Design of driver electronics for 32 cantilevers in atomic force microscopy
62
0
0
Tam metin
(2)
(3) !"## !" $%
(4) "&$% " ' (#) * +','-/.10 . .324/560 +'+/-87%+'9%+/,-:7;- <=*'>?+56-8@'+9;AB-8C=-8D/+/>'0 D/*C *'@7%-/CE-/D8+'>/9@0 D/. -8@F;0 @'-8- >'0 @;F *'@7%+','-G0 @;.1+'0 +/2+/-H9;A -8@F;0 @'-8- >'0 @;F%*'@7I.3D/0 - @;D8-/. 9;A:480 CEJ;-8@'+K2@'0 L- >.30 +/M 0 @<=*'>?+'0 *CBAN2CNAN0 C=CN56-8@'+%9;AB+/,-G>'-8O20 >'-85- @+'. AN9>K+','-G7;-8F;>'- -H9;A 56*;.1+'- >%9;AB.PD80 -8@D/-. QSR TKVEU W X YPZ Q YP[ YP\=Z]1^N_ \ ` ]1a?Z]1bc8]1d#eEf=f?g.
(5) hh i=j k l m h n oSm p3q m iNp3q rsk/l k qstSm p3h uNm p3k u h u qv3tSm p3qm?h v wSoSxsy3h v3h xvSh m h u=n z3{ { oSqst3k |1z3q m k} h v6u j xsyPk;qsv3t6h v6|1z3q{ h m o}Pqu/q m p3k u h u8n xsl8m p3k;t3k ~sl k k;xn 6qsu m k l'xn 1j h k v3j k. l xn l Pt3z3{ { qsp#8m qs{ ql; 1z3yEk l r3h u xl i=j k l m h n oSm p3q m iNp3q rsk/l k qstSm p3h uNm p3k u h u qv3tSm p3qm?h v wSoSxsy3h v3h xvSh m h u=n z3{ { oSqst3k |1z3q m k} h v6u j xsyPk;qsv3t6h v6|1z3q{ h m o}Pqu/q m p3k u h u8n xsl8m p3k;t3k ~sl k k;xn 6qsu m k l'xn 1j h k v3j k. l x n ;l 'q o3l k m m h vx o3wk v i=j k l m h n oSm p3q m iNp3q rsk/l k qstSm p3h uNm p3k u h u qv3tSm p3qm?h v wSoSxsy3h v3h xvSh m h u=n z3{ { oSqst3k |1z3q m k} h v6u j xsyPk;qsv3t6h v6|1z3q{ h m o}Pqu/q m p3k u h u8n xsl8m p3k;t3k ~sl k k;xn 6qsu m k l'xn 1j h k v3j k. u u x1j 8 l xn l 'k j qsh= { { h q{ m xP~ { z 'y3y3l x rsk t6n xsl8m p3k;i v3u m h m z1m k;x n? v3~sh v3k k l h v3~ qsv3t1j h k v3j k u l xn l 8k p3wk m'/ql q o ;h l k j m xl/x n?i v3u m h m z1m k;x n? v3~sh v3k k l h v3~ qsv3t1j h k v3j k u.
(6) /" ¡ " # " ¢% ¢% " ' £#¤ ¥ §E¦ ¨ © ªP«¬#ªP ªP®=«¯1°N± ® K ¥G² /³ ² ± ®´6¯1µ8ªP¶ «·¯1®=«#¸E¹;ºS ¯1»s«¶ ± »3ªE/ªE®?© ºS ¯1»s«¶ ¸E® ± »1¼#ºS® E½ ± ®?¯1¯1¶ ± ®?½ ³ § µ8¯1¶ ¾?± ¼ ¸=¶1¿SÀS¶ ¸=¹ ² ´¶ ²SÁ © §? ªEà Á «sªP ªP¶ ³ ¯1µ?«¯1·  ¯1¶#ÄEÅ=Å?Æ Ç8È ÉÊË ÌÍPÉÎ Ì ÏÐ6Ë Ì Î ÉÑ Ì ÉÒEÏÓ ÇÍ ÐÔ#Ë Ñ#ÕÒEÉ Ö8Ï Î × Ø3ÙÈ É1ÉÙØ3Ñ Ï Ú× ÉÎ6Û3Ë ÜÛÎ Ï Ñ ÉÙ Ø1È Ë ÉsÝÑ Ø3Î × ÕÌ Ï Ë ÊÕÜsË Ý3Ü1ÞÇKÌ ÕÝsÈ Ë Ù Ï ßsÏ ÎSÖ'Ë È ÛÕÑ Û3ÕsÎ ÒÈ Ë ÒÕÌ È Ñ ÕsÑSÈ Û3Ï6ÒPÉsÑ Ë È Ë ÉÝÑ Ï Ý3Ñ ÉsÎ É×'È Û3Ï#ÇÍ ÐÞ8àÝ3Ï Ì ÕsÝÈ Ë Ù Ï ßsÏ ÎË Ñ'ÜÏ Ý3Ï Î ÕsÙ Ù á6Ï ÊÒ3Ù É ásÏ Ú6× ÉsÎ'ÊÉÑ ÈÇÍ Ð%ÉsÒPÏ Î Õ È Ë ÉsÝ3Ñ âPÕsÝ3Ú6È Û3Ë Ñ'ÕsÒ3Ò3Î ÉÕsÌ ÛÒ3Î É1Ú3Ø3Ì Ï Ñ Ë ÊÕÜsÏ Ñ8É ×NÙ ÕÎ ÜsÏ'Ñ ÕÊÒ3Ù Ï Ñ ßsÏ Î á#Ñ Ù É Ö'Ù ásÞ?ã ÊÕÜsË Ý3Ü;Ì ÕÝ6äPÏÑ ÒPÏ Ï Ú3Ï Ú6Ø3ÒÖ'Û3Ï Ý6ÕSÌ ÕÝsÈ Ë Ù Ï ßsÏ Î8ÕÎ Î Õ á Ë ÝÒ3ÕsÎ ÕÙ Ù Ï Ù=Ë ÑØ1È Ë Ù Ë å Ï ÚEÞ;æ1Ë Ý3Ì Ï ÊÉÎ Ï;È Û3ÕsÝÉÝ3Ï Ì ÕsÝÈ Ë Ù Ï ßsÏ ÎË ÑÉÒEÏ Î ÕÈ Ï ÚEâ=ÕsÝÏ Ù Ï Ì È Î ÉÝ3Ë ÌSÑ á3Ñ È Ï Ê È Û3Õ È8ÕØ1È ÉsÊÕ È Ï ÑNÈ Û3Ï/Ë ÊÕÜsÏ8ÕÌ çsØ3Ë Ñ Ë È Ë ÉsÝSÑ Û3ÉsØ3Ù Ú äEÏ/Ú3Ï Ñ Ë ÜsÝ3Ï ÚEÞ ã Ý È Û3Ë ÑNÈ Û3Ï Ñ Ë Ñ â1Õ;Ò3Î Ë ÝÈ Ï Ú Ì Ë Î Ì Ø3Ë È äPÉsÕÎ ÚË Ñ/Ú3Ï Ñ Ë ÜÝ3Ï Ú6× ÉÎ/è1é Ì ÕsÝÈ Ë Ù Ï ßsÏ Î Ñ Þ/ê/Û3Î Ï Ï;É×NÈ Û3Ï ÊHÌ ÕÝäEÏ;ÉÒEÏ Î ÕÈ Ï ÚË Ý6Ò3ÕsÎ ÕÙ Ù Ï ÙPÈ ÉÚ3Î Ë ßsÏ ëì Ì ÕsÝÈ Ë Ù Ï ßsÏ Î Ñ Þê/Û3Ï#Ú3Ï Ñ Ë ÜsÝË ÑSÑ Ø3Ë È Ï ÚÈ ÉÉsÒPÏ Î Õ È ÏÈ Û3Ï#ÊË Ì Î ÉÑ Ì ÉÒEÏË ÝÌ ÉsÝÈ ÕsÌ ÈÊÉ1Ú3Ï Þê/Û3Ï É È Û3Ï Î/Ö'Ë Ú3Ï Ù á6Ø3Ñ Ï ÚÊÉ1Ú3Ï;Ë Ñ8È Û3Ï;ß1Ë ä3Î ÕÈ Ë Ý3Ü Ì ÕÝsÈ Ë Ù Ï ßsÏ Î'ÊÉ1Ú3Ï;Ë Ý#Ö'Û3Ë Ì Û6È Û3ÏSÌ ÕsÝÈ Ë Ù Ï ßsÏ Î'Ì ÕsÝäPÏ ÊÉ1Ú3Ï Ù Ù Ï Ú ÕsÑ8ÕSÚ3ÕÊÒEÏ Ú#Û3ÕÎ ÊÉsÝ3Ë Ì/ÉsÑ Ì Ë Ù Ù ÕÈ ÉÎ Þ?ê/Û3Ë Ñ8ÊÉ1Ú3Ï ÙPÌ ÕÝ#äPÏÌ ÉsÝßsÏ Î È Ï Ú#È ÉSÕsÝÏ Ù Ï Ì È Î Ë Ì ÕsÙ Ì Ë Î Ì Ø3Ë È?Ö'Û3Ë Ì ÛÌ ÕÝäEÏ/Ñ Ë Ê Ø3Ù Õ È Ï ÚSÖ'Ë È Û ÕsÝÏ Ù Ï Ì È Î Ë Ì ÕÙ3Ì Ë Î Ì Ø3Ë È Ñ Ë Ê Ø3Ù Õ È ÉsÎ ÞNã Ý È Û3Ë ÑNÈ Û3Ï Ñ Ë Ñ âsÖ8Ï'ÕsÙ Ñ É Ò3Î Ï Ñ Ï ÝÈ'È Û3Ï;Ñ Ë Ê Ø3Ù Õ È Ë ÉsÝ#Î Ï Ñ Ø3Ù È Ñ'É ×NÈ Û3Ïß3Ë ä3Î Õ È Ë Ý3Ü Ì ÕÝsÈ Ë Ù Ï ßsÏ Î Þ íîï=ð ñPò óNôõ Ç8È ÉÊË Ì ÍPÉsÎ Ì Ï/Ð6Ë Ì Î ÉÑ Ì ÉÒEÏ â1ö8ÕÝsÈ Ë Ù Ï ßsÏ ÎNÇ'Î Î Õ ásâs÷ Î Ë ÝÈ Ï Ú ö8Ë Î Ì Ø3Ë È?ø8ÉsÕÎ ÚEâ1ö8ÉÝsÈ ÕÌ È Ð6É1Ú3Ïâ3ùË ä3Î ÕÈ Ë Ý3Üö8ÕÝsÈ Ë Ù Ï ßsÏ Î Þ ËËË.
