Güvenlik etiketinin konumu ve şekli Açıklama
Liquid nitrogen
CAUTION
347800-0033-000-09en
Contact with liquid or cold vapors can cause freeze burns or severe frostbite.
Wear face, eye and skin protection.
İlgili seçecekler için:
Sıvı azot
Sıvı ile veya soğuk buharı ile temas, donma yanıklarına veya şiddetli soğuk vurmasına neden olabilir.
Yüz, göz ve cilt koruma ekipmanı kullanın.
Sipariş No. 347800-0033-000-09en
Mikroskop kapak panellerinin altında yetkili ZEISS servis temsilcilerini ilgilendiren başka güvenlik etiketleri de vardır. Bu güvenlik etiketleri, ZEISS servis temsilcilerine ait ilgili dokümanlarda açıklanmıştır.
Tanıtım plakasının konumu ve şekli Açıklama Mikroskobun arka tarafında Tanıtım plakası
Sipariş no. 349599-9100-010 (GeminiSEM 360) Sipariş no. 349599-9100-020 (GeminiSEM 460) Sipariş no. 349599-9100-030 (GeminiSEM 560)
2.5 Güvenlik Donanımları ve Kilitleri
Yaralanmaların ve/veya maddi hasarların önlenmesi için Mikroskop Sistemi tipi cihaz çeşitli güvenlik donanımları ve kilit tertibatları ile donatılmıştır. Arızalar ve diğer hasarlı güvenlik
donanımları/kilit tertibatları, yaralanmalara ve maddi hasarlara neden olabilir. Bir arıza veya hasar olduğunda, Mikroskop Sistemi tipi cihazın arızalı/hasarlı parçaları derhal kullanım dışı bırakılmalı ve yanlışlıkla kullanıma karşı emniyeti sağlanmalıdır.
Mikroskop Sistemi tipi cihazın güvenliğini doğrulaması için lütfen ZEISS servis temsilcisi ile iletişim kurun. Lütfen cihazınızın servis kayıtlarını ve bakım sicillerini saklayın.
2.5.1 Koruyucu Kapak Panelleri
Mikroskobun içinde yüksek/tehlikeli gerilimler ve X ışınları olduğundan, mikroskop özel koruyucu kapak panelleri ile donatılmıştır.
1
2
3
Şk. 1: Koruyucu kapak panelleri
1 Elektron optik kolonunun koruyucu kapak panelleri
2 Numune haznesinin koruyucu kapak panelleri
3 Kaidenin koruyucu kapak panelleri
Mikroskobun çalıştırılmasına sadece koruyucu kapak panelleri takılmış durumdayken izin verilir.
2.5.2 Ana Şalter
Ana şalter, elektrik şebekesinin her iki faz bağlantısını da mikroskoptan ayırır.
Ana şalterin en az 1.500 A rms’lik bir akım kesme kapasitesi (AIC) ile çalışma garantisi vardır.
Ana şalter kaidenin arka tarafında bulunur.
ZEISS 2 Güvenlik | 2.5 Güvenlik Donanımları ve Kilitleri
2.5.3 Devre Kesici
Cihazda bir aşırı akım olduğunda, kaidenin arka tarafındaki devre kesici (F10), kaidenin içindeki elektronik aksamın (birinci ön vakum pompası ve PC de dâhil) şebeke ile bağlantısını keser. Diğer devre kesici (F11) ise ısıtıcıların ve ikinci ön vakum pompasının şebeke ile bağlantısını keser.
Ancak diğer bazı bileşenler, elektrik şebekesine bağlı hâlde kalır.
Şk. 3: Devre kesici
Devre kesici, kaideyi şebeke gücünden tamamen ayırmaz. Bu sadece Ana Bağlantı Kesme Cihazı kullanılarak yapılabilir.
2.5.4 Acil Durdurma (EMO) Seçeneği Harici
SEMI standardına uyum sağlayabilmek için, elektrik tesisatında Ana Şalterli Acil Durdurma Devresi olması şarttır.
Acil Durdurma Devresi, ana güç kaynağına yakın bir duvara monte edilir ve ana güç kaynağını mikroskoba ve mikroskobun tüm aksesuarlarına bağlar.
Şk. 4: Acil Durdurma (EMO) Devresi
İsteğe bağlı Acil Durdurma Devresi ile birlikte, mikroskop aşağıdaki ilave güvenlik ekipmanları ile de donatılır.
2.5.5 Acil Durdurma (EMO) Seçeneği Dâhilî
Acil durdurma (EMO) seçeneğiyle mikroskop aşağıdaki ilave güvenlik ekipmanları ile donatılır.
SEMI uyumluluğunu sağlayabilmek için, mikroskop Harici Acil Durdurma (EMO) seçeneği ile donatılmış olmalıdır.
EMO Butonu EMO butonu kaidenin üzerine, numune haznesinin yanına yerleştirilir.
