BSD dedektörü, yüksek performansla ve seçilen açıyla malzeme özelliği belirleme için kullanılır. 4 adede kadar paralel konumlu kanal algılanabilir
Bkz. aBSD Dedektörü [} 50] ve aBSD Dedektörü [} 53]
9 Hava kilidi (genişlik: 80 mm veya 200 mm), hızlı ve etkili numune aktarımı sağlar ve vakumlama sürelerini kısaltır 80 mm’lik veya 200 mm’lik hava kilidi kullanım kılavuzuna bakınız
10 EBSD, kristalografik haritalama için kullanılır
11 Kontrol paneli
Bkz. Kontrol paneli [} 61]
Diğer seçenekler:
§ Nano modelleme ve görselleştirme motoru (ATLAS), gelişmiş modelleme ve litografi görevleri için
Gerekli bilgiler üreticiden temin edilecektir.
§ Plazma Temizleyici
Plazma temizleyicinin kullanım kılavuzuna bakınız
§ Elektrostatik Işın Yönlendirici, SEM için Işın yönlendiricinin kullanım kılavuzuna bakınız
ZEISS 3 Ürünün ve İşlevlerin Tanıtımı | 3.2 Ana Bileşenler
3.2 Ana Bileşenler
3.2.1 Vakum Sistemi
Amaç Mikroskobun çalıştırılabilmesi için tabanca kafasının, kolonun ve numune haznesinin içi
vakumlanmalıdır. Tabancayı çalıştırmak ve elektronların gaz molekülleri ile çarpışmasını önlemek için vakum oldukça önemlidir.
2 3 4 1
5
7 6
8
10 9
Şk. 10: Gemini 1 ve Gemini 3 kolonlu bir mikroskobun vakum sistemi şeması 1
2 3 4
5
8 9
10 6
7
Şk. 11: Gemini 2 kolonlu bir mikroskobun vakum sistemi şeması
1 Filamanlı tabanca 2 Tabanca kafası
3 Diyafram 4 Kolon hazne valfi
5 Turbo pompa 6 İyon alıcı pompa (IGP)
7 Numune haznesi 8 Penning vakum ölçer
9 Ventilasyon valfi 10 Ön vakum pompası
Sistem Vakumu Ön vakum pompası 10 ve turbo pompa 5 numune haznesinin içini vakumlar 7 . Numune haznesindeki vakum Penning vakum ölçer 8 ile ölçülür. Algılanan vakum değerleri, SmartSEM kullanıcı arayüzünde System vacuum olarak gösterilir. Numune haznesinde algılanan basınç çalıştırma için yeterli düzeyde olmadığı sürece, numune haznesinin kolondan ayrılması için 4 kolon hazne valfi kapalı kalır.
Tabanca Vakumu İyon alıcı pompalar sayesinde 6 tabanca kafasında çok yüksek bir vakum elde edilir. Tabanca kafasındaki vakum, SmartSEM kullanıcı arayüzünde Gun vacuum olarak gösterilir. Bu vakum 1 × 10⁻⁸ mbar’ın altında olmalıdır.
Ventilasyon Numune, içi vakumlanmış numune haznesine yerleştirilir. Numune değişimi amacıyla numune haznesini açabilmek için önce vakumu kontrollü olarak düşürmeniz gerekir. Bu işlem, SmartSEM kullanıcı arayüzü üzerinden Vent komutu ile ya da isteğe bağlı kontrol panelindeki Exchange basmalı butonuna basarak gerçekleştirilir.
Vent komutu alındığında, kolon hazne valfi kapanır ve azot gazı ventilasyon valfinden 9 numune haznesine dolar. Basınç dengesi sağlandığında hazne kapağı artık numuneyi değiştirmek için açılabilir.
Ventilasyon işlemi sadece yüksek gerilim kapalıyken yapılabilir.
Vakumlama Çalışmaya devam etmek için, Pump komutu ile ön vakum pompasının ve turbo pompanın numune haznesini vakumlaması sağlanır.
Numune haznesindeki vakum çalıştırma için hazır/yeterli olduğunda hemen kolon hazne valfi açılır ve SmartSEM kullanıcı arayüzünde EHT Vac ready bilgisi görüntülenir. Tabanca ve EHT
çalıştırılabilir.
Sessiz Mod Otomatik kontrollü olan Quiet Mode isteğe bağlı olarak temin edilebilir. Bu seçenek sayesinde, numune değişiminden sonra yeterli vakum değerine ulaşıldığında ön vakum pompası kapatılabilir.
3.2.2 Vakum Sistemi Basınç Modları
Amaç Mikroskobun çalıştırılabilmesi için tabanca kafasının, kolonun ve numune haznesinin içi
vakumlanmalıdır. Tabancayı çalıştırmak ve elektronların gaz molekülleri ile çarpışmasını önlemek için vakum oldukça önemlidir.