(7) û ú üý6þ. ÿ
(8)
(9) . ÿ ÿ ÿ .
(10) ! ;ÿNÿ ! . #%" $ &('*) '*+ '*,).-0/21 , + -0/).3 1 /542- + -0/).3 6,71 / #(" 87-0,(&71 9 + 1 ; : 12< #(" /29 -0/ 1 9.'*,(9 -0=< 6" ,7->).1 ?01 9 1 @A3 6%B C 30C ÿD &7#(+ + '*8 ÿ )>'%+ '%3 E + #(" + %FF7G H I J.KML NPO Q0R>R>S IUT!L N0V J.W N.J>XYQ[Z H\OT]_^2QY` N0W S N[b a J>` c0QY` d2QY` V e QY` N.I Sf^2QY` c S ^gV S W L KMe S KMS W L5L b a L d N>QYe e h>dYi e h.d5j%Q2` b a e Qk ` XYL VMh.e S I I L V l_m0L R0V L\Q2b a e QnN h.e oYi V h%b a H\OTp dYL dnh.e j>i e h ^0i b i W i oYi V lnq a.J*j.r QnH\OT b a h>e i W a KMh.e h>V i dYoYhkXYL VN h>e oYi V h*b a N>QYe e h>dYi e i V s R>SkXYQ ^>h.N0e hYW a i KtX7Q0` ^2QY` NfJ>` V dYS N0e S V L duV S W KML dYLb a J.N ^>h R.h*W! a QY` V S I L V lv\S W L KMe S KMS dYL dwYi c i N h.e oYi V h%b a oYL c L W L dYL dxYh>V h.e S e(N0QYe e h.dYi e KMh>W i ^0e h h>V I I i V i e h.XYL e L V l y L V oYS d z h.c e h N h.e oYi V h%b a b a h>e i W a I i V i e oYi j.r iYL b a L d%sYV S W L K{S e oYS|S I KMS ^YLJ I J>KMh I L N0e S.W a I L V S d XYL V}S e S N.I V J>dYL N W L W I S Kj>S V S N>e L oYL V l y QkI S c oYS.s|~>N h.e oYi V h%b a L b a L dnXYL VMXYh>W N>i e i|oYS RYV Se S R0wYh>W i}I h>W h.V e h>dYKMi W a I i V l y QYdYe h>V oYh.dQ2` b a I h>dYS W L(xYh>V h.e S e\b a h.e i W a I i V i e h>V h.N!>!N h>e oYi V h*b a W QY` V.QY` e S XYL e L V lM2h.W h>V i K!sKML N0V J.W N.J>XYQ I S KMh>W2KMJ0oYQYdYoYh b a h.e i W a I i V KMh ^>h\Q0^0j>QYdYoYQYV l7O h.e oYi V h b i d W J>` d2QY` KMe S dYS dwYh.V KMJ>dYL N|J.W L e h.I J.` VJ>e h.V h>N KMJ0oYS e e S dYS XYL e oYL j>r LYj.S dYL W a J.` e b a QY` oYS|N>QYe e h>dYi e h.d oYL j.r S V XYL V KMJ0oYoYhI L I V S>W a S d!N h>e oYi V h*b a KMJ0oYQYoYQYV l y Q KMJ0oYS e|XYL V!S e S N.I V L NkoYS R0V S W L dYSoJ.` d7Q` W a I.QY` V.QY` e QY` xkW L KQY` e h.W ^>J>d>Qk^>h>xYi e h.XYL e L V l y QnI S c oYS.s h ^0V i b h I L I V S.W a S d!N h>e oYi V h b i d W L KQY` e h>W ^>J.d!W J.d0Q2b a e h>V i%W QYd0QYe KQW a I QYV l a L c L W L s y h.W N0i e i S R0V S 2Y% Yf0 > 0> H I J>KML N O Q0R>R>S InT!L N0V J.W N.J>XYQ%s O h>e oYi V h*bk S R0wYh>W i s*2S KMh>W\TJ0oYQ%s*}L I V S.W a S d!O h>e oYi V h*b a l. LR.
(11) PU f5 g ¡. ¢ £}¤.¥Y¦ §¦ ¨ ©.ª « ¤M« ¬Y>®Y©!¯°± ¥Y²%ª ³ ´Y¨ ± ¤.³|µ(³ ¤.¶ · ¸|³ · ¹\º%§Y¥Y¦ ¦ .¬¹ « >¦ .³\¶ ¤.³|¬Y¨ ±\± ¥Y²%ª ³ ´Y¨ ± ¨ ¤.®%» ¼ ¥Y¨ §Y>®Y½ ª.»*.®Y§!± ¥ ¼>¼ ª ± « ¨ ¤.®Y±}« ¬Y³ ¤.¥ ¼ ¬Y¤.¥0«\« ¬Yª §Yª ´>ª ¦ ¤.²Y¯Mª ®.«|¤ ¶2« ¬Y¨ ± « ¬Yª ± ¨ ± · ¢|£ ¤>¥Y¦ §>¦ ± ¤¦ ¨ ©.ªM« ¤« ¬Y.®Y©¸ ³ ·¾ ·(¾ ¤>¿ ©>± ª ®Y¨ ®À .³ >¦ Á ¤Y¼  ¦ ¥¶ ¤>³¬Yª ¦ ²0¶ ¥Y¦(§Y¨ ± ½ ¥Y± ± ¨ ¤.®Y± >®Y§ ½ ¤>¯M¯Mª ®>« ±}¤.®!« ¬Yª §Yª ± ¨ ¼ ®%· à ²*ª ½ ¨ >¦« ¬Y.®Y©0±}« ¤ ¸ ³ ·\Ä\ °Y³ ª « « ¨ ®ÅM¤.¿ °0¯Mª ®>®Y§¸ ³ ·\Æ\ª ½ .¨2Ç(¦ ¦ ¨ >¦ « Á ¤Y¼  ¦ ¥ ¶ ¤>³\³ ª >§Y¨ ® ¼ « ¬Yª « ¬Yª ± ¨ ± ·. ´.
