Parametreler Açıklama
YAG dedektörü (isteğe bağlı):
Elle geri çekilebilen, yüksek hızlı, 1 sektörlü, sintilatör esaslı BSE dedektörü.
Hazne kamerası Renkli CCD kamera, beyaz ışık aydınlatmalı ve IR (kızılötesi) ışık aydınlatmalı.
Numune akımı monitörü
1 pA ile 10 µA arasında hassas otomatik akım ölçümü sağlayan 6 kademeli değer aralığı
Standart VP (isteğe
bağlı) Parametreler Açıklama
Vakum aralığı 5 Pa ile 60 Pa arasında 1 Pa’lık basamaklar hâlinde ayarlanabilen vakum değeri aralığıdır
VP algılama Standart VP modu seçeneğinde aşağıdaki dedektörlerden en az biri seçilmelidir:
§ Yüksek Hızlı Değişken Basınç İkincil Elektron Dedektörü (VPSE)
§ Yüksek Performanslı Kademeli Akım Dedektörü (C2D)
§ Geri Saçılan Elektron Dedektörü (AsB/aBSD/aBSD-LH) NanoVP (isteğe
bağlı) Parametreler Açıklama
Işın kovanı Işın kovanı diyaframı objektif lensin altına takılır, geri çekilebilir ve ışın gaz yolu uzunluğunun azaltılması ve VP modunda lens içi algılama için kullanılır.
Vakum aralığı 5 Pa ile 500 Pa arasında 1 Pa’lık basamaklar hâlinde ayarlanabilen vakum değeri aralığıdır
VP algılama Standart VP modu seçeneğinde seçilen dedektörlere ilave olarak, NanoVP modunda VP-BSD dedektörü de kullanılabilir.
9.3 Performans Verileri ve Teknik Özellikler | GeminiSEM 460
Mikroskop Sistemi tipi cihaz sadece kapalı mekânlarda çalıştırılmalıdır. Mikroskop Sistemi tipi cihazı, görüntü alımının yapay aydınlatma, güneş ışığı veya diğer ışık kaynakları ile
engellenmeyeceği karanlık bir odaya yerleştirmeniz önerilir. Mikroskop Sistemi tipi cihaz, doğrudan güneş ışığı alan pencerelerin veya radyatörlerin yakınına yerleştirilmemelidir. Mikroskop Sistemi tipi cihazın kurulum gerekliliklerine uyulması ve talep edilen sarf malzemelerin temini müşterinin sorumluluğunda olup bunlar kurulum sırasında sağlanmış olmalıdır. Sürekli ürün geliştirme nedeniyle, önceden bildirmeden teknik özellikleri değiştirme hakkımız saklıdır.
Mikroskop Sistemi tipi cihaz, gönderilen elektrik kablosu ile koruyucu topraklama bağlantısı yapılmış ve tesisata doğru bağlanmış bir elektrik prizine takılmalıdır. Uzatma kablolarını kullanırken koruyucu toprak bağlantısına zarar verilmemelidir.
Bilgi
ZEISS Satış ve Servis Ortağınız size kurulum gereklilikleri ile ilgili ayrıntılı bilgi verecektir.
Ağırlık ve Ölçüler Ana Bileşenler Uzunluk (mm)
