ÖNERİLER

Os trabalhos de pesquisa sobre caracterização de materiais têm utilizado cada vez mais e conjuntamente as técnicas de MEVAR e MFA (Wu et al., 2001; Zeng et al., 2002). Entretanto, poucos autores têm discutido a complementaridade das duas técnicas. Russell et al. (2001) ao estudar comparativamente as duas técnicas, comentam que embora MEVAR e MFA pareçam muito diferentes, elas têm muitas similaridades. Ambas as técnicas se baseiam na varredura de uma sonda sobre uma superfície com formação de uma imagem. A resolução lateral das duas é similar em escala, embora muitas vezes a da MFA seja superior. Nos dois tipos de imagens obtidas, artefatos estão presentes, mas um operador experiente poderá discriminá-los. A Figura 3.1 ilustra duas imagens de MEVAR e MFA de um filme fino de polisilício

discutidas por estes autores. As duas imagens mostram estruturas superficiais similares, entretanto os tipos de informação obtidos são diferentes. Os detalhes da topografia podem ser melhor observados na imagem de MFA.

Figura 3.1. Filme fino de polisilício (a) Imagem de MEVAR, Ampliação nominal: 100 000 X; (b) Imagem de MFA com medida de rugosidade, varredura de 1 µm2_.

O período longo de maturação das técnicas baseadas em MEV faz com que seja mais fácil entender seus sinais. Por outro lado, a utilização cada vez maior da MFA contribuirá para ampliar e acelerar o amadurecimento científico da técnica para compreensão de artefatos em MFA. Dessa maneira, uma técnica poderá compensar os artefatos da imagem da outra.

Para o MEV a área varrida pode ser obtida para tamanhos muito maiores, já para a MFA a maior área seria no máximo de 100 µm X 100 µm.

A MEVAR ou microscopia eletrônica de varredura de emissão por efeito de campo resultou da melhoria da instrumentação de um MEV tradicional a base de filamento de tungstênio. Estas se concentraram em três pontos chaves: uma fonte de elétrons concentrados em uma ponta muita fina capazes de concentrar um brilho muito alto, um sistema de lentes de imersão, que quase não produzem aberrações, um sistema de alto vácuo muito mais limpo que o sistema convencional. Estes três fatores combinados às características versáteis do MEV convencional, adicionaram a este sistema um nível de resolução espacial comparável a um MET (Joy, 1991).

A microscopia de força atômica (MFA) consiste em varrer a superfície de uma amostra com uma sonda muito fina (raio de 2 a 20 nm), montada na extremidade de uma alavanca. O movimento de varredura é controlado por um tubo piezoelétrico que varre a sonda em uma área da amostra ou varre a amostra em relação à sonda. As forças de interação sonda-amostra, que fazem a alavanca defletir quando a sonda se aproxima da superfície da amostra, são monitoradas pela reflexão de um laser atrás da alavanca, cujo sinal é enviado para um foto detetor. As diferenças de voltagem no foto detetor são responsáveis pela formação das imagens topográficas. Os dois modos de operação mais comuns são o de contato e o contato intermitente. No modo contato a interação da sonda-amostra é repulsiva. Amostras muito macias podem ter suas superfícies danificadas pelo atrito com a sonda. No modo contato intermitente ora o regime é atrativo ora é repulsivo. Este modo é mais utilizado em amostras macias, viscosas ou frágeis, para evitar danos em sua superfície (Neves et al., 1999).

O microscópio de força atômica opera de maneira similar a um perfilômetro, porém com uma sonda de diâmetro muito menor (< 40 nm) que o da agulha do perfilômetro (1 µm). Dessa maneira, pelo fato das imagens de MFA serem tridimensionais, elas podem ser utilizadas para medidas da rugosidade superficial e numa escala muito menor que a do perfilômetro.

Uma limitação na utilização da MFA na medida de rugosidade superficial é a distorção das imagens decorrente do tamanho finito da ponta. Diferentes autores tem apontado para o problema da distorção das imagens de MFA nas medidas de rugosidade de filmes finos (Westra et al., 1995; Kiely et al., 1997). Assim é importante que este efeito seja considerado na interpretação dos resultados.

Os parâmetros de rugosidade superficial podem ser divididos em dois grupos: os aritméticos como o Ra (rugosidade média) e o RMS ou Rq (rugosidade média

quadrática) e, os estatísticos como o PSD (Power spectral density), denominado neste trabalho como DPE (densidade de potência espectral). Os aritméticos descrevem somente a rugosidade vertical da superfície. Assim duas superfícies com rugosidades verticais idênticas que tenham texturas superficiais diferentes não seriam diferenciadas por estes parâmetros. Neste caso, é importante também considerar a variação da rugosidade no sentido horizontal, ou seja, o número de interseções do perfil de rugosidade com a linha média numa distância especificada. Os parâmetros

estatísticos para medida da rugosidade representam melhor a distribuição espacial dos componentes que contribuem para a rugosidade das superfícies. Entre eles está o DPE (densidade de potência espectral) que tem a vantagem de fornecer informação sobre a geometria estrutural da superfície e é particularmente utilizado para detectar estruturas periódicas nos perfis de rugosidade (Kiely et al., 1997).

Os valores dos parâmetros de rugosidade de imagens de MFA, tanto os aritméticos quanto os estatísticos, são normalmente fornecidos por programas aplicativos dos sistemas de MFA. Assim por exemplo no sistema da Digital Instruments D3000 (Digital Instruments, 1997), o DPE é fornecido na forma gráfica de um histograma ou de uma curva potência versus comprimento de onda, representando a descrição fractal de uma superfície.

Para uma imagem tridimensional N x N onde a altura dos pixels é h(x,y), Rq é:

∑

∑

A DPE pode ser definido por uma função W(p,q) que identifica os comprimentos de onda que contribuem para a estrutura da superfície. É a decomposição da transformada de Fourier nas freqüências espaciais e é calculado a partir das imagens tridimensionais como: 2 ) qy px ( i _h(x,y)dxdy e A 1 ) q , p ( W =

∫∫

Além de permitir medidas de rugosidade superficial a MFA permite adaptar outras técnicas tais como a de nanoindentação e nanoriscamento a partir de utilização de pontas especiais para realização de penetrações na superfície da amostra (Vanlandingham et al., 1997). Utilizando-se uma sonda de diamante, pode-se riscar ou indentar uma superfície e imediatamente fazer uma imagem deste risco, eliminando desta forma a necessidade de movimentação da amostra para outro equipamento de

análise, o que acarretaria ainda em uma dificuldade adicional que seria localizar o risco ou a penetração. Estas técnicas vem sendo muito utilizadas para avaliações de materiais de dureza mais baixa como polímeros, mas estudos em aço já foram realizados, nos quais o nanoriscamento foi empregado para identificação de fases em aços inoxidáveis austeníticos correlacionando os dados obtidos com a dureza das fases (Vilela et al., 2003).

A Figura 3.2 apresenta um desenho esquemático de uma sonda de diamante em uma operação de nanoriscamento.

Figura 3.2. Representação esquemática do ensaio de nanoriscamento realizado em MFA utilizando uma sonda de diamante (Digital, 1997).