(12) ÈÊÉÌËÍÎfËÏÍÐ. ÑÓÒ ÔÕÖM×MØ!ÙÚ ÕÒ ×MÔ. Ñ. ÛÝÜÒ Þ Ù!ß(à ÕÒ ×MÔÜn×Má âÒ ã Ö à ÕÒ ÔäPÚà!ÔÕÒ ß(å\âå|Ö. Ñ>æ. ç>è éëê7ì.í î>ï ð ñMò>ó ó}ñMì0ôYõ ö è èè èè èè èè èè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èè÷é>é ç>è ç÷ø0í ñ ùYö ò ï í ì>îYóÌè èè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èè÷é.ç úëØ!Ö Ò â!å|ÖÌå|ß å ÚÕÖ ×MÔÒ Ú Ü5á}×MÖPú*ÛÚ à ÔÕÒ ß å\â!å|Ö!Ü. Û*Û. û0è éýü þ.ÿ ì.îYîYõ ï ì ó\ò.îYô%ì õ \ó ùYö Ýè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èèÝç.û û0è ç
(13) Yõ ò ï ó ï ì>îYõ í ô.õ ò.îYô õ ò>ñYö í *õ Mè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èèÝç. û0è û ò.í îYö ì >óÏè èè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èèÝç. û0è ÷ü î.ï õ ò.ï ìUèè èè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èèëû0ç û0è |í
(14) > ì.ö ï ò.õ ò.ñYö í *õ [èè èè èè èè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èèëû0ç û0è "!2ì }ð Yò>ó ó#*ö ï õ \èè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èè èè è èè èè èè èèëû û0è $" ì>î.ï ì>ö% í ùYí ï ò>îYôYò ò>ö ö õ ö&%ì ï\í î>ï õ ' ò õ÷è èè èè èè è èè èè èè èèëû$. (÷Ú ×MÔÚ ß(ÙÜÒ ×MÔ. (2Ñ Yí.
(15) )* * + ,.-0/21#34&576%8. 9&:. /"-.57;=<>57?A@?&8 1>B C 8. 979. - ,B ?D3C C B E7?A;=@?&8 C057FG<A3H 3I I @I#<>57H 8. 9&J.
(16) KMLANOQPSR"T"L%UWVYX[Z\N ]^ ] _` ab cd e f `gGh>iWj b e kl&^^.^^.^^.^^.^^^.^^.^^.^^.^^.^^^.^^.^^.^^.^nm ]^ o p qe b r cst b ` kt dr>u sr ` bwvb r j kjGxf j e dq` b` kr vb^y^.^^.^^.^^.^^^.^^.^^.^^.^nz ]^ m{#sqe d` ewcsxbwsl7b r d e f sq&^}| d~}{#sqj e dqewab f ae %| 7~G{#sqj e dqeGu sr ` b ^^.^^.^ ]^ z" >f b sr b j f j e f vbxb e b ` e f sqj ` ab cb ^y^^.^^^.^^.^^.^^.^^.^^^.^^.^^.^^.^ o^ ]| d~A}ab}cb ` adqf ` dtcsxb tu srAe f l j dclt b#j j e b c^G| 7~A>kf vdt b qe>b t b ` e r f ` dt csxb t ^#%j e dqxj}u sr#e f l&&}j e dqxj}u sr}j dclt b^2^^.^^.^^.^^^.^^.^^.^^.^"] m o^ o gwclt f e kxbdqxladj bvb r j kj=xf j e dq` byj f c0kt d e f sqr b j kt e j=d e=r b j sqdq` b u r b kb q` Du srYo=wc^2| d~ gGclt f e kxb.| 7~ >adj b[t d^idr b r j j as e abl7sj f e f sqj#Gab r bwe abwu sr ` bwe r d` b jGf qhf ^&o^ m0dr bGe db q&^.^.^^.^^.^"] o^ m"p qe b r d` e f squ sr ` b j0| qw~}vb r j kjwe f cb | j ~}e r d` b jwe db qu r sc2j f c.kt de f sqj}u sr o[wc^\| d~.e sD| x7~0` sr r b j l7sqxje s[dllr sd` ay` ` t b j ^}abe f le s j dclt bxf j e dq` b.u sr.| d~}f jGe ab.t dr b j esqb.dqxu sr.| x7~Gf j}e ab0j cdt t b j e ^.| b ~ e s| ~#` sr r b j l7sqxj}e sr b e r d` eG` ` t b j ^#}abe f l e s0j dclt bwxf j e dq` bwu sr| b ~}f j e abj cdt t b j eGsqbdqx[| ~#f j#e abt dr b j e ^^.^^.^^.^^.^^.^^^.^^.^^.^^.^"]. vf f f.
(17) "¡A¢ £ ¤ ¥ ¦ § ¨¢ ¥ ©¨ ªw« £¬}§ ¨© ¦ ® ® £§ ¨¯&°« ±7¬}²7¢ © §.³£¢ ´¨¯ ¦.¨ª ¯§ ¥ ¢ £¦ § ¨¯ª ¨¢ ¦ ¥° £¯µ§ ¨ § £ ® ª ¨¢ ¦ ¥0ª ¨¢.¶·¸¹º »¼ ´ ½¨ ® µ ® ¯¥0© ³¨ ¾G©.¿#À Á Â0£¯µ[µ£© ³¥ µ ® ¯¥ © ³¨ ¾G©>¿}ÃwÄ¿#À Á ÂÅ>£¦ ³0´£¢ Æ¥ ¢>¦ ¨¢ ¢ ¥ © ¨¯µ©§ ¨© £´¥#´£¢ Æ¥ ¢ ¯0Ç È « ±7¬ ¡}³¥ ³£© ¨¢Gµ £ È ¢ £´© ³¨ ¾G©G§ ³¥© § É£ § ¨¯ ¯µ ¦ £ § ¥ µ¾ § ³´£¢ Æ¥ ¢}Ê\.."Ë Ì º Íw´ ® § ɵ¥£¯µ ³£© ¥Î¥ ¢ © É©=µ © § £¯¦ ¥y© ´0É ® £ § ¨¯¢ ¥ © É ® § ©=£ §=¢ ¥ © ¨¯£¯¦ ¥ ª ¢ ¥ ÏÉ¥ ¯¦ Ð[ª ¨¢.¶ · ¸Ñ º»w¼´Ò« µ¨ § § ¥ µ ® ¯¥ © ¬G£¯µª ¨¢¶ · ¸¹ºÓ»w¼´Ò« © ¨ ® µ ® ¯¥ © ¬ }« £¬#ÍG´ ® § ɵ¥°%« ±7¬#Ô>³£© ¥ ® £ È ¹......... Ó Õ"Íw´ ® § ɵ¥£¯µ ³£© ¥Î¥ ¢ © É©=µ © § £¯¦ ¥y© ´0É ® £ § ¨¯¢ ¥ © É ® § ©=£ §=¢ ¥ © ¨¯£¯¦ ¥ ª ¢ ¥ ÏÉ¥ ¯¦ ÐDª ¨¢¶·¸Òº[»¼ ´« £¬0Íw´ ® § ɵ¥ °.« ±7¬0Ô>³£© ¥ ® £ È ¡}³¥ª ¢ ¥ ¥ § ¨© ¦ ® ® £ § ¨¯ £´ ® § ɵ¥ ©wË ÓÓ0¯´[......... Ë Ö Íw´ ® § ɵ¥£¯µ ³£© ¥Î¥ ¢ © É©=µ © § £¯¦ ¥y© ´0É ® £ § ¨¯¢ ¥ © É ® § ©=£ §=¢ ¥ © ¨¯£¯¦ ¥ ª ¢ ¥ ÏÉ¥ ¯¦ ÐDª ¨¢¶·¸Òº[»¼ ´« £¬0Íw´ ® § ɵ¥ °.« ±7¬0Ô>³£© ¥ ® £ È ¡}³¥ª ¢ ¥ ¥ § ¨© ¦ ® ® £ § ¨¯ £´ ® § ɵ¥ ©Gº0¯´.......... Ë × Ë Ø ® ¨¦ Ƶ £ È ¢ £´¨ ª¨¯¥¦ ³£¯¯¥ ® ........... × Ô£¢ £ ® ® ¥ ® ¨ ¥ ¢ £ § ¨¯ ¨ªÙÕ¦ £¯§ ® ¥ Î¥ ¢ © y......... º × × Ú ³¥ £ § © § ¨¯¥±¢ µ È ¥£¯µ ¢ ¥ £´ ® ²7¥ ¢ 2......... Ö × "Å>ÏÉ Î£ ® ¥ ¯§G¯¨ © ¥w¦ ¢ ¦ É § ¹............ Ì × º"Û£ ¯± ® ¨¦ Æ© ............... ×Ó × Õ"Ü ¯§ ¥ È ¢ £§ ¨¢ G................ ×× × Ö Ý È ³ Ψ ® § £ È ¥£´ ® ²7¥ ¢ ............. × × Ì"ÞA¨ ¾}ß £© ©#² ® § ¥ ¢ \.............. ×Õ × Ùà#¨¯§ ¢ ¨ ® ¦ ¢ ¦ É § ¢ ÐD.............. Ó.