Kaide + kolon 1000* 1540 1866,6 780*
Ana Bileşenler Uzunluk
Masa + Bilgisayar 980 980 değişken 97,2
Statik sarsıntı sönümleyici 180 180 160 12,0
Ön vakum pompası 430 376 216 24,5
Soğutucu (isteğe bağlı, su veya hava soğutmalı)**
530 640 740 90
Kompresör** 281 139 239 25,0
* Yapılandırmaya bağlıdır
** Gerçek ölçüler ülkeye göre değişir (farklı üreticiler).
İklimlendirme ve
Kalite Parametreler Değer
Isı yayılımı (ortama ve soğutma suyuna) Maks. 1825 W
Normal çalışmada: 1000 W Belirtilen performansta çalışma için sıcaklık
aralığı (günde 24 saat, mikroskobun açık veya kapalı olmasından etkilenmez)
21± 4 °C
Önerilen en iyi sıcaklık kararlılığı ± 0,5 °C/saat Önerilen uzun süre kararlılığı 2 °C/24 saat
Bağıl nem < %65
Atmosferik basınç/rakım Kesintisiz çalışmayı garantilemek için deniz seviyesinin ≤ 2.000 m üzerinde
Çevreyi kirletme derecesi 2
Şebeke bağlantısı Parametreler Değer
Nominal AC gerilimi 208–230 VAC L1/N(L2)/PE
Sağlanan elektrik bağlantısı, kurulumun yapılacağı ülkedeki geçerli elektrik yasalarına uygun olmalıdır. ZEISS, kurulumu yapılmış diğer makinelerin neden olacağı parazitlerin önlenmesi için, ana dağıtım panosuna ayrı bir güç bağlantı hattı çekilmesini önerir.
Nominal frekans 50–60 Hz
Ana Güç Fişi İş istasyonu, sabit bağlantı için tellerinin üzeri kıvrımlı 3x AWG10 UL tipi (5 m uzunluğunda) bir güç kablosuyla teslim edilir. Bunlar AB standartlarına göre etiketlenmiştir:
§ Siyah - FAZ
§ Beyaz - NÖTR
§ Yeşil - TOPRAKLAMA Mikroskobun sabit bağlantısı için mikroskobun yakınında, IEC60947-1 ve IEC60947-3 yönetmeliklerine uygun ayrı bir ana şalter olmalıdır.
ZEISS 9 Teknik Veriler ve Uygunluk Beyanı | 9.3 Performans Verileri ve Teknik Özellikler | GeminiSEM 460
Parametreler Değer
Güç tüketimi Maks. 3600 VA, aksesuarlara bağlı olarak
Azami akım 208–230 VAC'de 16A
Binanın ek topraklama hattı Sistem daima binanın bir topraklama hattına bağlı olmalıdır.
Ek topraklama hattının minimum kesiti 10 mm² Cu/bakır veya 16 mm² Al/alüminyum olmalıdır.
Cihaza özel bir topraklama hattı çekilmeli, diğer elektrikli ekipmana ait ortak topraklama terminali kullanılmamalıdır.
Devre kesici (ev kurulumlarında) 25 A (K tipi) IEC EN 60898’e uygundur
Devre kesici tipi K tipi
Kaçak Akım Cihazı (RCD) 100 mA, IEC EN 60898'e uygundur Amper kesme kapasitesi (AIC) 1.500 A rms, harici EMO kutusuz
10.000 A rms harici EMO kutusu ile Maksimum kaçak akım (Kaçak Akım Cihazı
için)
208–230 VAC'de 15 mA (230 V besleme gerektiren başka seçenekler olmadan)
Kısa Devre Akımı Oranı (SCCR) 3,5 kA
Koruma sınıfı Sınıf I
Aşırı Gerilim Kategorisi II
Elektron Optikleri Parametreler Açıklama Hızlandırma
gerilimi
Aralık: 20 V ila 30 kV
Ayar: Değer 10 Volt'luk basamaklar hâlinde sürekli değişir.
Prob akımı 40 nA yüksek çözünürlük yapılandırması: 3 pA–40 nA 100 nA yüksek akım yapılandırması: 3 pA–100 nA 300 nA yüksek akım yapılandırması: 3 pA–300 nA Kararlılık: Saatte %0,2’den daha iyi.
Prob akımının seçilmesi: Iprob sürgüsü, değeri 1 pA’lık basamaklar hâlinde sürekli değiştirir
Büyütme oranı Aralık: 8x – 2.000.000x, ref.: Polaroid 5 inç × 4,5 inçlik görüntü formatı.
Ayar: Kaba ya da hassas modlarda sürekli değişir.
Otomatik dengeleme: Çalışma mesafesi ve hızlandırma gerilimi değişimlerine göre, büyütme oranı otomatik ve hassas şekilde düzeltilir.
