Elektriksel Özellikler

III-nitratlar doğrudan ve büyük bant aralığına sahip olduklarından çeşitli elektronik ve optoelektronik uygulamaları için uygun materyallerdir. Büyük bant aralıklı olması yüksek kırılma voltajı, büyük elektrik alanlara dayanma yeteneği, düşük gürültü oluşumu, yüksek sıcaklık ve yüksek güçte çalışması gibi avantajlar sağlar. İletkenlik bant minimumda küçük etkin kütleler, oldukça düşük alan mobilitesine, yüksek uydu enerji dağılımına ve yüksek fonon frekansına neden olur. Nitrat içeren yarıiletkenlerde elektron iletimi düşük ve yüksek elektrik alan durumları olarak göz önüne alınabilir. (i) Yeterince düşük elektrik alanlarda, elektronlar tarafından kazanılan enerji elektronların ısıl enerjisine kıyasla küçüktür bundan dolayı elektronların enerji dağılımları böyle düşük bir elektrik alan tarafından etkilenmez. Elektron mobilitesini belirleyen saçılma oranı elektron dağılım fonksiyonuna bağlı olduğu için elektron mobilitesi uygulanan elektrik alandan bağımsızdır ve Ohm yasasına uyar. (ii) Dış alanın etkisi ile elektronların kazandığı enerji elektronların ısıl enerjisi ile karşılastırılabilir noktaya kadar arttırıldığı zaman elektron dağılım fonksiyonu denge durumundan önemli bir ölçüde değişir. Elektron sıcaklığı örgü sıcaklığından daha büyük olan bu elektronlar sıcak (hot) elektron olarak adlandırılırlar.

Elektriksel özelliklerin belirlenmesinde Hall etkisi, Shubnikov de Haas etkisi (SdH) ve yüksek hızlı akım-voltaj (I-V) ölçümleri gibi teknikler kullanılmaktadır. Hall etkisi tekniği en çok kullanılan teknik olup yarıiletken maddelerin taşıyıcı yoğunluğu, tipi ve mobilitesi hakkında bilgi verir. SdH yüksek manyetik alan etkisi altında ki elektriksel direnç olup bu yöntemle taşıyıcı yoğunluğu, etkin kütle, taşıyıcı mobilitesi belirlenebilir. Bu iki ölçüm omik davranışın sergilendiği, yeterince düşük elektrik alanlarda kullanılırken I-V ölçümlerinin bu iki teknikten farkı sıcak elektron durumunun söz konusu olduğu yüksek elektrik alanlı deneysel

ölçüm olmasıdır. Önemli bir deneysel teknik olan bu teknikle, taşıyıcı sürüklenme hızı ve mobilitesi elektrik alanın şiddetine bağlı olarak belirlenir.