(18) áãâÒä¹åæ[ç\èêé ëìîíðïòñôóöõ á í÷ë=ñQì øGù0ø#ú ûüý þÿ û þ }üý þ û þ û 7ü
(19) Aú }ý ùú ú ûüý þÿ û þ ú ù0ú #ú ý ú ú þ ú û ú þ ùú ý ù ú ü ý ù ý ú ý ý þ þ ù ûü
(20) þ ú û ú ú ý þ ü ù ú ý þ ù ÿ ý þ ú ý ûù0ÿ û þ ø !#"$ þ û ü ú ý ù %&û ÿ
(21) 7ú ûû7ÿ û. ý ü ý ù ù üû ý &7þ ú ý ûùû ÿ %Gý ù 0û ÿ# ü ú ý '
(22) þ ( ý ûüû þ
(23) 7û ) ü ü ú ù üý þ û ù
(24) þ ú û # #ú ý ü ù ý û ù ý ü û * þ ý ùú ý ú Aú û . ú û. ü >üû þ
(25) # ù ûú 0ù ùû þ ú û &û ý þ >ÿ ú
(26) Gý ú + ,þ ù ú þ þ
(27) þ ) ù - þ ý ý ûù ý .ù *ü ý ùú ' þ
(28)
(29) /ü ' ù - ý 0
(30) ý . ù ý ûù ü ùú 1 [û ý ý ù ú û ûÿú üý þ û þ û &û ú / ú û
(31) ú ý ûù ûÿ 2355ø 4 ù / * ú ý þ û
(32) ú ý û/ù #ú (ù -ø 4 wüý þ û þ û Gþ % ù Gû ú ý ùû ù Gû ÿ%ú Gú wüû # wþ ûùú þ ú}üû ùûùþ ûùú þ úGüû ù ý ùú üý ú ú ùú 6 þ ûùú þ úGüû *7 ú ý ù 0üû 8 9#ûùú þ úGüû wý #ú üû úGþ ûüüûù ü ú û ûÿAû ú ý ûù ûÿAú wø !#"(!ý
(33) û '' * þ ü ú ý þû ý û ÿ#ú 0û ú ý ù % ý ùþ ý .û ÿ ù['ø !#" %1 ø ú ý üû
(34) ùú û(ù þ ùú ý ý û
(35) ú ý ùþ û * û ,ý üý ú )ûÿ / ü *
(36) ÿ þ : ý ý ù % ý .ú û ú * ü ùþ 0ûÿ ÿ û þ * ú ù ú ý ( ù ( ü !ý úwú .ÿ û þ 0ý ú ú þ ú ý ;
(37) ú ' ùú .ú ý ú /û ü *ý ú ùþ * ú )/. ü ú Gÿ û þ þ û ü
(38) ý ù % û ' ú )%Gý ú % þ ý ù ý ú ùþ #ý ú ý ' ùý <ù !ý ; = ' .ÿ û þ þ ú ý ù ûùú .ú ý /Gý %þ
(39) .ú .þ ùú ý Gú %û > þ ú ?#) .
(40) @. A B C B D C E F GC H E IA B JB D C E KF%KF BD LF%E F M B N#C H B'M KN D BLD C E F GKF C H B'C E OPQ-H B F%C H BO N KRB C E O%E I A N LGGB A*LD N KI IC H B I S N M LD B T C H B N B I S U C E F GC H N B B'A E V B F I E KF LU E V LGBE ILC KOKGN LO H E D LU V LO K M C H BI S N M LD B K M C H BI LV O U B PW H BD KFC LD C#V K A B#E I:A E X E A B A*E FC K C YKV K A B I#ZD KF I C LFC:M KN D B LF A<D KF I C LFCH B E GHCV K A B [ I B B\E G P;]P ^_ P` M:C H BB U B D C N KF E DM B B A R LD a/E I'I Y'E C D H B A<KFT C H B F C H BOKI E C E KF E F G*O E B b K*Y'H E D H<E I V K X E F GC H BI LV O U B [ KN D LFC E U B XB N R LI B _ S O<LF A<A K Y'F<D LF N B I OKF A/C K*LFc/D H LF GB I'E F/A B C B D C B A%M KN D BTLF A/LU C B NC H B'C E O d I LV O U BI B O LN L C E KF%C K*N B I C KN B C H B#M KN D BC KLO N B A B C B N V E F B AXLU S BP:eF*E F D N B LI B E FC H BM KN D BA S BC KN LE I B AI S N M LD BM B LC S N B I D LS I B I:C H B#M B B A R LD aB U B D C N KF E D I;C K'U K Y B N;C H BI LV O U B#L Y L cM N KVfC H B#C E OP:egA B D N B LI BE FM KN D B A S BC K/L/O E CKF<C H B*I S N M LD B D LS I B IC H B*I LV O U BC K%RB*N LE I B A<C K Y LN A IC H BC E O<C K/aB B O(C H B M KN D B D KF I C LFC P#W H E I#V K A B KMKOB N L C E KF*E I#aF K Y'F%LI#D KF I C LFC#M KN D B'V K A BY'H B N B C H B'e'\#h F K CKF U c<V B LI S N B I'C H BM KN D BKF<C H BI LV O U BR S CLU I K N B GS U LC B I'E C TLU U K Y'E F G LD i S E I E C E KF<K M E V LGB ILCU K Y1M KN D B I P<` FjD KF I C LFCM KN D B V K A BT;C H B I OB B AjKM I D LF F E F G<E IU E V E C B A(Rc(C H B N B I OKF I BC E V BKMC H BM B B A R LD a<D E N D S E C P` M#C H BM B B A R LD a<B U B D C N KF E D I'LN BI Y'E C D H B A(K kTC H B F C H B/V E D N KI D KOB/E I*I LE AjC K RB/KOB N L C E F G E F+D KF I C LFC H B E GHC V K A BP+W H E I E I*O LN C E D S U LN U c S I B M S UM KN E V LGE F GXB N c%JL C'I LV O U B ILC H E GH%N B I KU S C E KFP#` F%C H BD KF I C LFC'H B E GHC V K A B'C H B I LV O U BH B E GHCE I l m B A(A S N E F G I D LF F E F G P'n'LE I B A/M B L C S N B I'KF/C H BI LV O U BI S N M LD BD LS I BLF E F D N B LI B*E F/C H BC E O d I LV O U BM KN D B*LF A<C H E I'A E N B D C U c<D KN N B U L C B I C K%C H BH B E GHCK M#C H BI LV O U B L C C H LC'OKE FC P#W H BD KF I C LFCH B E GHCV K A BE I LU I K B I I B FC E LUM KN N B D KN A E F G*N B LU d C E V B'E V LGB I K M:D H LF GE F GI S N M LD B I T Y'H B N BL*H E GH%I D LF%I OB B A/E I#B I I B FC E LU PoKFC LD C V K A B'e\#hpH LIRB B F S I B A B mC B F I E XB U c(C K/E V LGBU LN GB*I LV O U B I T;BP G P T:D KV O S C B NH LN A(A E I a I ToqI T:B C D P T:RB D LS I B E C E I#C H B'M LI C B I C'KOB N L C E F G*V K A B P#rS C C H BH E GH%U LC B N LUI H B LNM KN D B IN B I S U C'E F%LC E O YB LN I K C H L C'M N B i S B FC'C E O<D H LF GBE I F B B A B AP W:K LU U B X E L C BC H E I O N KR U B V/TI OB D E LU;H LN A B F B A/C E O I'LN B S I B A<E F/D KFC LD C'V K A Be'\#h T R S C'C H BH LN A B F B A/C E O I I D N L C D H/C H BI LV O U BI S N M LD BP W:LO O E F G.V K A B E I/C H BjF B mC V KI C<D KV V KFfV K A B S I B A5E Ffe\#h(PW H BjD LFC E U B XB N<E I KI D E U U L C B A+L C%KN F B LN E C I N B I KF LFC M N B iS B F D c.LF AgOKI E C E KF B AgLRK XB%C H B<I S N M LD B<I K(C H LC E CKF U c(C LO IC H B%I S N M LD B M KNL/XB N cjI V LU UM N LD C E KF K M'E C IKI D E U U L C E KF(OB N E K AP/W H B%B F B N Gc K MC H BD LFC E U B XB N'E I'U LN GBB F KS GH/C K L XKE A<I C E D aE F G KMC H BC E O/C K*C H BI LV O U BI S N M LD B P'W H B O N E V LN c%LA XLFC LGBKM;C LO O E F GV K A BE I#C H LC U LC B N LU M KN D B ID LF/RBB U E V E F LC B A%RB C Y B B F%C H B.