Kalibre: Basılı kopya çıktı aygıtındaki değişikliklere göre ekran görüntüsü büyütme oranı hassas şekilde düzeltilir.
Parametreler Açıklama
Elektron kaynağı Filaman: Schottky alan emitörü.
Otomatik emitör çalıştırma: Emitörün hedef koşullarına göre güvenli ve kontrollü çalışması sağlanır.
Göstergeler: Durum bilgisi olarak tüm emitör parametrelerini gösterir.
Objektif lensi Tipi: Gemini elektromanyetik/elektrostatik objektifli lens sistemi (son lensi 80º konik), en iyi termal kararlılık ve tekrarlanabilirlik için su soğutmalıdır.
Gecikme giderme: Lensteki gecikmeyi giderir.
Kolon: Yekpare kolon tasarımı, manyetik kaçak alanlarına duyarlılığı sınırlayan, bütünleşik Mu-metal yalıtım kalkanı. Fabrikada astigmatlığı ve ışın kayması en az olacak şekilde hizalanarak üretilmiştir.
Odaklama Çalışma mesafesi: Çalışma koşullarına bağlı olarak 0,1 mm ile 50 mm arasında değişir
Kontrol: Büyütme oranıyla bağlantılı, kaba ve hassas kontrol duyarlılığı özelliği.
Otomatik odaklama kontrolü: Kaba veya hassas otomatik odaklama kontrolü
Odak düzeltme: Hızlandırma gerilimi aralığının tamamında, odak değişimlerini en aza indiren otomatik odak düzeltme.
Dinamik odak: Eğimli numuneler üzerinde odağın düzeltilmesi içindir.
Otomatik odaklama takibi: Diyafram hizalama işlemi, genlik ve hız ayarı ile otomatik olarak kolaylaştırılır.
Dönüş düzeltme: Çalışma mesafesi değiştiğinde görülen görüntü dönmeleri otomatik olarak düzeltilir.
Stigmatör Tipi: Sekiz kutuplu elektromıknatıs.
Diyaframlar Sayısı: Tek diyafram, prob akımı ayar değerlerine göre hassas hizalama ayarı yapılır.
Işın kaydırma Yüksek oranlı büyütmelerde görüntü konumunun hassas ayarı içindir.
Genişlik: 20 kV’de 200 µm (± 100 µm), WD = 8,5 mm Numune haznesi
ve tablası Parametreler Açıklama Numune
Hazne üzerindeki 12 adet aksesuar bağlantı portundan üçü 35°’lik bir yüzey açısı ile analitik uygulamalar içindir
Analitik çalışma mesafesi
8,5 mm
ZEISS 9 Teknik Veriler ve Uygunluk Beyanı | 9.3 Performans Verileri ve Teknik Özellikler | GeminiSEM 460
Parametreler Açıklama
Numune tablası Tipi: SmartSEM kullanıcı arayüzü ile kumanda edilir, çift kumanda kollu kontrol kutusundan çalıştırılır, 5 ekseni motorlu ortak merkezli Montaj: Çekmece tipi kapak
Hareketler:
§ X/Y = 130 mm
§ Z = 50 mm
§ T = −4° ila 70°
§ R = 360° kesintisiz
§ 0° eğimde x/y’de 3 µm dâhilinde tekrarlanabilirlik BİLGİ: Numune boyutuna, çalışma koşullarına ve bağlanan aksesuarlara göre hareketler kısıtlanabilir.