Elektron mobilitesi elektriksel özelliklerin belirlenmesinde en önemli parametrelerden bir tanesidir. Taşıyıcı mobilitesinin ve yoğunluğunun sıcaklığa bağlı deneysel incelenmesi ile temel materyal parametreleri belirlenebilmekte ve mobiliteyi etkileyen saçılma mekanizmaları hakkında bilgi sahibi olunmaktadır. Nitratlarla ilgili yapılan ilk iletim çalışmalarında kristal kalitesinin düşük olmasından dolayı taşıyıcı mobilitesi beklenen değerlerin altında idi. Önceleri MBE ile SiC alttabaka üzerine büyütülen GaN tabakalarda oda sıcaklığında mobilite 580 cm2/V.s olarak elde edilmiştir [76]. Bununla beraber MBE ile büyütülen filmler 100-300 cm2/V.s’den daha düşük mobilite değerleri sergilemişlerdir [77]. Nakamura ve arkadaşları tarafından oda sıcaklığında 3x1016 cm-3 elektron yoğunluğunda 600 cm2/V.s mobilite değeri ölçülmüştür [78]. Oda sıcaklığında 845 cm2/V.s gibi yüksek elektron mobilitesi 6x1016 cm-3 taşıyıcı yoğunluğunda Götz ve arkadaşları tarafından elde edilmiştir [79]. Sonraki yayınlarda birkaç büyütme tekniğiyle yüksek kaliteli örneklerin büyütülmesi ile oda sıcaklığı mobilitesinde artışlar görülmüştür. Nakamura [80] ve Binari[81] oda sıcaklığında sırasıyla 3x1016 cm-3 ve 5x1016 cm-3 elektron yoğunluğunda 900 cm2/V.s mobilitesi elde etmişlerdir. Yakın zamanda HVPE büyütme tekniği ile büyütülen 200 m kalınlıklı alttabakadan ayrıştırılmış n- tipi GaN template için, oda sıcaklığında 1100 cm2/V.s ve 273 K’de 1425 cm2/V.s mobilite değerleri sırasıyla Yun ve arkadaşları [82] ve Huang ve arkadaşları [83] tarafından rapor edilmiştir. Bu başarı, kusurla ilgili saçılmaların düşük seviyeli oluşundan, GaN örneğinin mükemmel kristal yapısı olarak yorumlanmıştır. Koleske ve arkadaşları 6H- ve 4H-SiC alttabaka üzerine büyütülen GaN filmlerde AlN biriktirme tabakasının iletim özellikleri üzerine etkilerini incelemişlerdir [84]. Oda sıcaklığında 6H-SiC, 4H-SiC ve 3.50 kaymış eksen 6H-SiC alttabakalar üzerinde sırasıyla 876 cm2/V.s, 884 cm2/V.s ve 932 cm2/V.s elektron mobilitesi elde edilmiştir. Gözlenen yüksek elektron mobilitesi, AlN morfolojisinin geliştirilmesine ve AlN/GaN arayüzeyinde vida dislokasyon yoğunluğundaki azalmaya bağlanmıştır [84].

Düşük taşıyıcı yoğunluğu, derin doğal kusurlar ve safsızlık enerji seviyelerinden dolayı AlN’ın elektriksel iletim özellikleri yaygın olarak çalışılmamaktadır ve direnç ölçümlerini sınırlandırmaktadır. İstenmeden katkılanan AlN tekli kristaller için rapor edilen direnç aralığı 10 7 1013 cm’dir [85, 86] ve bu değer literatürdeki diğer değerlerle uyum içindedir [87,88]. Modifiye edilmiş fiziksel iletim tekniği ile Rutz tarafından büyütülen, istenmeden katkılı n-AlN filmler 400 cm kadar düşük dirence sahip oldukları rapor edilmiştir [89]. Bununla beraber kaynağı belirlenmeden, Rutz ve arkadaşları AlN filmlerinde uygulanan beslemenin artışı ile direncin birden yaklaşık 100 kat azalması ile ilginç geçişler gözlemlediler [90]. AlN’da teorik hesaplamalar sadece Chin ve arkadaşları tarafından yapıldı [91]. Çünkü AlN son derece düşük taşıyıcı yoğunluklu bir yalıtkan olduğundan, sadece fonon sınırlı saçılma mekanizmaları sıcaklığa bağlı mobilite hesaplarında göz önünde bulunduruldu. Mobilite 77K’de 2000 cm2/V.s iken 300 K’de optik fonon mobiliteyi sınırladığı için 300 cm2/V.s değerine hızlıca düşmektedir.

InN’da uygun alttabaka eksikliğinden dolayı yüksek yoğunluklu kusurlar mevcuttur. InN büyütmelerinde genelde safir alttabaka kullanılır ve örgü sabitleri arasındaki uyumsuzluk %25 kadar büyüktür. In ile N arasında atomik yarıçapdaki büyük farklılık yüksek kaliteli InN elde etmeyi zorlaştıran bir başka faktördür. Elektriksel özellikler, büyütme tekniği seçimi ile oldukça değişmektedir. Son zamanlarda MBE ve MOVPE tekniklerindeki ilerlemeler ile yüksek mobiliteli büyütmeler sağlanmaktadır. Morkoç tarafında MBE ile büyütülen InN filmde 1000 cm2/V.s mobilitesi elde edilmiştir [92]. Yarıiletkenin kalitesine ve elektron yoğunluğuna bağlı olarak elektron mobilitesi son zamanlarda 500-2100 cm2/V.s aralığında rapor edilmiştir [93-95]. Çok yüksek istenmeden katkılı verici konsantrasyonu (>1018 cm-3) InN aygıt uygulamaları için temel problem olarak görülmektedir.