Değişken basınç modu seçeneği sayesinde mikroskop farklı vakum modlarında çalıştırılabilir:
§ Yüksek vakum (HV) modu
§ Değişken basınç modları: VP modu, Nano VP modu ve XVP modu
3.2.2.1 Yüksek Vakum Modu
Amaç HV modu bir mikroskobun standart modudur. Bu mod iletken numuneleri analiz etme ve haritalama olanağı sunar.
HV modunda numune haznesindeki basınç 2 × 10⁻⁶ mbar’ın altındadır.
ZEISS 3 Ürünün ve İşlevlerin Tanıtımı | 3.2 Ana Bileşenler
1 2
4
5
6
7
9
11 12 13 14
16 10 3
8
17 15
18 Şk. 12: HV modundaki bir vakum sisteminin şeması
1 Filamanlı tabanca 2 Tabanca kafası
3 Çok delikli diyafram (Gemini I
kolonunda), tek delikli diyafram (Gemini II kolonunda)
4 Kolon hazne valfi
5 Baypas 6 Numune haznesi
7 Ventilasyon valfi, TIV'e flanşlıdır 8 Turbo kapama valfi (TIV)
9 Turbo pompa 10 İyon alıcı pompa (IGP)
11 Gaz akış valfi (GFV) 12 Pirani vakum ölçer
13 Penning vakum ölçer 14 Ventilasyon valfi
15 Kaba destek valfi (RBV) 16 Ön vakum pompası
17 Ön vakum ayırma valfi (PVS) 18 Tampon tankı, isteğe bağlı Sessiz Mod için
İşlevi HV modunda ön vakum pompası 16 ve turbo pompa 9 numune haznesini 6 vakumlar.
Ön vakum ayırma valfi (PVS) 17 ön vakum pompası ile turbo pompa arasındaki bağlantıyı açmıştır. Turbo kapama valfi (TIV) 8 açıktır.
Numune haznesindeki vakum Penning vakum ölçer 13 ile ölçülür. Algılanan vakum değerleri, SmartSEM kullanıcı arayüzünde System vacuum olarak gösterilir. Numune haznesinde algılanan basınç çalıştırma için yeterli düzeyde olmadığı sürece, numune haznesinin kolondan ayrılması için
4 kolon hazne valfi kapalı kalır.
HV moduna geçildiğinde hızlandırma gerilimi sıfıra düşer ve kolon hazne valfi kapanır. GFV kapanır ve hazne basıncı minimum hazne basıncının (MCP = 15 Pa’nın) altına düşünce hemen RBV kapanır ve TIV açılır. Işın kovanı hazne içinde takılı ise tabla yaklaşık 20 mm alçaltılır ve ışın kovanı geri çekilir. Takılı değilse ışın kovanı dışarıda kalır. Daha sonra kolon hazne valfi açılır ve hızlandırma gerilimi tekrar verilir.
3.2.2.2 Değişken Basınç Modları
Amaç VP modları (isteğe bağlı), iletken olmayan, yüksek oranda gazlı veya ıslak numuneleri hazırlamaya ihtiyaç duymadan analiz etme ve haritalama olanağı sunar.
Standart VP modunda (isteğe bağlı), numune haznesindeki kısmi basınç 5 ile 60 Pa arasındadır.
Nano VP modu (isteğe bağlı), objektif lensinin altına bir ışın kovanı diyaframı takılarak geliştirilmiş bir VP modu olup, değişken basınç modunda özellikle lens içi SE ve EsB dedektörleriyle
görüntüleme olanağı sunar.
İki farkı ölçüde (350 µm ve 800 µm) ışın kovanı diyaframı vardır.
Nano VP modunda numune haznesindeki kısmi basınç (350 µm’luk ışın kovanı diyaframında) 5 ile 150 Pa arasında veya (800 µm’luk ışın kovanı diyaframında) 5 ile 40 Pa arasındadır.
XVP modu (isteğe bağlı), objektif lensinin altına ışın kovanı diyaframı takılarak geliştirilmiş bir VP modu olup, VPSE veya C2D dedektörleri ve 500 Pa’ya varan en yüksek hazne basınçları ile görüntüleme olanağı sunar.
Nano VP modunda numune haznesindeki kısmi basınç (350 µm’luk ışın kovanı diyaframında) 5 ile 500 Pa arasında veya (800 µm’luk ışın kovanı diyaframında) 5 ile 150 Pa arasındadır.