Aksesuar portları: Tabla kapağının üzerinde iki adet aksesuar portu vardır
Numune ağırlığı: Azami 0,5 kg
Numune akımı monitörü, dokunmatik alarmlı (bu sesli dokunmatik alarm ekrana uyarı mesajı da gönderiyor)
Numune montaj aletleri: Standart alet konfigürasyonunda biri dönen, 9x numune tutucu vardır (altlıklar için), isteğe göre çeşitli numune tutucular temin edilebilir
Plazma temizleyici (isteğe bağlı)
Bütünleşik plazma temizleyici: Hazneye takılan bu plazma
temizleyici hem numunenin hem de haznenin hidrokarbon kirliliklerini giderir; kullanıcı tanımlı temizleme döngüleri için bütünleşik bir yazılım kontrolü vardır ve temizleme işlemi başladıktan sonra kullanıcı
müdahalesi gerektirmez Hava kilidi (isteğe
bağlı)
Sistem vakumunu düşürmeden numuneyi hızlıca numune haznesinin içine aktarmanızı sağlar. Ayrıca hava kilidinin kullanımı numune haznesi kirliliğini en düşük seviyede tutar ve vakumlama sürelerini azaltarak numune değiştirme sürecini hızlandırır.
Algılama Sistemi Parametreler Açıklama
Algılama sistemi Algılama sistemi, çoklu dedektör kanallarının sinyallerini algılayacak ve bunları işleyecek şekilde donatılmıştır:
16 adede kadar dedektör kanalı (isteğe bağlı), 4 dedektör kanalı (varsayılan)
3 adede kadar TV girişi (isteğe bağlı), 1 TV girişi (varsayılan)
4 kanala kadar paralel algılama, sinyal işleme ve görüntüleme özelliği Herhangi 2 dedektörün sinyali, gelişmiş görüntü bilgisi için
birleştirilebilir. TV Kamera görüntüsü ve dedektör görüntüleri aynı anda görüntülenebilir.
Lens içi dedektörler
Lens içi SE dedektörü:
Kolona takılan sintilatör dedektörü, optik bağlaşık fotoçoğaltıcılı, yüzeylerde yüksek performanslı ve hassas lens içi SE algılaması için
Parametreler Açıklama
EsB dedektörü (isteğe bağlı):
Geri saçılan elektronların seçilen enerji ve açıyla algılanması için, optik bağlaşık fotoçoğaltıcıya sahip, kolona takılan, yüksek performanslı sintilatör dedektörü. Enerji filtrelemesi için 0 V−1,5 kV arasında ayarlanabilen filtreleme ızgarası
Lens içi SE dedektörü ve EsB dedektörü paralel olarak kullanılabilir Hazne dedektörleri aBSD/aBSD-LH dedektörü (isteğe bağlı):
Basınçlı hava sistemiyle geri çekilebilen 5 veya 6 segmentli, çok modlu, yarı iletken BSE dedektörü; materyal kontrastı, kristal oryantasyon ve topografik görüntülemeye olanak tanır. Yerinde 3D yeniden yüzey yapılandırma ve sayısal 3D metrolojiye olanak tanır.
VP-BSD dedektörü (isteğe bağlı, NanoVP modu için):
Basınçlı hava sistemiyle geri çekilebilen 5 segmentli, çok modlu, yarı iletken BSE dedektörü; ışın kovanı diyaframına entegre edilmiş olup materyal kontrastı, kristal oryantasyon ve topoğrafik görüntülemeye olanak tanır. Yerinde 3D yeniden yüzey yapılandırma ve sayısal 3D metrolojiye olanak tanır.
AsB dedektörü (isteğe bağlı):
Gemini objektif lensine entegre edilmiş dört segmentli yarı iletken BSD diyodu (her segmenti 10 mm²), seçilen açıyla geri saçılan (AsB) elektronların algılanması için kullanılır. BSD görüntüleme, sadece 1 kV üstü hızlandırma gerilimlerinde mümkündür. Kısa çalışma
mesafelerinde çalışma olanağı sunar.
AsB dedektörün 2 mm artan yüksekliğinden dolayı değiştirilen cihaz çözünürlüğü, çözünürlük değerlerinde belirtilir. WD göstergesi otomatik olarak düzeltilir, yani görüntülenen WD, numune yüzeyi ile AsB dedektörün alt tarafı arasındaki gerçek mesafedir. Yerinde 3D yeniden yüzey yapılandırma ve sayısal 3D metrolojiye olanak tanır.
