Prosedür 1. Hazne kapağını dikkatlice açın.
2. Hazne kapağının iç tarafından hazne kapağı O ring contasını çıkarın.
DUYURU O ring contayı çıkarmak için metal bir alet kullanırsanız sızdırmazlık yüzeyine zarar verebilirsiniz. Gerekirse O ring contayı çıkarırken sadece plastik veya ahşap bir alet kullanın.
3. O ringin oturduğu yivi kontrol edin ve yivdeki kirleri temizleyin.
4. Yeni hazne kapağı O ring contasını takın.
5. Numune haznesinin kapağını kapatın.
7.2.5 Dokunmatik alarmın sıfırlanması
Hasarları önlemek için mikroskoba dokunmatik bir alarm takılmıştır. Numune veya numune tutucu, haznenin yan yüzeylerine, dedektörlere veya objektif lensine temas edecek olursa tablanın hareketi derhal durdurulur. O anda bir uyarı sesi duyulur ve ekranda bir mesaj görülür.
Ön koşul ü EM sunucusu, WARNING Stage Touching mesajını gösterir.
Prosedür 1. Uyarıyı kabul etmek için OK öğesine tıklayın.
2. Tablayı temas noktasından ters yöne doğru hareket ettirin.
7.2.6 Su akışı ve sıcaklık kontrolü
Prosedür 1. Panel Configuration Bar öğesinden Water Flow/Temperature öğesine çift tıklayın.
à Water Flow/Temperature paneli gösterilir.
2. Girilen değerleri kontrol edin.
à Kritik olan değer kırmızı renkte gösterilir.
7.3 Kolon
7.3.1 Tabanca Kafası Gazının Giderilmesi
İyon alıcı pompanın vakumlama kapasitesi zamanla azalır, bu nedenle tabanca vakumu düşer. Bu soruna, düzenli bakım prosedürü olan iyon alıcı pompanın gazı giderilerek çözüm getirilebilir.
Bu kapsamdaki işlem adımları şunlardır:
§ Tabancanın kapatılması [} 124]
§ Gaz Giderme İşleminin Başlatılması [} 124]
§ Tabancanın Açılması [} 81]
7.3.1.1 Tabancanın kapatılması DUYURU
Schottky alan emitörü
Schottky alan emitörü çok sık veya uygunsuz şekilde açılır ve kapatılırsa kullanım ömrü kısalır.
4 Tabancayı çalışma haftası içinde kapatmaktan kaçının.
4 Hafta sonlarında veya bir haftaya kadar olan tatillerde Standby modunu kullanın.
4 Standby modunu kullanırken Partial Vent on Standby işlevini etkinleştirin.
Prosedür 1. Status Bar öğesinin sağ tarafındaki veya öğesine tıklayın.
à Vakum, tabanca ve EHT’yi etkinleştirmek için bir açılır menü gösterilir.
2. Shutdown Gun öğesine tıklayın.
3. Tabancanın yavaşça kapanmasını bekleyin.
à Bu işlem 5 dakika kadar sürer.
7.3.1.2 Gaz Giderme İşleminin Başlatılması Bilgi
Gaz giderme işlemi devam ederken mikroskopta çalışamazsınız.
DUYURU
Cihazın gazı giderilirken yüzeyleri sıcaktır
Cihazın gazı giderilirken, özellikle de gaz giderme işlemi uzun sürdüğünde kolonun üst kısmındaki muhafaza parçaları ısınabilir.
4 Cihazın gazı giderilirken elektron optik kolonunun ızgaraları üzerine hiçbir yanıcı madde koymayın.
4 Gaz giderme işleminden sonra, kolonun çevresinde çalışmaya başlamadan önce yüzeylerin soğumasını bekleyin.
4 Gaz giderme işlemini sadece deneyimli operatörler uygulayabilir.
Ön koşul ü Bu işlem Supervisor ayrıcalığı ve Service kullanıcı düzeyi gerektirir ü Gaz giderme işlemini sadece deneyimli operatörler uygulayabilir Prosedür 1. Panel Configuration Bar öğesinde Bakeout öğesine çift tıklayın.
à Bakeout iletişim kutusu görüntülenir.