1 2
4
5
6
7
9
11 12 13 14
16 10 3
8
17 15
18 Şk. 13: Değişken basınç modundaki bir vakum sisteminin şeması
1 Filamanlı tabanca 2 Tabanca kafası
3 Diyafram 4 Kolon hazne valfi
5 Baypas 6 Numune haznesi
7 Ventilasyon valfi, TIV'e flanşlıdır 8 Turbo kapama valfi (TIV)
9 Turbo pompa 10 İyon alıcı pompa (IGP)
11 Gaz akış valfi (GFV) 12 Pirani vakum ölçer
13 Penning vakum ölçer 14 Ventilasyon valfi
ZEISS 3 Ürünün ve İşlevlerin Tanıtımı | 3.2 Ana Bileşenler
15 Kaba destek valfi (RBV) 16 Ön vakum pompası
17 Ön vakum ayırma valfi (PVS) 18 Tampon tankı, isteğe bağlı Sessiz Mod için
İşlevi Değişken basınç modlarının her birinde (Standart VP, NanoVP ve XVP), ön vakum pompası 16 numune haznesini doğrudan vakumlar 6 . Kaba destek valfi (RBV), 15 ön vakum pompası ile numune haznesi arasındaki bağlantıyı açar. TIV 8 kapanır, böylece turbo pompanın 9 numune haznesiyle bağlantısı kesilmiş olur. Turbo pompa bir baypas hattı ile kolonun alt kısmını vakumlar 5 . Gaz akış valfi (GFV) 11 numune haznesine VP gazı gönderir. Gerekli değişken basınç (VP) değeri SmartSEM kullanıcı arayüzünün VP Control penceresinden ayarlanabilir. Seçilen değişken basınç moduna göre basınç değeri 5 ile 500 Pa arasında ayarlanabilir.
Numune haznesindeki vakum Pirani vakum ölçer 14 ile ölçülür. Algılanan vakum değerleri SmartSEM kullanıcı arayüzünde Chamber = x Pa olarak gösterilir. Numune haznesinde algılanan basınç çalıştırma için yeterli düzeyde olmadığı sürece, numune haznesinin kolondan ayrılması için
4 kolon hazne valfi kapalı kalır.
Değişken basınç modlarından herhangi birinde çalışmak için bkz. Değişken Basınçla Çalışma [} 104].
Standart VP Modu Standart VP moduna geçildiğinde, hızlandırma gerilimi (AÇIK ise) sıfıra düşer, kolon hazne valfi kapanır, TIV kapanır, RBV ve GFV açılır. Hazne basıncı kullanıcının ayarladığı değere ulaştığında, hemen hızlandırma gerilimi tekrar verilir ve kolon hazne valfi açılır.
Bu modda ışın güçlendirici gerilimi kapatılır.
Elektronlar özel bir VPSE veya C2D dedektörü ya da bir geri saçılım dedektörü ile algılanır. (AsB/
aBSD/aBSD-LH).
Nano VP Modu Nano VP moduna geçerken hızlandırma gerilimi (AÇIK ise) sıfıra düştükten ve kolon hazne valfi kapandıktan sonra, ışın kovanı diyaframına yer açmak için tabla yaklaşık 20 mm alçaltılır. Işın kovanı otomatik olarak yerine takılır. TIV kapanıp RBV ve GFV açıldıktan sonra sistem, ışın kovanı diyaframının objektif lensine sızdırmaz şekilde oturup oturmadığını belirlemek için bir kaçak testi yapar. Kaçak testi başarılı olmazsa sistem tekrar Yüksek Vakum moduna döner ve ekranda bununla ilgili bir mesaj görüntülenir. Kaçak testi başarılı olursa hazne basıncı kullanıcı değerine ayarlanır, kolon hazne valfi açılır ve hızlandırma gerilimi verilir. Maksimum hazne basıncı, ışın kovanı diyaframının çap ölçüsüne bağlıdır.
Bu modda ışın güçlendirici gerilimi açılır.
Elektronlar özel bir VPSE veya C2D dedektörü ile ya da ışın kovanına takılan bir VP-BSD1 dedektörü ile algılanır. Işın güçlendirici gerilimi açık olduğundan lens içi SE ve EsB dedektörleri kullanılabilir.
Nano VP modunun kullanımıyla ilgili daha ayrıntılı bilgi için bkz. Nano VP/XVP Modunun Kullanılması [} 106].
XVP Modu Nano VP moduna geçerken hızlandırma gerilimi (AÇIK ise) sıfıra düştükten ve kolon hazne valfi kapandıktan sonra, ışın kovanı diyaframına yer açmak için tabla yaklaşık 20 mm alçaltılır. Işın kovanı otomatik olarak yerine takılır. TIV kapanıp RBV ve GFV açıldıktan sonra sistem, ışın kovanı diyaframının objektif lensine sızdırmaz şekilde oturup oturmadığını belirlemek için bir kaçak testi yapar. Kaçak testi başarılı olmazsa sistem tekrar Yüksek Vakum moduna döner ve ekranda bununla ilgili bir mesaj görüntülenir. Kaçak testi başarılı olursa hazne basıncı kullanıcı değerine ayarlanır, kolon hazne valfi açılır ve hızlandırma gerilimi verilir. Maksimum hazne basıncı, ışın kovanı diyaframının çap ölçüsüne bağlıdır.