(41) s. cantilever deflection DETECTOR CANTILEVER. t. + _. t. force setpoint. SUM. uerror signal sample AMPLIFIER X CONTROL AND DISPLAY. constant height mode. PIEZO TUBE. Y. Z constant force mode FEEDBACK CIRCUITRY. AMPLIFIER. vw xy z {*|} |~ { w 'v# { y }.
(42) contact region intermittent-contact region. ATTRACTION. REPULSION. force ( nN ). . . tip to sample distance (. nm). noncontact region. # ¡ ¡¢ ¡ .
(43) £. position of cantilever base. tip. ¥tip. SAMPLE. SAMPLE. (a) constant height mode. (b) constant force mode. ¤position of sample. interaction force. ¦§ ¨© ª «¬ ® ¯°±²³ ´µ ³¶ ± · «±¸« ª ´ ³ § ±² ¹ ´ º °±² » ³ ´²³¼ « § ¨¼³ ½:¹ ¾º'°±² » ³ ´²³'¿ ±ª µ « ³ § ¸(´² ·(» ´¶ ¸ À « ½;Á'¼ § µ ¼ ¨ª « ´³ À Â(ª « · © µ « »³ ¼ «¿ ±ª µ « § ¶ ¸ ´ª ³ « ·(±²(³ ¼ « » ´¶ ¸ À «*´² · § ¶ ¸ ª ± ë » § ¶ ´¨«ª « » ±À © ³ § ±²Ä ²<³ ¼ § »¶ ± · « ½³ ¼ «*´¶ ¸ À § ³ © · «±ª'³ ¼ « ¸ ¼ ´» «*±¿#³ ¼ «*µ ´²³ § À « ë ª'à § ¾ ª ´ ³ § ±² § »*© » « ·+¿ ±ª¿ « « · ¾ ´µ Å gÆ'» © ´À À ½#³ ¼ «%³ ´¸ ¸ § ² ¨(¶ ± · «%§ »*±¸« ª ´ ³ « ·+§ ²+´(µ ±² » ³ ´²³%´¶ ¸ À § ³ © · « ¶ ± · « ½;§ « ½³ ¼ «*±» µ § À À ´³ § ±²<´¶ ¸ À § ³ © · «§ »'´· Ç © » ³ « · © ²³ § À;³ ¼ «¿ « « · ¾ ´µ Å(» « ³¸±§ ²³´¶ ¸ À § ³ © · « § »ª « ´µ ¼ « · È'»¿ ´ª´»» ³ ª © µ ³ © ª ´À¸ ª ±¸« ª ³ § « »±¿'´<» © ª ¿ ´µ «%´ª «%µ ±² µ « ª ² « ·½#³ ¼ « ¸ ¼ ´» «%» ¼ § ¿ ³  § « À · »§ ² ¿ ±ª ¶ ´³ § ±²µ ±¶ ¸ ´ª ´¾ À ³ ±³ ¼ « µ ¼ ´² ¨« »#§ ²³ ¼ « ´¶ ¸ À § ³ © · «:É'« µ ±ª · § ² ¨³ ¼ « · § Ê;« ª « ² µ « ¾« ³ Á « « ²%³ ¼ «¸ ¼ ´» «´² ¨À «'±¿;³ ¼ «« Ë µ § ³ ´³ § ±²%» § ¨² ´À´² ·%³ ¼ «'³ § ¸%±» µ § À À ´³ § ±² µ ±© À ·/¾«´¸ ¸ À § « · ¿ ±ª¸« ª ¿ ±ª ¶ § ² ¨µ ±¶ ¸±» § ³ § ±² ´À¶ ´¸ » ´² ·%¿ ±ª§ ¶ ´¨§ ² ¨¶ ´ ³ « ª § ´À¸ ª ±¸« ª ³ § « »» © µ ¼/´»» ³ § Ê;² « » » ´² ·(à § » µ ± « À ´» ³ § µ § ³ ÂÌ-¼ « ² § ¶ ´¨§ ² ¨ » ±¿ ³» ´¶ ¸ À « » ½;³ ´¸ ¸ § ² ¨/¶ ± · «*¶ ´ Â(¾«*´/¾« ³ ³ « ªµ ¼ ±§ µ « ³ ¼ ´²<µ ±²³ ´µ ³¶ ± · «'¿ ±ª § ¶ ´¨§ ² ¨ Í'±² µ ±²³ ´µ ³±¸« ª ´³ § ±²(§ »'´² ± ³ ¼ « ª¶ « ³ ¼ ± ·/Á'¼ § µ ¼ ¶ ´ Â<¾«*« ¶ ¸ À ± « ·<Á'¼ « ²(§ ¶ ´¨§ ² ¨ ¾Â È'¦#Î Ï ¼ «#µ ´²³ § À « ë ª;¶*© » ³:¾«#±» µ § À À ´ ³ « ·´¾± ë#³ ¼ «#» © ª ¿ ´µ «#±¿ ³ ¼ «#» ´¶ ¸ À «´³:» © µ ¼´'· § » ³ ´² µ «.