EMO butonuna acil bir durumda, mikroskobun ve AC ünitesine bağlı tüm cihazların ana şebeke bağlantısını kesmek için basılmalıdır.
EMO butonu her zaman kolayca erişilebilir ve çalışır durumda olmalıdır.
İki adede kadar EMO butonu bağlanabilir.
Şk. 5: EMO butonu
S2 Butonu Yeşil S2 (Başlat) butonu, duvara monte edilen EMO kutusu üzerindeki MAIN şalterin altına takılmıştır.
MAIN şalter ayarının S2 (Başlat) butonundan onaylanması gerekir. Ana şalter, ana güç kaynağından EMO kutusuna bağlı olan tüm cihazların gücünü keser.
Şu durumlarda S2 (Başlat) butonuna basılmalıdır:
§ MAIN şalterin ON konumu ayarlandıktan sonra veya
§ EMO butonu çekilerek yukarı kaldırıldıktan sonra.
Şk. 6: MAIN şalterin altındaki S2 (Başlat) butonu
ZEISS 2 Güvenlik | 2.5 Güvenlik Donanımları ve Kilitleri
2.5.6 Kilitleme Tertibatları
Mikroskop çeşitli kilitleme tertibatları ile donatılmıştır.
2.5.6.1 Hazne Kapağını Kilitleme Tertibatı
Hazne kapağını kilitleme tertibatı, numune haznesi kapağının düzgün şekilde kapatılmasını sağlar.
Bu tertibat, numune haznesinin iç alt kısmının ön tarafında bulunur.
Bu kilitleme tertibatı etkinleştirildiğinde (yani elektrik bağlantısını kestiğinde) SmartSEM kullanıcı arayüzünde EHT Vac ready = no bilgisi görüntülenir. EHT ve SE dedektörlerinin gerilimi kesilir.
2.5.6.2 Vakum Kilitleme Tertibatı
Vakum kilitleme tertibatı, tabanca vakumunun ve sistem vakumunun gerekli limit değerin üstünde olmasını sağlar.
2.5.6.3 İsteğe Bağlı Hava Kilidinin Ara Kilit Sistemi
Ara kilit işlevi sayesinde, geçit valfi ancak hazne kapağı ve hava kilidi kapağı düzgün şekilde kapatıldıktan sonra çalıştırılabilir.
Şk. 7: Hava Kilidi Hata LED'i
İlave güvenlik işlevleri, numune aktarımının sadece şu koşullar oluştuğu zaman yapılabilmesini sağlar:
§ Hava kilidi çubuğu geri çekilmiş olmalıdır.
§ Numune tablası aktarma konumunda olmalıdır.
§ EHT (Ekstra yüksek gerilim) kapalı olmalıdır.
§ Kolon hazne valfi kapalı olmalıdır.
Bu işlev, hava kilidi çubuğunun veya geçit valfinin zarar görme riskini önlenmeyi amaçlar.
2.5.7 Kilitleme/Etiketleme Ekipmanı
Kilitleme/Etiketleme (LOTO) ekipmanı, beklenmeyen ve tehlikeli enerji salımlarına karşı iş istasyonunun muhtemel tehlikelerden korunmasını sağlar.
Kilitleme/Etiketlemenin Uygulanması [} 114] işleminin şu durumlarda yapılması gerekebilir:
§ bakım görevleri
§ servis işlemleri veya
§ planlanmamış onarımlar esnasında.
Kurulum yerindeki elektrik şebekesi bağlantıları ve akışkan bağlantıları, uygun enerji kesme donanımları/tesisatları ile donatılmış olmalıdır.
Bu enerji kesme donanımlarına (ana şebeke kesme donanımlarına)
§ kolayca erişilebilmelidir
§ bunlar mikroskobun yakınına ve ilgili enerji kesme donanımını işleten veya denetleyen kişi ciddi risklere maruz kalmayacak şekilde takılmalıdır
§ gerekli durumlarda ilgili tesisatların bağlantılarını kesmelidir
§ yanlışlıkla yeniden açılmalarını önlemek için kapalı konumda kilitlenebilmelidir Müşteri şunlardan sorumludur:
§ LOTO Şartnamesinin çalışma bilgisine sahip olmak
§ uygun LOTO ekipmanlarını satın almak, dağıtmak ve yerlerine taktırmak
§ tüm yetkili personelin LOTO prosedürlerine uyumunu sağlamak ve bunu denetlemek
§ enerji kesme donanım ve tesisatlarının doğru işletimi ile ilgili talimatları temin etmek Enerji Kesme
Donanımları
Aşağıda sıralanan enerji kesme donanımları kullanılmalıdır:
§ Branşman devreli, yekpare devre kesici kutusu
§ Ana kapatma valfleri – Azot gazı tesisatı – Basınçlı hava tesisatı – Soğutma suyu tesisatı