2. Full service bakeout onay kutusu varsa orada Full service bakeout onay kutusunun işaretini kaldırın.
BİLGİ: Tam servis gaz giderme işleminde kolon ısınır, bu da kolonda bir hizasızlığa neden olabilir.
3. Bakeout açılır listesinden bir gaz giderme döngüsü seçin.
2 saatlik ısıtma / 1,5 saatlik soğutma için Quick öğesini seçin.
8 saatlik ısıtma / 1,5 saatlik soğutma için Overnight öğesini seçin.
43 saatlik ısıtma / 7 saatlik soğutma için Weekend öğesini seçin.
Operatörün tanımlayacağı bir döngü için de User öğesini seçin.
4. Gaz giderme işlemini başlatmak için Bakeout Start öğesine tıklayın.
ZEISS 7 Arızaların Giderilmesi | 7.3 Kolon
7.3.2 Prob Akımının Kalibresi
Bu işlev, prob akımlarını birkaç dakika içinde otomatik olarak kalibre etmenizi sağlar.
Şu durumlarda prob akımını kalibre etmek gerekebilir:
§ Analitik uygulamalardan önce (ör. EDX, WDX)
§ Ekstraktör gerilimi değişiminden sonra
§ Prob akımı değerlerini ayarlama hassasiyetini artırmak için
Parçalar ve Aletler Adı Parça No.
Faraday kabı 348342-8055-000
Ön koşul ü Mikroskopta Gemini 2 kolonu vardır
Prosedür 1. Faraday kabını numune haznesinin içine yerleştirin. Bkz. Numune Haznesinin Hazırlanması [} 77].
2. Numune haznesi vakumlamasını başlatın.
3. Elektron ışınını açın. Bkz. EHT'nin Açılması [} 81].
4. Elektron ışınının tamamının diyafram deliğinden geçerek Faraday kabının içine ulaşmasını sağlayacak bir büyütme oranı ayarlayın.
5. Panel Configuration Bar öğesinde Probe Current Calibration öğesine çift tıklayın.
à Probe Current Calibration penceresi görüntülenir.
6. Spot onay kutusunu işaretleyin.
7. Cal I Probe öğesine tıklayın.
8. Onaylamak için Yes öğesine tıklayın.
9. Kalibrenin kaydı için Save öğesine tıklayın.
10. Spot onay kutusunun işaretini kaldırın.
7.3.3 Stigmatörün Kalibresi
Stigmatör değiştiğinde görüntü kayarsa stigmatörü objektif lens ekseni ile elektronik olarak hizalamak gerekir. Kalibre işleminin sadece bir tek prob akımı (ör. 30kV:10pA) için yapılması gerekir.
SEM stigmatör kalibresi, astigmatlığın neden olduğu etkileri ortadan kaldırmaya yarayan bir hizalama işlemidir. Astigmatlık dairesel ışının eliptik bir şekil almasına neden olur. Bunun sonucunda, odaklanan canlı görüntü bir yönde bulanık görünür (çizgi odağı).
Prosedür 1. Panel Configuration Bar öğesinden SEM Stig Calibration öğesini seçin.
à SEM Stig Calibration paneli gösterilir.
2. Wobble bölümünde, Stig X’i veya Stig Y’yi seçin.
BİLGİ: Görüntü X yönünde bulanık görünürse Stig X’i seçin.
3. Stigmatör hizalama periyodunu Stig Bal Period kaydırma çubuğu ile ayarlayın.
BİLGİ: 1.000 iyi bir başlangıç değeridir. Daha yüksek tarama hızı sayıları (daha yavaş tarama) için değeri artırın. Daha düşük tarama hızı sayıları (daha hızlı tarama) için değeri azaltın.
4. Stigmatör hizalama genliğini Stig Bal Amplitude kaydırma çubuğu ile ayarlayın.
BİLGİ: %100 iyi bir başlangıç değeridir. Daha yüksek büyütme oranları için değeri azaltın.
5. Stigmatörü Stig Centre gezinti kutucuğu ile ayarlayın.
6. Odaklanan canlı görüntü bir yönde hâlâ bulanıksa veya stigmatörü değiştirdiğinizde görüntü hâlâ kayıyorsa işlemi tekrarlayın.