(44) Ð. Ñ Ò Ó Ñ/Ñ Ò Ô(Ñ Õ Ö-Õ ×%Ø ÙgÚ ÙØ ÛÔ Ü/Õ Ø.Ñ Ò Ô Ü Ô Ö Ý Ú × Õ ÞÔ Ü Ô ÛÕ ß Ô àâáÑ Ñ Ü Óã Ñ Õ ÞÔ(ÞÓØ-ä Ô Ü%åjÓÓÚ × æ Þ ä åfç è ÙÜ ã Ô ×Óã Ñ Õ Ø Û éÔ Ñ êÔ Ô Ø(Ñ Ò ÔÑ Õ Ö/ÓØ ä/Ñ Ò Ô× Óß Ö Ú ÔÓÜ Ôä Ô Ñ Ô ã Ñ Ô äë;ÓØ ä/Ñ ÙÖÙÛÜ ÓÖ Ò Õ ãÕ ß ÓÛÔ ×'ÓÜ Ô ã ÙØ × Ñ Ü Ý ã Ñ Ô äéì× ã ÓØ Ø Õ Ø Û Ñ Ò Ô#Ñ Õ ÖÓéÙ ÞÔÑ Ò Ô× Ý Ü è Óã Ô àí Ò Õ ×:Õ ×;Ó ÞÔ Ü ìä Õ î ã Ý Ú Ñ:ß Ù ä Ô:Ñ Ù'ÙÖÔ Ü Ó Ñ Ô Õ Ø*Óß*é Õ Ô ØÑ#ã ÙØ ä Õ Ñ Õ ÙØ ×:ê'Õ Ñ ÒÑ Ò Ô áï#ð(àí Ò ÔÑ Ò Õ Ø*Ú Ó ìÔ ÜÙ è êÓÑ Ô Ü#ã ÙØÑ Óß Õ Ø Ó Ñ Õ ÙØê'Ò Õ ã Ò*Ô ñ Õ × Ñ × ÙØ(Ñ Ò Ô × Ý Ü è Óã Ô%Ù è Ñ Ò Ô × Óß Ö Ú Ôê'Õ Ú ÚÕ ØÞÓÜ Õ Óé Ú ì è ÙÜ ß$Ó<× ß ÓÚ Úã ÓÖ Õ Ú Ú ÓÜ ì(é Ü Õ ä ÛÔ éÔ Ñ ê Ô Ô Ø Ñ Ò Ô Ñ Õ Ö ÓØ ä*Ñ Ò Ô× Óß Ö Ú Ô'ÓØ ä ã ÓÝ × Ô'Ñ Ò Ô'Ñ Õ Ö*Ñ Ù ò Ý ß Ö Ñ Ùã ÙØÑ Óã Ñê'Õ Ñ Ò%× Óß Ö Ú ÔàóÙØ ã ÙØÑ Óã Ñ ß Ù ä Ô Ö Ü Ù Þ Õ ä Ô × × Ý é × Ñ ÓØÑ Õ ÓÚ Ú ì%Ú Ù ê Ô Ü'Ü Ô × ÙÚ Ý Ñ Õ ÙØ%Ñ Ò ÓØ<Ô Õ Ñ Ò Ô Ü ã ÙØÑ Óã ÑÙÜÑ ÓÖ Ö Õ Ø Û*ß Ù ä Ôà í Ò Ô Ü ÔjÓÜ Ô × Ô ÞÔ Ü ÓÚä Ô ôÔ ã Ñ Õ ÙØ-ä Ô Ñ Ô ã Ñ Õ ÙØfß Ô Ñ Ò Ù ä ×/Ý × Ô ä-Õ Ø-áï#ð(à'í Ò Ô ä Ô Ñ Ô ã Ñ ÙÜ<Ý × Ô ä Ñ Ù ß Ô Ó× Ý Ü Ô/Ñ Ò Ô<ä Ô ôÔ ã Ñ Õ ÙØ.Ù è Ñ Ò Ô<ã ÓØÑ Õ Ú Ô ÞÔ Ü Õ × ã Ü Ý ã Õ ÓÚ Õ Øgä Ô Ñ Ô Ü ß Õ Ø Õ Ø Û(Ñ Ò Ô<ÖÔ Ü è ÙÜ ß ÓØ ã Ô Ù è Ñ Ò Ô%ß Õ ã Ü Ù× ã ÙÖÔ à(í Ò Ô%ê'Õ ä Ô Ú ìjÝ × Ô ä+ä Ô Ñ Ô ã Ñ ÙÜ ×*ÓÜ Ô%é Ó× Ô äjÙØ Ñ Ý Ø Ø Ô Ú Õ Ø Û ë#Õ ØÑ Ô Ü è Ô Ü Ùß Ô Ñ Ü ìë ÙÖ Ñ Õ ã ÓÚ#Ú Ô ÞÔ Ü ë:ã ÓÖ Óã Õ Ñ ÓØ ã ÔëÓØ äjÖ Õ Ô õ ÙÜ Ô × Õ × Ñ ÙÜ à%öñ ã Ô Ö Ñ*Ö Õ Ô õ ÙÜ Ô × Õ × Ñ Õ ÞÔ × Ô Ø × Õ Ø Û<ß Ô Ñ Ò Ù äg÷ ø ù ë ÓÚ Ú ÙÑ Ò Ô Ü#× ã Ò Ô ß Ô ×Ø Ô Ô ä × Ô Ø × Õ Ø ÛÔ Ú Ô ß Ô ØÑÔ ñ Ñ Ô Ü Ø ÓÚ Ñ ÙÑ Ò Ô'ã ÓØÑ Õ Ú Ô ÞÔ Ü à#í Ò Ô Ü Ô è ÙÜ Ô Ñ Ò Ô ì Ü Ô úÝ Õ Ü Ô ÓÚ Õ ÛØ ß Ô ØÑ'Ñ Ù Ñ Ò Ô*ã ÓØÑ Õ Ú Ô ÞÔ Ü ëê'Ò Õ ã Ò(ß*Ý × ÑéÔß ÓÕ ØÑ ÓÕ Ø Ô ä(ä Ý Ü Õ Ø Û%× ã ÓØ Ø Õ Ø Û àû Ø(ÙÝ Üä Ô × Õ ÛØ Ö Õ Ô õ ÙÜ Ô × Õ × Ñ Õ ÞÔ× Ô Ø × Õ Ø Û ß Ô Ñ Ò Ù ä/Õ × Ý × Ô äà í Ò Ô'ÙÖÔ Ü Ó Ñ Õ ÙØ Ö Ü Õ Ø ã Õ Ö Ú Ô'Ù è Ñ Ò ÔÖ Õ Ô õ ÙÜ Ô × Õ × Ñ Õ ÞÔ'ä Ô Ñ Ô ã Ñ Õ ÙØ ß Ô Ñ Ò Ù ä Õ ×ÞÔ Ü ì%× Õ ß Ö Ú Ô à#ü Õ Ú Õ ã ÙØ Ô ñ Ò Õ é Õ Ñ ×;Ó'× Ñ Ü ÙØ Û'Ö Õ Ô õ ÙÜ Ô × Õ × Ñ Õ ÞÔ#Ô ýÔ ã ÑÓØ äÕ Ñ:Õ ×;Ó'× Ý Õ Ñ Óé Ú Ô#ß Ó Ñ Ô Ü Õ ÓÚ è ÙÜ è Óé Ü Õ ã Ó Ñ Õ Ø Û ã ÓØÑ Õ Ú Ô ÞÔ Ü éÔ Óß × àþí Ò Ô+Ü Ô × Õ × Ñ ÓØ ã Ô+Ù è Ñ Ò Ô+Ö Õ Ô õ ÙÜ Ô × Õ × Ñ ÙÜ<ã Ò ÓØ ÛÔ ×(ê'Ò Ô Ø5Ñ Ò Ôjã ÓØÑ Õ Ú Ô ÞÔ Ü(Õ ×(× Ñ Ü Ô × × Ô ä ê'Õ Ñ Ò ä Ô ôÔ ã Ñ Õ ÙØà áâä Ô ôÔ ã Ñ Õ ÙØ Ü Ô × Ý Ú Ñ ×Õ Ø(Ó<Ü Ô × Õ × Ñ ÓØ ã Ô ã Ò ÓØ ÛÔà%áÿå-Ò Ô Ó Ñ × Ñ ÙØ Ô é Ü Õ ä ÛÔ ã ÓØ. . éÔ(Ý × Ô ä.Ñ Ù+ã ÙØÞÔ Ü Ñ/Ñ Ò Ô<Ü Ô × Õ × Ñ ÓØ ã Ô(ã Ò ÓØ ÛÔ(Õ ØÑ ÙjÓØ.Ô Ú Ô ã Ñ Ü Õ ã ÓÚ'× Õ ÛØ ÓÚ à5ïÕ ÛÝ Ü Ô à j× Ò Ù ê'× Ñ Ò Ô/× ã Ò Ô ß Ó Ñ Õ ã/ä Õ ÓÛÜ Óß. Ù è Ñ Ò Ô/Ö Õ Ô õ ÙÜ Ô × Õ × Ñ Õ ÞÔ<ä Ô Ñ Ô ã Ñ Õ ÙØ+× ã Ò Ô ß Ô è ÙÜ*áï#ð(à#í Ò Ô<ä Ô Ñ Ô ã Ñ Ô ä. ÞÙÚ Ñ ÓÛÔ Õ ×Ú Õ Ø Ô ÓÜ Ú ì(Ö Ü ÙÖÙÜ Ñ Õ ÙØ ÓÚ:Ñ Ù/Ñ Ò Ô%Ü Ô × Õ × Ñ ÓØ ã Ô%ã Ò ÓØ ÛÔ ê'Ò Õ ã ÒjÕ ×Ú Õ Ø Ô ÓÜ Ú ì Ö Ü ÙÖÙÜ Ñ Õ ÙØ ÓÚ Ñ Ù<ã ÓØÑ Õ Ú Ô ÞÔ Üä Ô ôÔ ã Ñ Õ ÙØà%í Ò Ô%ß Õ Ø Õ ßÝ ß$ä Ô Ñ Ô ã Ñ Óé Ú Ô ä Ô ôÔ ã Ñ Õ ÙØjÙ è Ñ Ò Ô ã ÓØÑ Õ Ú Ô ÞÔ Ü ëÕ à Ô à ë;Ñ Ò Ô ÞÔ Ü Ñ Õ ã ÓÚÜ Ô × ÙÚ Ý Ñ Õ ÙØ*Ù è Ñ Ò Ô'ß Õ ã Ü Ù× ã ÙÖÔ Õ ×ä Ô Ñ Ô Ü ß Õ Ø Ô ä*éì*Ñ Ò Ô × Ô Ø × Õ Ñ Õ Þ Õ Ñ ì ÓØ ä*Ñ Ò Ô Ø ÙÕ × Ô Õ ØÑ Ò Ô × ì × Ñ Ô ß/à%í Ò Ô × Ô Ø × Õ Ñ Õ Þ Õ Ñ ì(Õ ×Ñ Ò Ô Ü Ô × Õ × Ñ ÓØ ã Ô ã Ò ÓØ ÛÔ ÖÔ ÜÝ Ø Õ Ñä Ô ôÔ ã Ñ Õ ÙØà%í Ò Ô è Ý Ø ä Óß Ô ØÑ ÓÚ. . Ø ÙÕ × Ô<Õ ×Ñ Ò Ô ÙÒ Ø × ÙØgØ ÙÕ × Ô<Õ ØjÑ Ò Ô<Ö Õ Ô õ ÙÜ Ô × Õ × Ñ ÙÜ à.á. . á