Bu modda ışın güçlendirici gerilimi kapatılır.
Elektronlar özel bir VPSE veya C2D dedektörü ile ya da ışın kovanına takılan bir VP-BSD1 dedektörü ile algılanır. Işın güçlendirici gerilimi kapatıldığından, ışın kovanı ön gerilimi devre dışı bırakılır ve değeri sıfırdır.
XVP modunun kullanımıyla ilgili daha ayrıntılı bilgi için bkz. Nano VP/XVP Modunun Kullanılması [} 106].
Bilgi
Numune haznesi herhangi bir VP modundayken (Standart VP, NanoVP veya XVP) içindeki numune hava kilidinde saklanabilir.
4 Ancak saklama modunda hava kilidi pompasının ara sıra çalıştırılması gerekir. Bu işlem, numune haznesi basıncında birkaç saniyelik bir kararsızlığa neden olur ve VPSE veya C2D detektörleriyle elde edilen görüntülerin parlaklığını etkiler.
3.2.2.3 Işın gaz yolu uzunluğu (BGPL)
Işın kovanı diyaframı takıldığında ve Nano VP veya XVP modunda çalışırken, Status Bar öğesinde Işın Gaz Yolu Uzunluğu (BGPL) parametresi gösterilir.
BGPL, ışın kovanı diyaframının ucundan numuneye kadar olan mesafedir. Diğer bir deyişle BGPL, ana ışın demetinin sistemin "düşük" vakumlu bölgesinde katetmesi gereken bir mesafedir. Bu mesafenin düşük tutulması, VP gaz moleküllerindeki birincil elektronların saçılımının da düşük tutulması demektir ki bu da iyi bir çözünürlük ve sinyal-gürültü oranı sağlar.
Ancak BGPL 1 mm'den az olmamalıdır. Aksi takdirde enerji yükü/şarj dengelemesi tamamlanamaz.
BGPL 1 ile 2 mm arasında olduğunda en iyi sonuçları elde edersiniz.
Bilgi
Nano VP veya XVP modunda çalışırken ışın kovanının zarar görmemesi için, BGPL de WD gibi dikkatle izlenmesi gereken, hassas bir parametredir. BGPL, çalışma mesafesi WD’den ışın kovanının uzunluk ölçüsü olan 6,17 mm çıkarılarak hesaplanır.
DUYURU
Kısa ışın gaz yolu uzunluğu (BGPL)
Işın kovanının ve/veya numunenin zarar görme riski vardır.
4 1 mm’nin altında bir BGPL ölçüsü kullanmayın.
ZEISS 3 Ürünün ve İşlevlerin Tanıtımı | 3.2 Ana Bileşenler
3.2.3 Elektron Optik Kolonu | Gemini 1
Amaç Gemini 1 kolonu, içinde elektronların yayıldığı, hızlandırıldığı, yönlendirildiği, odaklandığı ve tarandığı bir mikroskop parçasıdır. Gemini optik donanımlarını öne çıkaran özelliği, sahip oldukları ışın güçlendirici ve elektrostatik/elektromanyetik lens ikilisinden oluşan yekpare objektif lensi olmasıdır.
USup U
Ext
UEHT
UB
1 2
4
9 7 3
5
8 6
Şk. 14: Elektron optiği şeması 1 Tabanca
Elektron ışını üretir.
2 Ekstraktör
Filamandan elektronları çeken bir pozitif elektrottur.
3 Anot diyaframı 4 Kondansör
Elektron ışınlarını numune üzerine toplar ve odaklar.
5 Çok delikli diyafram 6 Üst dedektör: EsB dedektörü veya lens içi tekli SE dedektörüdür
Alt dedektör: Lens içi SE dedektörü 7 Objektif lensi
Elektron ışınını numune yüzeyinin üzerine odaklar.
8 Tarama bobinleri
Numune yüzeyi boyunca ışını
yönlendirirler ve bu genellikle "çizgi/satır taraması" olarak adlandırılır.
9 Numune
USup Baskılama gerilimi UExt Ekstraktör gerilimi UEHT Hızlandırma gerilimi UB Dış muhafaza gerilimi
Tabanca Schottky alan emitörü bir tabanca işlevi görür 1 . Filaman uygun bir filaman akımı uygulanarak ısıtılır. Ekstraktör gerilimi (UExt) denilen bir elektriksel alan uygulanırken ısınan filamandan da elektronlar yayılır. Schottky alan emitörü şaftının istenmeyen termiyonik emisyonunu baskılamak için de bir baskılama gerilimi (USup) uygulanır.