AsB4 dedektörü (isteğe bağlı):
Gemini objektif lensine entegre edilmiş dört segmentli yarı iletken BSD diyodu (her segmenti 10 mm²), seçilen açıyla geri saçılan (AsB) elektronların algılanması için kullanılır. Bu dedektörün AsB dedektörü ile işlevselliği aynıdır ve ayrıca dört segment sinyalini paralel olarak algılamasını sağlayan dört kanallı bir yükselteci vardır. Yerinde 3D yeniden yüzey yapılandırma ve sayısal 3D metrolojiye olanak tanır.
aSTEM dedektörü (isteğe bağlı):
Basınçlı hava sismiyle geri çekilebilen, çok modlu, dairesel Taramalı Geçirimli Elektron Mikroskobu (aSTEM) dedektörü; 12x numune tutuculu, parlak alan (BF), karanlık alan (DF), seçili karanlık alan (ODF) ve yüksek açılı dairesel karanlık alanların (HAADF) geçirimli
görüntülemesine olanak tanır C2D dedektörü (isteğe bağlı):
Kademeli Akım Dedektörü, SE sinyalini değişken basınç altında yüksek bir performansla algılar.
500 Pa'ya kadar varan Değişken Basınç modunda değişken yükselteç elektroniği ile gelişmiş bir görüntüleme olanağı sunar. Düşük kV'de, nispeten daha yüksek basınç gerektiren polimerler, biyolojik numuneler, tozlar ve lifler vb. numunelerin detaylarını belirler. VPSE dedektöre karşı daha üstün sinyal-gürültü oranı sağlar.
ZEISS 9 Teknik Veriler ve Uygunluk Beyanı | 9.3 Performans Verileri ve Teknik Özellikler | GeminiSEM 460
Parametreler Açıklama
CL dedektörü (isteğe bağlı):
Katodoluminesans (CL) hazne dedektörü SCD dedektörü (isteğe bağlı):
Numune akımı dedektörü (SCD), numune tarafından soğurulan akımı algılar.
SE dedektörü:
Optik bağlaşık foto çoklayıcılı Everhart-Thornley tipi SE dedektörü, toplayıcı ön gerilimi −250 ile +400 V arasında ayarlanabilir VPSE dedektörü (isteğe bağlı):
SE sinyalini yüksek hızda, değişken basınç (VP) altında algılayan ışık dedektörü.
YAG dedektörü (isteğe bağlı):
Elle geri çekilebilen, yüksek hızlı, 1 sektörlü, sintilatör esaslı BSE dedektörü.
Hazne kamerası Renkli CCD kamera, beyaz ışık aydınlatmalı ve IR (kızılötesi) ışık aydınlatmalı.
Numune akımı monitörü
1 pA ile 10 µA arasında hassas otomatik akım ölçümü sağlayan 6 kademeli değer aralığı
Standart VP (isteğe
bağlı) Parametreler Açıklama
Vakum aralığı 5 Pa ile 60 Pa arasında 1 Pa’lık basamaklar hâlinde ayarlanabilen vakum değeri aralığıdır
VP algılama Standart VP modu seçeneğinde aşağıdaki dedektörlerden en az biri seçilmelidir:
§ Yüksek Hızlı Değişken Basınç İkincil Elektron Dedektörü (VPSE)
§ Yüksek Performanslı Kademeli Akım Dedektörü (C2D)
§ Geri Saçılan Elektron Dedektörü (AsB/aBSD/aBSD-LH) NanoVP (isteğe
bağlı) Parametreler Açıklama
Işın kovanı Işın kovanı diyaframı objektif lensin altına takılır, geri çekilebilir ve ışın gaz yolu uzunluğunun azaltılması ve VP modunda lens içi algılama için kullanılır.
Vakum aralığı 5 Pa ile 500 Pa arasında 1 Pa’lık basamaklar hâlinde ayarlanabilen vakum değeri aralığıdır
VP algılama Standart VP modu seçeneğinde seçilen dedektörlere ilave olarak, NanoVP modunda VP-BSD dedektörü de kullanılabilir.