(45) ê Ó×. ÞÔ Ü Ñ Õ ã ÓÚ Ü Ô × ÙÚ Ý Ñ Õ ÙØ+Ù è. Óã Ò Õ Ô ÞÔ ä(Ý × Õ Ø Û*Ñ Ò Õ × Ñ Ô ã Ò Ø Õ úÝ Ô/÷ ø ù à ;ÓÑ Ô Ü ÓÚ;Ü Ô × ÙÚ Ý Ñ Õ ÙØ/ä Ô ÖÔ Ø ä ×'ÙØ/Ñ Ò ÔÑ Õ Ö/Ü Óä Õ Ý × ê'Ò Õ ã Ò<Õ ×. . Ñ ì Ö Õ ã ÓÚ Ú ì%Ú Ô × × Ñ Ò ÓØ. Ø ß/à.
(46) . R + ∆R V R V2. V1 R. sample "!" # $% & & ' (*) ' + ' $,-& + . /0 . R.
(47) 1 2345%687 94: ; <0; 7 = 7 ; 53>?5%6@ 53> 7 =%37A6 5%B @ 4@ 53%7 =@ 7
(48) <05DC4
(49) EF"GH; >"; 7 >"B 4 : = 7 ; I4 : JK> : 5 LM> @ =%3 > NO4 4 CMPO4 @ =Q> 4R5%67 94RN85D5%B0<04 @ 9=3; @ =:
(50) B 4 > N85%3> 45 6*N; 4 S 5 7 QP84 >TQ> 4 CU7 5> @ =%3U=V> =%<0N: 4%W G-=%7 4 B ; =: >"=B 4; <0=X%4 CKL; 7 9TEF"GY; 30=KNB 5DCQ@ 7 ; 53T4 3ID; B 53<04 37A6 5BAZQ=: ; 7 J0@ 5%37 B 5%: WA[DNO4 4 C 5 60<04 => QB 4 <04 3%7; >-@ B ; 7 ; @ =:K\ 7 946 => 7 4 B-7 94V<04 => QB 4 <04 3%7 ]*7 94V9; X%94 B-7 94NB 5DCQ@ 7 ; 5%3 7 9B 5%QX9NQD7 W"2NO4 B = 7 ; 53 ; 3 @ 53> 7 =%37"94 ; X9%7"@ 53%7 =@ 7"<05DC4A; >6 =%> 7 4 B ]95 LA4 I4 B"5%3: J*I4 B J 9=B C > =%<0N: 4 >A@ =%3-PO4*; <0=%X4 CT; 307 9; >
(51) <05DC4 W"E3T=: 7 4 B 3=%7 ; I4> 5%: QD7 ; 53KL
(52) =%>NB 5%N85%> 4 CTPJRG-; 3340^ _ `%a Wb c%dDL955%N84 B =%7 4 C 7 L
(53) 5@ =3%7 ; : 4 I4 B >; 3 N=%B =: : 4 :=3C B 4 @ 5%B C4 C 7 L
(54) 5EF"Ge; <0=X%4 >=%7?7 94A> =%<04 7 ; <04 WAf
(55) 94*@ =%37 ; : 4 I4 B >
(56) 7 9= 77 94 JRQ> 4 CR@ 53%7 =; 34 CRPO5%7 9-=3R; 3%7 4 X%B =%7 4 CRN; 4 S 5%B 4 > ; > 7 ; I4*> ; : ; @ 53 > 4 3> 5B*=3C; 3%7 4 X%B =%7 4 CN; 4 S 5D4 : 4 @ 7 B ; @KS ; 3@K5 g; C4-h i83O2*j=%@ 7 Q= 7 5B WKEkI4 B 7 ; @ =%:"B 4 > 5: QD7 ; 5%35 6 l%lkemE LA=> B 4 N85%B 7 4 C8WRf
(57) 940N; 4 S 5B 4 > ; > 7 ; I4T> 4 3> 5B ; >*Q> 4 C7 5RC4 7 4 @ 7 7 94T> 7 B =%; 3=3CVNB 5 ID; C4 7 94 6 4 4 CP=%@ n> ; X%3=:6 5B7 940i83O2k=@ 7 Q=%7 5%B W o 3C; ID; CQ=:?@ 5%37 B 5%:5%6"7 94 7 ; NDp > =<0N: 4*> N=@ ; 3X ; >=%@ 9; 4 I4 CRL; 7 9RN; 4 S 5D4 : 4 @ 7 B ; @*=%@ 7 Q= 7 5B > W234 NB 5%P: 4 <q5%67 9; >
(58) 7 4 @ 93; ZDQ4 ; >
(59) 7 94 4 : 4 @ 7 B ; @ =: @ B 5> > 7 =%: nrPO4 7 L
(60) 4 4 3U7 94Ri83O2Y> ; X3=%:
(61) =3Cr7 94-N; 4 S 5B 4 > ; > 7 5B0> ; X%3=:
(62) > ; 3@ 4-7 94R=%@ 7 Q= 7 5BK=3C > 4 3> 5BA=B 4; 3%7 4 X%B =%7 4 CT5307 94> =%<04@ =3%7 ; : 4 I4 B W"o 7ALA=>"6 5Q3C07 9= 7A7 94NB 5P: 4 <e5 6?4 : 4 @ 7 B ; @ =: @ 5QN: ; 3X@ =%3MPO4R> 5%: I4 CUP%JU<04 =%> QB ; 3X7 94RB 4 > N85%3> 4R5%67 94-N; 4 S 5B 4 > ; > 7 5BKL; 7 9r=V: 5D@ n%p ; 3 =%<0N: ; sO4 Bb t%d WqE: 7 95QX%9M7 9; >T7 4 @ 93; ZDQ4> ; X3; sO@ =3%7 : JM; 3@ B 4 => 4 C 7 94; <0=X%; 3XV> N84 4 C8]*; 7 > ; <0=%X; 3X0P=3CDL; 7 9RL
(63) =%> : ; <0; 7 4 CRPJR7 940C4 7 4 @ 7 ; 534 : 4 @ 7 B 5%3; @ >B =%7 94 B7 9=3R7 940<04 @ 9=3; @ =: B 4 > 53=%3@ 4-5 67 94T@ =%37 ; : 4 I4 B WVu"JrQ> ; 3X=3V; 37 4 XB = 7 4 Cr=%@ 7 Q= 7 5B =3Cr5%ND7 ; @ =%:A: 4 I4 BK> 4 3> 5%B ; <0=%X; 3XP=%3CDL; 7 9KLA=>"; 3@ B 4 => 4 CK6 B 5<wv*nDxS
(64) 7 5*cc*nxS b y d W"uAQD7"7 9; >"<04 7 95DC0C; CK35%77 =n%4 7 940=%CDI%=3%7 =X%405%6
(65) N=B =%: : 4 :5%N84 B =%7 ; 5%35%6
(66) @ =3%7 ; : 4 I4 B =B B = J%W-f
(67) 940> =<040X%B 5QN6 =PB ; @ =%7 4 C=3 =%B B = JT5 6y%z @ =%37 ; : 4 I4 B >"L9; @ 9T=B 4> N=@ 4 C-P%J l z%z {<wL; 7 9T4 : ; <0; 3= 7 ; 3X*@ =N=%@ ; 7 ; I4@ 5%QN: ; 3X PO4 7 L
(68) 4 4 3-7 94*=@ 7 Q=%7 5%B=%3C-7 94*> 4 3> 5B b v%d WAf
(69) 94 J-=@ 9; 4 I4 C l zKnDxS ; <0=%X; 3X P=3CDL; 7 9TL; 7 9 I4 B 7 ; @ =%:?B 4 > 5%: QD7 ; 53R: 4 > >7 9=3y%z mE W8x4 3@ 4*7 94*7 9B 5QX%9NQD7*5%67 94 EF"G|; >; 3@ B 4 => 4 CPO5%7 9 PJN=B =%: : 4 :?5NO4 B = 7 ; 535 6
(70) @ =%37 ; : 4 I4 B >*=%3C4 39=%3@ 4 C7 ; N> NO4 4 C8WTE: :?7 94 > 40> 7 QC; 4 > B 4 > Q: 7 4 C ; 30<0; : : ; <04 7 4 B> @ =: 4; <0=%X4 >A< Q@ 9T: =B X%4 B7 9=%307 JDN; @ =%:OEF"GH; <0=X%4 >b } d W"x5 LA4 I4 B
(71) 5NO4 B = 7 ; 3X <05%B 4*=%3CR<05%B 4*@ =3%7 ; : 4 I4 B >; 3-N=B =%: : 4 :8; 3@ B 4 =%> 4 >
(72) 7 94*=%<05Q3%75%6C=%7 = 7 50PO4 NB 5D@ 4 > > 4 CR=3C > : 5 L>
(73) C5 L3-7 94*5NO4 B = 7 ; 538W f
(74) 9; >7 94 > ; >; >@ 5<0NO5> 4 C5%6"7 L
(75) 5-N=%B 7 > W o 37 94*sOB > 7 N=%B 7 ]8L
(76) 4K=%3=: JDS 4*7 94KCDJ3=%<0; @ >5 6.
(77) ~ D % - % * R% % % KV0% K 00D " A D 0 | 0 % % T 0 V% ?AT%D% *% 8O T%? * %
(78) -%- % 0% - % * D q - % K%
(79) D ~% % KV0 k- % D %" 0 D Y % A0DA ?
(80) %8 % 0DA%8"
(81)
(82) %
(83) 0 K D "D.
(84) ¡ £¢q¤¦¥§w¨ª© «¬®°¯ª±³²µ´¶¬V·¹¸º«»·¹¼°½¾¬¿¡ÀÁ²Â´¶¬¸ºÃ IJ¾¸Å´¶¬R±³ÆǽªÆÇÀ È É-Ê ËÉ%Ì ÍÊ Ì
(85) Î0ËDÏÐÌ ÑÐ
(86) Ì Ò ÓTÒ ÔAÕÖ Ë%×ØÑ%ÌÒ É%Ì Ë Ê Ù Ë%Ô ÐÊ ËÉ%Ì ÍÊ Ì
(87) ÚÒ Ì Ñ0Ì ÑÐÔ Í%Î0ÓÙ ÐÍÉÏ0Ì ÑÐÏÐ ÛOÐ Ê Ì Ò ËÉ Ë Ü
(88) Ì ÑÐKÌ Ò ÓVÒ Ô*ÏÐ Ì Ð Ê Ì Ð Ï8ÝRÞ
(89) ÑÒ Ô Î0ËDÏÐ0Ò Ô Ô Ì Í%ÕÙ Ð0ÍÉÏØÒ ßÐ Ô*Ì ÑÐTÑÒ Ø%ÑÐ Ô ÌKÖ Ð Ô ËÙ ×DÌ Ò Ë%ÉÕ×DÌKÑÍÔ Í ÏÖ Í ÚÕÍ%Ê àrÌ ÑÍ ÌTÌ ÑÐ-Ô Ì Ö ËÉØVÖ Ð Ó×Ù Ô Ò ßÐ-Ü ËÖ Ê Ð Ô0Î0Í áUÏÍÎ0Í%ØÐ-Ô Ë Ü Ì-Ô Í%Î0ÓÙ Ð Ô0Í%ÉÏrÌ ÑÐ-Ì Ò Ó8Ý È É ßDÒ ÕÖ Í%Ì Ò ÉØ Ê Í%ÉÌ Ò Ù Ð ßÐ ÖAÎ0ËDÏÐÌ ÑÐÌ Ò ÓTËÔ Ê Ò Ù Ù Í%Ì Ð ÔAÍ ÌËÖAÉÐ Í%Ö
(90) Ò Ì ÔAÖ Ð Ô Ë%ÉÍÉÊ ÐÜ Ö Ð â×Ð ÉÊ áRÍ%Õ8Ë ßÐÌ ÑÐ Ô ×Ö Ü Í%Ê Ð Ý È ÉRÌ ÑÒ ÔÊ ÍÔ Ð ãÌ ÑÐ ÍÎ0ÓÙ Ò Ì ×ÏÐ*ËÖ
Benzer Belgeler
This study gathered empirical data to find out 194 teaching staffs‟ (a) personal and computer related characteristics, (b) their computer self-efficacy beliefs, (c)
In the third section, after investigating Philosophy and Logical Syntax (1935) from early Carnap and Introduction to Semantics (1942) from late Carnap, I will try to understand
Jonson, living and writing during the last years of the sixteenth century and the beginning of the seventeenth century, comments on political and social changes
This study was an experimental study on the immediate and delayed effects of two types of keyword vocabulary learning methods (teacher-provided and student-generated)
The GW band gaps of the stable materials are computed which restore the wide band gap values in addition to their high dielectric constants.. DOI: 10.1103/PhysRevB.74.193201 PACS
11 (b), the change of the laser power P, used to the processing of the Ti layer at a certain constant scanning speed υ in the NLL method, has a strong impact on the value of the
To assess suitability of the resulting InP/ZnS core-shell NCs as emitters for QD-LED application, a device structure of ITO/PEDOT:PSS/poly-TPD/QDs/TPBi/LiF/Al was fabricated, for
(a) Tuning color rendering index from Sample 1 to 4 by controlling the layer-by-layer assembly of polyfluorene and NC emitters and (b) emission spectra of blue polyfluorene
